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集成电路制造工艺及其使用的气体作者：李义良作者单位：北京市特种气体研究所,北京,100022刊名：集成电路应用英文刊名：APPLICATIONSOFIC年，卷(期)：2002(6)被引用次数：1次参考文献(3条)1.庄同增集成电路制造技术19872.王正华半导体器件工艺手册19873.黄善焕集成电路工程1985引证文献(1条)1.王志越先进制造技术之--IC＆MEMS制造技术及其发展趋势(续前)[期刊论文]-电子工业专用设备2003(1)本文链接：
