静电防护管理规范

文件编号QS7.5-025版次A0TCL通力电子(惠州)有限公司静电防护管理规范页数共10页文件修订履历版次修订内容简述生效日期拟制人A0文件初次做成2005年9月1日陈景华A11、标准化了一些定义2、规范了测试方法3、增加了主要仪器的操作方法2007年1月8日薛增辉文件发放范围及数量部门产品管理部研发所业务一部业务二部采购部部品部供应链管理部生产部PE部QA部人力资源部信息技术部体系办管理者代表总经理厂办外发加工部其它有√√√√√√√份数拟制:薛增辉审核:批准:TCL通力电子（惠州）有限公司文件编号：QS7.5-025版次：A0生效日期：2005-9-1静电防护管理规范第1页共10页1目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命;使ESD防护工作具有较强的可操作性。2适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程3职责3.1AV工厂生产技术部确定静电防护控制点、区域和控制要求;3.2AV仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,部品部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产部负责生产过程中的静电防护;3.3生产技术部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护;3.4AV工厂各车间日常点检工作由生产部指点人员进行，生产技术部、部品部IQC、PMC仓库由各部门指定人员进行;3.5AV工厂生产技术部负责ESD防护措施的抽检抽查;每月一次3.6静电防护的控制点和区域AV仓电子仓库、生产技术部分析室、QA部软件测试房、生产部机芯生产车间、C/SKD车间、SMT/PCB车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位;3.7生产技术部动力设备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修；4解释静电4．1静电的发生及带电4．1．1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的昀小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。4．1．2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、版次：A0生效日期：2005-9-1第2页共10页剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。4．1．2．1接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷4．1．2．2感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷4．1．2．3剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电4．1．2．4摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移4．1．3静电的危害4．1．3．1对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。4．1．3．2对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效。；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。4．2绝缘体与导体4．2．1绝缘体绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1012Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。如：普通塑料制品、乙烯等4．2．2导体导体一般表面电阻率在105Ω以下，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。4．3防静电材料根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω；静电耗散材料：表面电阻率105-1011Ω；静电导电材料：表面电阻率103-105Ω；静电屏蔽材料：表面电阻率＜103Ω；4．4静电发生源版次：A0生效日期：2005-9-1第3页共10页4．4．1人：人是昀大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。4．4．2环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。4．4．3材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。表1常见物体的静电发生序列＋4．5漏电测试工具如电烙铁、电批、电视机、功放、示波器；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压小于1V。4．6电子元器件的静电耐压表2一些器件类型的静电敏感电压值器件类型耐静电放电电压（V）器件类型耐静电放电电压（V）VMOS30-1800运算放电器190-2500MOSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaAsFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二极管300-3000E/DMOS200-1000双极型晶体管380-7000ECL300-2500石英压电晶体器件100005工厂防静电对策5．1作业员5．1．1对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电手环、坐序号材料序号材料1空气12棉布2人手13钢3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡胶6头发17镍、铜7尼龙18黄铜、银8羊毛19聚脂人造纤维9丝绸20聚乙烯10铝21聚丙烯11纸22聚氯乙烯－版次：A0生效日期：2005-9-1第4页共10页防静电椅5．1．2SMT、PCB车间员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽、穿防静电鞋5．1．3机芯装配、总装解码板投入、机芯加工投入位员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽。