ITO拆装靶材作业指导书

合肥京东方半导体有限公司作业指导书ITO拆装靶材作业指导书编制审核批准文件编号：BOES3-166版本：A0合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第1页共9页文件修改页序号修改章节/内容新版本实施日期/新文件A0201706011增加“3.3清理室内水塔，4.注意事项”A120180125合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第2页共9页本工序在操作设备时具有一定的危险性，操作ITO镀膜设备之前，必须熟记本作业指导书中规定内容并严格执行本文件。否则，会对人身和设备造成伤害或损坏！1.安全操作说明1.1本岗位操作中存在的重大危险因素见表1：表1岗位重大危险因素序号重大危险因素1传动过程中，身体接触机架导致机械伤害。2靶高压电极，设备运行过程中接触电极导致触电危害。3靶有强磁，凡带有心脏起伏器的人员不能靠近以免造成其它伤害。4靶材及屏蔽罩等搬运过程中脱落砸伤。1.2本岗位操作中需佩戴的劳动防护用品，见表2：表2岗位应佩戴的劳动防护用品序号操作环节应佩戴劳动防护用品1更换靶材，清洁靶材防静电服、防静电鞋或电工绝缘鞋、丁腈手套，防护口罩2设备运行中防静电服、防静电鞋或电工绝缘鞋、丁腈手套/绝缘手套、防护耳塞1.3安全操作注意事项：1.3.1设备运转过程中，作业员不得打开回转区推拉门，身体任何部位不得伸入回转区内，否则可能会与机架相撞，造成严重人身伤害和设备故障。1.3.2设备正常工作时，任何人不得接触工艺区靶材电极，否则可能造成触电事故。1.3.3靶阴极具有强磁，凡带有心脏起伏器的人员不得进入ITO设备间，以免造成伤害。1.3.4设备运行时会产生噪音，长时间（半小时以上）在该设备间的作业员，必须按要求佩戴防护耳塞，否则会使听力受损。1.3.5拆除靶材前，要关闭镀膜设备电源，放掉冷却水管中多余循环水后方可拆靶。1.3.6更换新靶材后，必须先要拔除DC电源线的接头，才能用兆欧表对靶材进行测量，否合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第3页共9页则可能会损坏DC电源。1.3.7清洁靶材时，必须在除尘风机区域内操作，并佩戴防护口罩和丁腈手套，防止职业病危害产生。2.拆装靶、腔体清洁作业步骤2.1关机开腔拆靶作业步骤2.1.1按《ITO作业指导书》中“关机操作步骤”将设备运行至“保压模式”，待分子泵、罗茨泵、机械泵完全停止运转后将镀膜机各腔室门螺丝松开，如螺丝较紧可使用专用丝杆旋转螺丝；2.1.2待各腔室门螺丝全部松开、腔体内温度降至120℃以下时方可将设备由“保压模式”切换至“放气模式”，进出片室破空阀自动打开向腔体内充大气，待充大气完成、破空阀自动关闭后观察电脑“系统总貌图”中各腔体内PSG真空计显示是否为“9.984+e004”，如有持续变化或为其它值时通知设备人员进行检修，否则无法正常开机；2.1.3由专人将电气柜中DC电源插头拔出、关闭冷水机后方可打开镀膜机腔体门，同时排出冷却水塔中的冷却循环水，循环水排完后将各个阀门关闭；2.1.4确认腔体内温度降至100℃以下后打开各腔体门，穿戴好劳保防护用品准备腔体清理及拆装靶材；拔出DC电源插头合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第4页共9页2.1.5穿戴好劳保防护用品后打开溅射室门，开始拆靶，依次拆下屏蔽罩、压板；2.1.6拆下的压板需使用酒精无尘布进行擦拭清洁，擦拭完成放置于无尘布上，防止粘附颗粒异物，污染腔体甚至造成短路；2.1.7拆下屏蔽罩和压板后，检查靶材背面循环冷却水管内有无水压，防止压力过高造成背板鼓起变形；合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第5页共9页2.1.8待检查确认循环冷却水无水压后方可拆下固定压条，先拆侧方，然后上、下；此过程需两人完成，一人拆压条，一人扶助靶材防止靶材脱落；2.1.9拆下后的靶材放在水平桌面上，底部垫上干净的泡沫，由专人进行打磨，靶材打磨详见《靶材清理打磨作业指导书》；2.2腔体清理及靶材安装作业步骤2.2.1拆靶完成后需使用吸尘器对腔体及背板底部凹槽进行清理，对铜背板使用无尘布蘸