CDA系统及制程真空系统简介

压缩干燥空气及制程真空系统厂务四处空调课~第一单元~压缩干燥空气系统压缩干燥空气系统系统目的?提供低含水量之压缩洁净空气需求设备?离心式空气压缩机(螺旋式空气压缩机)?吸附式干燥机(冷冻式干燥机)?微粒子过滤器质量要求(各厂需求略有不同)?系统末端压力高于7.0kg/cm2?空气露点温度低于-70℃(水份含量低于0.12ppm)?微粒数少于10颗/ft3压缩干燥空气系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大气压力?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力压力换算?1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi絕對真空大氣壓力零度錶壓錶壓力絕對壓力絕對壓力真空度压缩干燥空气系统风量单位?CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)单位换算?1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定风量条件?StandardCondition(SCMM)：1atm、20℃、65%R.H?NormalCondition(NCMM)：1atm、0℃、0%R.H压缩干燥空气系统Standard&Normal风量转换?理想气体定律?(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2?P：绝对压力?T：绝对温度Standard&Normal风量转换范例?100SCMM=NCMM?理想气体定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20℃+273)=(1.033kg/cm2*NCMM)/(0℃+273)?Ans：93.17NCMM?Q(Standard)Q(Normal)压缩干燥空气系统压缩干燥空气处理流程压缩干燥空气系统离心式空气压缩机压缩干燥空气系统离心式空气压缩机冷凝水橈性接頭油過滤器油温控制阀油冷却器主油泵油加热器油箱旁通阀过滤網油空氣水後冷却器中間冷卻器中間冷卻器辅油泵進口空氣过滤器和消音器進口調節導葉止回阀排油氣風扇及過滤器压缩干燥空气系统IGV&BOV压缩干燥空气系统干燥机组件介绍A吸附桶槽B吸附桶槽鼓風機電加熱器A桶槽偵濕器B桶安全洩壓閥(10.6kg/cm2)空氣入口空氣出口限流孔板A桶安全洩壓閥(10.6kg/cm2)B桶槽偵濕器压缩干燥空气系统干燥机组件介绍~气动控制阀件A吸附桶槽B吸附桶槽空氣入口空氣出口入口閥A桶排氣閥B桶排氣閥A桶洩壓閥B桶洩壓閥建壓閥逆止閥压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)PTPPPPTT入口壓力出口壓力A桶槽壓力B桶槽壓力冷卻壓力A桶槽溫度B桶槽溫度排氣出口溫度PPPPP压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)InletPressureLeftChamberPressureA桶槽B桶槽LeftChamberPressureRightChamberPressureInletPressureOutletPressurePurgeMoistureIndicatorOutletPressurePurgeRightChamberPressureMoistureIndicator1.蓝色?正常2.粉红?含水PTPPPPTT压缩干燥空气系统干燥机温度/压力表(机械式)B桶槽冷却压力压缩干燥空气系统干燥机温度/压力控制开关(电子式)TTTTTPPT加热温度控制开关(维持200℃)加热器温度保护开关(370℃)B桶槽高温切换保护开关(50℃)A桶槽高温切换保护开关(50℃)空气出口温度监视点A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽建压压力开关(45psi)加热结束温度控制开关(80℃)压缩干燥空气系统CycleTime(22hr)?单一桶槽依续完成吸附与再生过程之总时间吸附过程(11hr)?干燥粒吸收压缩空气所含水份之程序再生过程(11hr)?泄压程序(8min)：泄除欲再生桶槽保有之压力?加热程序(240minmax)：加温移除干燥粒子所含水份?冷却程序(410minmax)：冷却干燥粒以恢复吸附能力?建压程序(15min)：建立再生完成桶槽之压力TTTTTPPTA桶槽B桶槽压缩干燥空气系统工作流程~吸附过程入口阀(桶槽切换时作动)A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)吸附桶槽待机桶槽建压阀(OFF)桶槽切换依据1.侦湿器作动(7.5~13kHz)2.