1安捷伦4287A演示手册2Contents1安捷伦4287A产品简介.................................................................................................32用16196A/B夹具测量一个10nH的电感......................................................................32.1准备工作................................................................................................................32.1.1被测件:10nH(0402or0603)的贴片式电感...............................................32.1.2本实验中使用的夹具和附件............................................................................42.1.3接口描述:........................................................................................................42.2测量过程................................................................................................................42.2.1第一步:设置激励源STIMULUS.................................................................52.2.2第二步:校准与补偿CALandCOMPEN......................................................62.2.3第三步:测量..................................................................................................73附录...............................................................................................................................93.1数据记录功能datalogging....................................................................................93.2储存测量数据.........................................................................................................93.3存储与调用配置与状态数据....................................................................................93.4校准补偿概念.......................................................................................................1031安捷伦4287A产品简介工作频率1MHz~3GHz,安捷伦4287ALCR表可以在所需的RF工作频率下,精确地测试元件的实际特性RFI-V测试方法提供了很宽的阻抗测试范围(0.2Ω~3kΩ)具有9ms的高测试速度和1%的高测试精度测试低电感系数时的高稳定度,和测试Q值时优越的精确度(Q=100,100MHz时,为6%),使得此LCR表适应片上电感测试的要求配有送料器,GPIB和LAN接口可测量参数:|Z|,|Y|,θ,R,X,G,B,C,L,D,Q2用16196A/B夹具测量一个10nH的电感2.1准备工作2.1.1被测件:10nH(0402or0603)的贴片式电感下图展示了如今常用的贴片式元器件大小,最小的为0201(0.02x0.01inches)/0603(mm)本演示中使用的10nH被测件,其频率响应如下:多层陶瓷电容器MLCC的不同尺寸42.1.2本实验中使用的夹具和附件16195B校准套件16196A/B测试夹具(包含镊子)2.1.3接口描述:[]:前面板按键():软键{}:Windows菜单2.2测量过程下表给出了大致的测量过程及其操作目的操作结果第一步:设置激励源STIMULUS使用QuickEdit生成频率扫描表(100MHz–3GHz,32pts)第二步:执行校准与补偿CAL&COMPEN使用校准向导CALWIZARD“Cor”,“Cmp”,and“Del”指示区域变为蓝色.第三步:改变测量参数使用鼠标或软键将测量参数从“θz”改为“Ls”频率为100MHz|Z|=6.3ΩLs=9.9nH,Rs=400mΩX=6.2Ω(Q=15.5)第四步:查看列表测量ListMeasurment结[MeasView]选择“FREQ”GottheListTableinFREQ[Hz],Ls[H],Rs[Ω],Xformat5果第五步:改变测量点使用鼠标或软键测量频率变为你选择的频点频率为240.5MHz|Z|=14.7ΩLs=9.7nHRs=620mΩX=14.72Ω(Q=23.7)2.2.1第一步:设置激励源STIMULUS正式测量前的第一个步骤就是设置激励源,包括频率Frequency,功率Power和平均Average。