5．1．4C/SKD、仓库、IQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：直接接触IC、MOS元件、加工好的PCBA，机芯等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴防静电手套进行作业5．1．5带静电手环注意事项5．1．5．1员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合格的,方可开始作业;5．1．5．2作业时,防静电腕带戴在不影响作业的一只手上;5．1．5．3一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤;不能戴在手套、衣袖上5．1．5．4不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断;5．1．5．5当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位；5．2修理台、组件加工、生产作业台面（如面壳组件加工台、SMT炉后检查台、PCB测试台、炉后分板台、皮带线拉体加工台）5．2．1电批需进行接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时需在电批与电批电源供应器之间接120KΩ±10%的电阻进行限流。漏电电压要求在Vac＜1V防静电椅防静电帽防静电衣防静电鞋防静电手环防静电手套版次：A0生效日期：2005-9-1第5页共10页5．2．2电烙铁需接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时需在电烙铁与设备地之间接120KΩ±10%的电阻进行限流。漏电电压要求在Vac＜1V5．2．3电源插座接地孔应接设备地，接地电阻＜10Ω5．2．4测试仪器如功放、电视、示波器、信号发生器、带灯放大镜要求接设备地，接地电阻＜10Ω5．2．5台面要求铺设静电胶皮5．2．5．1台面为木质材料，防静电胶皮直接铺在台面上，每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个5．2．5．2台面为钢铁类材料，需在台面上铺设绝缘胶皮或其它绝缘层；防静电胶皮铺在绝缘胶皮或其它绝缘层上，每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个5．2．6修理台金属架需接设备地，接地电阻＜10Ω。如台面为金属台面需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。（即造成设备地与静电地短路）5．3周转箱用于PCBA、半导体电子元器件、机芯周转的周转箱要求使用防静电周转箱或使用中性的纸箱进行周转。防静电周转箱表面电阻要求在105~1011Ω；表面电压＜150V。5．4周转车用于PCBA、机芯周转的周转车要求使用防静电材料制作的周围车进行周转。表面电阻要求在105~1011Ω；表面电压＜150V。有接地铁链的必须保证铁链接地导通性良好，不能生锈、或者悬空。版次：A0生效日期：2005-9-1第6页共10页5．5防静电袋半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料(一般使用防静电的聚乙烯)包装；防静电袋的使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。测试标准表面电阻要求在105~1011Ω；表面电压＜150V。5．6治具、机架5．6．1通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在105~1011Ω5．6．2如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到105~1011Ω。5．7相对湿度：工厂要求相对湿度在40%-75%。6工厂防静电措施检测6．1防静电腕带的检测6．1．1将防静电腕带的地线夹夹住静电测试仪的鳄鱼夹上,同时将另一只不佩带防静电腕带的手按在“PRESSHERE”上（静电TESTER上的白色按键）;戴防静电手环的手进行左右摇动2-3秒6．1．2若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好;红色“LOW”或“HIGH”指示灯亮,则表明所佩带防静电腕带未戴好或有故障;如红色与绿色灯交替闪烁表面防静电腕带未戴好或接触不良。6．1．3测量必须保证在上班的前半个小时完成即（上午8：30前、下午13：50前、下午19：00前）6．1．4在测试中发现有故障的防静电腕带由作业员交给线长处理,并要求立即更换;6．2电烙铁漏电测试在热工作状态下用万用表测量烙铁头与电源地的阻抗在120KΩ±10%,AC电压1V以下;（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接烙铁上锡面）6．3电批漏电测试在工作转动状态下用万用表测量电批头与电源地的阻抗在120KΩ±10%,AC电压1V以下;（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接电批头上）版次：A0生效日期：2005-9-1第7页共10页6．4测试仪器、机架漏电测试在工作状态下用万用表测量测试机架、测试仪器与电源地的阻抗＜10Ω,AC电压1V以下;（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接测试仪器外壳、测试机架输出端口地）6．5防静电胶皮、胶箱、胶袋、防静电车的检测6．5．1使用表面电阻测试仪测试表面电阻在105~1011Ω。表面电阻测试仪底部与被测试物体平行接触，按住红色PUSHSTART键进行测试。测试时人体不许接触被测物体，测试环境选择在被测物体所处的作业现场，指示灯直接显示阻值，当指示灯不再跳动时方可读取数据。按照此方法测试被测物体表面至少5个不同位置。对于局部表面电阻不合格的视为不合格。（测试平台要选择绝缘表面）6．5．2使用表面电压测试仪表测试表面电压＜150V。防静电胶皮、胶箱、防静电车直接用表面电压测试仪测量其表面电压即可；防静电胶袋则先自身磨擦10次（或者多于10次）,摩擦后立即进行测试，2秒钟内表面电压下降到150V以内。以上测试环境均选择在被测物体所处的作业环境下，相对湿度在40%-75%。6．6防静电衣、静电手套、静电鞋的检测6．6．1①防静电衣、静电手套可使用表面电阻测试仪测试表面电阻在105~1011Ω。②防静电衣、静电手套可使用表面电压测试仪表测试表面电压＜150V6．6．2防静电鞋可使用静电手环测试仪进行改制：在绝缘材料上铺上不锈钢板，不锈钢板与测试仪地线连接，手按在“PRESSHERE”上（静电TESTER上的