X射线荧光分析仪构造及原理

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X射线荧光光谱仪CONTANTS1.X射线荧光光谱仪的分类2.波长色散型X射线荧光光谱仪3.能量色散型X射线荧光光谱仪用X射线照射试样时,试样可以被激发出各种波长的荧光X射线,需要把混合的X射线按波长(或能量)分开,分别测量不同波长(或能量)的X射线的强度,以进行定性和定量分析,为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。分类能量色散型波长色散型1.X射线荧光光谱仪的分类2.波长色散型X射线荧光光谱仪波长色散型X射线荧光光谱仪由X射线源、准直器、分光晶体和检测器、记录装置等部分组成,它们分别起到激发、色散、探测和显示的作用。下图是波长色散型X射线荧光光谱仪结构示意图。2.1X射线激发源由X射线管所发生的一次X射线的连续光谱和特征光谱是X射线荧光分析中常用的激发源。初级X射线的波长应稍短于受激元素的吸收限,使能量最有效地激发分析元素的特征谱线。2.2晶体分光器X射线的分光主要利用晶体的衍射作用,因为晶体质点之间的距离与X射线波长同属一个数量级,可使不同波长的X射线荧光散射,然后选择被测元素的特征X射线荧光进行测定。晶体分光器可分为平面晶体和弯曲晶体分光器。2.3检测器X射线检测器是用来接收X射线,并把它转化为可测量或可观察的量,如可见光、电子脉冲和径迹等,然后通过电子测量装置,对这些量进行测量。X射线荧光光谱仪中常用的检测器有正比计数器、闪烁计数器和半导体计数器。当X射线照射到闪烁晶体上时,闪烁体能瞬间发出可见光。利用光电倍增管可将这种闪烁光转换成电脉冲,再用电子测量装置把它放大和记录下来,即构成了闪烁计数器2.4检测器记录系统有放大器、脉冲高度分析器、记录和显示装置组成。其中脉冲高度分析器的作用是选取一定范围的脉冲幅度,将分析线脉冲从某些干扰线和散射线中分辨出来,以改善分析灵敏度和准确度。3.能量色散型X射线荧光光谱仪能量色散型X射线荧光光谱仪不采用晶体分光系统,而是利用半导体检测器的高分辨率,并配以多道脉冲分析器,直接测量样品试样X射线荧光的能量,使仪器的结构小型化,轻便化。波长色散型能量色散型来自试样的X射线荧光依次被半导体检测器检测,得到一系列幅度和光子能量呈正比的脉冲,经放大器放大后送到多道脉冲幅度分析器。按脉冲幅度的大小分别统计脉冲数,脉冲幅度可以用电子能量来标度,从而得到强度随能量分布的曲线,即能谱图。

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