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电阻率P:掺硼浓度N:#DIV/0!掺磷浓度N:#DIV/0!Z=#NUM!X=#NUM!掺硼浓度N:电阻率P:#DIV/0!掺磷浓度N:电阻率P:#DIV/0!Z'=#NUM!Y=#NUM!数据格式:例如1000为1.0E3电阻率算掺杂浓度掺杂浓度算电阻率12345导电类型PPPPPP重量(g)0电阻率(Ω·cm)2501000630.2浓度(cm-3)6.95122E+152.66346E+141.33006E+132.24661E+154.56189E+151.02508E+17NZ母合金重量(g)0电阻率(Ω·cm)0.009浓度(cm-3)9.73647E+18掺杂母合金的重量计算此框中填写说明P型硅料原料目标123NNN1124.86434E+154.86434E+152.33724E+15-3.1083-3.1083-3.125591282000.301029996掺杂母合金的重量计算N型硅料