seal-ring

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关于芯片中的sealring…2011/09/07byloongsky|作者:loongsky|分类:版图设计|评论数2|被围观424views+sealring是什么从layout角度看,sealring是一个由diff,contact,via和metal等layer按照一定的规则叠加组成的图形。从工艺角度看,sealring是一种氧化、钝化层结构从物理角度看,sealring是介于芯片(chip)和划片槽(scribleline)之间的(保护)环。sealring怎么画如果不想承担什么风险,给芯片添加sealring这件事可以交给foundry,出钱就行。不过多数时候我们宁可自己动手去做这些事情。一般情况下foundry都会在designrule中清楚的规定sealring的结构及尺寸。常见的sealring会将工艺中所有的层都列出来,并标明darkorclear,用这里的dark和clear去对照工艺制程中这些layer的dark或clear,如果同为dark或clear则sealring上面有这层,反之则sealring上没有这层。designrule中的contact和via都是我们常用的方孔,实际上长孔比方孔更好些,foundry这样建议的。。。sealring一般要离芯片core有一定的距离,如果芯片面积宽松可以参考designrule,因为rule的规定通常比较大;当然出于成本的考虑,我们宁可根据流片经验自己定义。sealring怎么接一般的PSUB工艺都会将sealring做成P+的,接到芯片的ground,而其浮空一般也不会有影响;无特殊情况不能接到power。最好不要用metal1去将core和sealring连接在一起,而是用其它上层metal;如果有diff层连到sealring,在靠近sealring的diff上面做一小段salicide结构(通常是加rpo或sab),这样对防止ESD绝对好处大大的。如有需要开槽的宽金属连接到sealring,请尽量不要在靠近sealring的地方开槽,非开槽不可的话那尽量开的小点,这些都是防止外界的杂质等进入芯片。sealring什么用sealring最根本也是最主要的作用就是防止芯片在切割的时候受到机械损伤,以下其它作用可以说是衍生的,搭顺风车的:a)SealRing接地,屏蔽芯片外的干扰;b)SealRing可以防止潮气从侧面断口侵入;c)将切割所产生的静电就近接地,再由切割时邻近的sealring共同分摊所产生的电流,将对die本体的冲击降到最小。d)…………

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