时间控制(11hr)B桶槽高温切换保护开关(50℃)A桶槽高温切换保护开关(50℃)TTTTTPPTA桶槽B桶槽压缩干燥空气系统再生过程~泄压程序(8min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(ON)B桶泄压阀(OFF)泄压桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)TTTTTPPTA桶槽B桶槽压缩干燥空气系统再生过程~加热程序(240minmax)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)加热桶槽吸附桶槽建压阀(OFF)加热温度控制开关(维持200℃)加热器温度保护开关(370℃)加热结束温度控制开关(80℃)1.鼓风机启动2.加热器启动TTTTTPPTA桶槽B桶槽压缩干燥空气系统再生过程~冷却程序(410minmax)入口阀A桶排气阀(ON)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)冷却桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35℃TTTTTPPTA桶槽B桶槽压缩干燥空气系统再生过程~建压程序(15min)入口阀A桶排气阀(OFF)B桶排气阀(OFF)A桶泄压阀(OFF)B桶泄压阀(OFF)建压桶槽吸附桶槽建压阀(ON)35℃A桶槽建压压力开关(45psi)B桶槽高温切换保护开关(50℃)A桶槽高温切换保护开关(50℃)压缩干燥空气系统微粒子补捉原理气流惯性/冲击粒子粒子粒子栏截扩散/静电粒子运动路径粒子运动路径~第二单元~制程真空系统制程真空系统系统目的?移除系统内气体、创造具真空度之空间需求设备?真空机(真空泵)质量要求(各厂略有不同)?系统末端真空度高于25.0inHg制程真空系统压力单位?inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大气压力?1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr绝对压力?表压力+大气压力真空度?负压力单位or压力单位(vac)絕對真空大氣壓力零度錶壓錶壓力絕對壓力絕對壓力真空度Tank-1Tank-2TFTCFLCDLCM2FLCM3FLCM4FLCM5FLCM6FP系統末端真空度監視點自動加載設定自動減載設定加減載真空度延遲時間-26.0inHg-28.0inHg20sec60secRUNRUNSTOPSTOP待機一待機二制程真空系统真空系统流程图制程真空系统真空机组成空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端制程真空系统真空机工作流程空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端空气部份润滑油部份制程真空系统真空机表件/图控点/附属组件空氣過濾器真空泵浦油氣分離器油冷卻器油前過濾器油後過濾器入口導引閥真空使用端系統排氣端冰水供應端油溫指示錶真空度指示錶壓差指示錶油過濾指示器(黃/紅)油溫圖控點空氣過濾器壓差圖控點真空度圖控點油溫保護開關(115℃)油溫控制器(調整約75℃)真空開關及電磁閥洩壓閥(15psi)制程真空系统真空机~入口导引阀真空錶真空開關電磁閥導引閥呼吸孔呼吸孔真空泵浦真空开关设定：下限?-26.0inHg上限?-28.0inHg设备启动(真空度小于26.0inHgvac)真空度大于26.0inHg(vac)小于28.0inHg(vac)(重载)真空度大于28.0inHg(vac)(轻载)下限上限ONOFFON/OFF制程真空系统真空机~油温控制器冰水流向水量控制旋鈕油溫感測器(揮發性液體)制程真空系统主电源回路/控制回路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay制程真空系统主电源回路/控制回路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay制程真空系统控制回路NFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay制程真空系统控制回路~Local/ContNFBRSTFUOL1OL2M1M2MMVacuumPumpMotorFanMotorRemoteLocalOnOffKp1480-110VPLCStartPLCStopKp1SetKp1ResetTR3(5sec)TR3PPR(PhaseProtectionRelay)CR2CR2ITS(油溫保護點)M1M2HM(運轉時數)TR1TR1SV2(氣動閥線圈)SV1(入口閥線圈)OL1OL2CR2RemoteLocalCont.AutoM1VacuumSwitchRemoteLoadPhaseProtectionRelay~敬请指教~