4287A支持8个表,每个表可以设置最多32个测量点.你既可以单独去设置每一个测量点,也可以使用快速编辑“QuickEdit”的功能来一次性地设置频率扫描参数.1)用[Preset]键来初始化仪表到默认设置.2)用[SetupView]键,打开设置窗口.3)选择{Edit},然后在菜单中选择{QuickEdit}4)设置快速编辑表。例如设置如下参数为:i)Points:32(起始频率到截止频率之间的频点数)ii)Frequency:Start100MHz,Stop3GHz(设置频率范围)iii)CheckLogStep。意味着仪表将自动以log的形式对起始频率和截止频率之间的点进行插值5)点击“OK”按钮确认。设置完毕后表1中的扫频参数设置如图2中所示。图1图262.2.2第二步:校准与补偿CALandCOMPEN在正式的测量之前还需要进行校准(仪表)和补偿(夹具)的工作。校准calibration的目的是为了抵消掉仪表本身的不确定性,校准之后,校准面的位置就被定义了。校准面位置的意思是仪表技术手册中的精度可以保证的位置。补偿compensation的目的是为了抵消掉夹具给测量带来的误差,因为夹具本身也带有残留的阻抗。经过校准和补偿,被测件与校准面之间的误差全部被考虑进去,仪表在测量的时候会通过计算抵消掉。这样可以最大限度地保证测量的准确。4287A的校准与补偿过程是在前面设置从参数之上进行的。这也意味着,如果测量条件发生变化,需要重新进行校准和补偿。为了简化操作,4287A还提供了强大的校准和补偿向导功能Cal&CompenWizards.1)用[Cal/Compen]键进入校准和补偿菜单。2)点击(SELECTFIXTURE)→(16196A)or(16196B),这个选择是基于你所使用的夹具型号。如果列表在中没有你使用的夹具型号,你可以选择用户自定义,然后手动输入电子长度来进行夹具设置。设置完毕后“Del”(delaytime/electricallength)指示区显示为蓝色.3)点击(CALWIZARD)进入校准向导窗口。图3图44)选择“Cal&CompenforMeasurementUsingaTestFixture”,点击“Next”(如图3)5)确保夹具没有连接在测试头(testhead,或叫测试底座)上.点击“Next”6)根据向导的指示,进行短路SHORT,开路OPEN,低损耗电容Low-LossC,和负载LOAD校准步骤(Agilent16195B)。完成之后,你会看到如图4的界面。7)现在,将16196A/B夹具稳固地安装在同轴端口上面,点击“Next”8)用镊子将短路棒ShortBar接到夹具的两个电极之间,如图5所示。点击“Next”9)使用同样的方法,进行开路补偿Opencompensation.(如图6所示)然后点击“Finish”按钮完成校准和补偿的步骤。.7图5图6注意:如果你成功地进行了校准与补偿的步骤CAL&COMPEN,左下角的“UnCal”指示将变为蓝色的“Cor”(Correction/CAL)和“Cmp”(Compen),表示校准和步骤均完成。2.2.3第三步:测量现在我们来进行一个贴片式电感的测量。屏幕上可以一次性显示最多8个参数测量值。其中四个(也就是.|Z|,θz,Rs,D)与被测件的参数相关,显示在屏幕中间。另外四个分别为:I/V检测值,BIN分组结果和直流电阻Rdc,显示在屏幕上方。在默认情况下BIN分组结果和直流电阻Rdc设置为不显示。你可以通过多种方式来改变测量参数值,包括鼠标,菜单和软键。实验1:改变测量参数1)用镊子将被测件放入绝缘孔内,如图7所示。将盖子照标示向前盖入,并向右转将其扣紧。图7图82)现在我们将第二个参数从(θz)改为(Ls).单击①“θz”按钮,在PRMTR-2的参数列表中选择②(Ls),如图8所示。8实验2:改变测量频点测量开始的时候我们设置了32个不同的频点,频率为1MHz到3GHz.现在我们选择其中的一个频点进行测量。1)点击屏幕上方的①“FREQ”按钮.2)从右面出现的频率列表中选择240.5MHz②。3)观察频率值①和测量③点POINT的值都发生了改变(如图9)图9实验3:进行列表测量如果将测量界面选为列表测量ListMeasurement,那就可以同时对表1中设置的所以频点进行同时测量。另外你还可以改变表中的其他参数,例如激励中的频率和功率等。1)选择[MeasView],将显示列表测量界面(如图10a)图10a图10b2)点击①|Z|[Ω],thenpress②(FREQ)fromPRMTR-13)重新选择(MeasView),你将又回到单点测量PointView的界面。Note:ThesefrequencyvaluesaredeterminedinSTIMULUSsetuplist.Youcannotenteranarbitraryvaluehere.93附录3.1数据记录功能datalogging数据记录功能可以帮你连续记录一些测量数据,每次触发记录一次。本节中我们使用手动触发Manualtrigger,这样可以帮助你观察触发事件发生的次数。1)单击触发模式[TriggerMode]2)选择触发源为手动触发(TRIGSOURCE)→(MANUAL)现在,我们设置最大记录个数,这个个数由触发事件的次数和测量参数的个数共同决定。1)单击[TriggerMode]2)选择数据记录(DATALOGGING)→(MAXLOGSIZE)假定现在显示6个参数(Z,Cp,Rs,D,I-mon,andV-mon),我们将手动触发5次,那么总共的记录个数为5x6=30.3)将数据记录个数设为304)选择开始记录(STARTLOGGING)此时观察数据记录(DATALOGGING)显示为[ON]5)按下[Trigger]按钮5次此时观察(