酒精反复擦拭保证无残渣异物，否则影响镀膜真空度及镀膜效果；检查铜背板四周缝隙有无漏水异常现象，如有漏水及时通知设备人员进行检修，待异常解决后方可继续安装靶材；2.2.2腔体及背板清理完成后即可安装靶材；安装前需使用吸尘器将待安装的靶材表面、凹槽清理一遍，再使用无尘布酒精将靶材及铜背板擦拭干净；合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第6页共9页2.2.3安装靶材需2人完成，一人托住靶材依靠在阴极背板上，一人扶助腔体门防止门摇晃，同时在阴极背板底部安放一根扎带（避免靶材与阴极背板直接接触），扎带厚度＞2mm；2.2.4将靶材顺势贴向阴极背板，确认靶材铜背板全部嵌进阴极背板后装上上部压条及底部侧方压条固定后靶材，然后依次安装其它固定压条；在装靶时如有靶材背板鼓起较多或靶材无法嵌进阴极背板时将靶材上下颠倒装，如若还是无法安装检查背板有无变形并通知技术人员确认；2.2.5在安装压条时压条不可与靶材接触，防止短路，如有个别压条变形且有无法更换时，合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第7页共9页可使用小的扎带间隔，切不可使用螺丝刀及其它材质较硬的工具撬动，防止损坏靶材；2.2.6侧方及上方压条安装并紧固后将底部的扎带取出，将底部压条安装并紧固，安装后检查是否有压条未紧固或螺丝未安装；2.2.7使用欧姆表，一端接地，另一端接靶材，手动匀速转动摇柄，当欧姆表指针指向＞200MΩ时，则靶材安装合格，可继续下一步安装，否则立即通知技术人员和设备人员进行检查检修；2.2.8压条安装紧固且欧姆表测试合格后进行压板安装，使用电动工具将螺丝紧固；合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第8页共9页2.2.9压板安装完成后使用欧姆表测量电阻值，测量方法同压条安装后方法，测试合格即可进行下一步安装，否则通知技术和设备人员进行检查检修；2.2.10压板安装合格后使用吸尘器将靶材等再清理一遍，然后安装屏蔽罩，安装前屏蔽罩需使用吸尘器清理（屏蔽罩每使用3-4次更换进行喷砂）；屏蔽罩安装侧边使用螺丝紧固，安装的位置侧面看如图所示2.2.11靶材安装完成后检查腔体是否干净并使用吸尘器清洁，用无尘布蘸酒精将靶材及腔体门四边密封圈擦拭一遍，检查有无遗漏后方可关上溅射室腔门；2.2.12腔体清洁在拆装靶材前使用拖把（润湿）将镀膜机周边区域地面湿润，防止在清理腔体后飘起灰尘落在清洁后的腔体内；擦拭清理的部位如下：合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第9页共9页腔体底部、传动导轮、腔体门、密封圈、腔体内气动门密封、缓冲室加热丝及背板及背面、进出片室镜面反射板每次开腔拆装靶时清理一次；进出片室镜面反射板背面将镜面反射板拆下后清理，每月清理一次；2.2.13腔体清洁完成，靶材安装完成后将各腔体门关紧；将低温冷肼冷凝的水排出，打开盲法兰，将水倒出后用无尘布擦干净密封圈后拧紧；2.3靶材拆装完成，准备开机腔体底部、传动导轮腔体门、密封圈腔体内气动门密封圈缓冲室加热丝及背板进出片室镜面反射板进出片室镜面反射板背面、缓冲室加热板背面合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第10页共9页2.3.1靶材安装完成后，将靶材电源电极按对应标识依次安装，检查水、电、气管路、阀门是否正常，检查确认无误后准备开机；2.3.2准备开机步骤详见《ITO作业指导书》中“开机作业步骤”。3.深层清理3.1每四个月将靶材阴极循环水背板拆开清理水垢、沉积脏污，此项需设备、生产、技术人员共同参与，任何部门岗位不得单独进行。3.2冷水机循环水塔（室外）每周清理底部水垢杂物，将水塔内循环水排出将底部沉积灰尘进行冲洗；检查球形阀门等是否开关正常，“常开”、“常闭”阀门是否开关正常。3.3冷水机循环水塔（室内）每隔2个月清理内壁水垢，检查球形阀门是否正常。合肥京东方半导体有限公司作业指导书文件编号：BOES3-166ITO拆装靶材作业指导书版本：A0第11页共9页4.注意事项4.1清洁完腔体、靶材安装完成后将用过的工具、无尘布和酒精带走，防止遗落在腔体内，现场的地面卫生打扫干净；4.2关闭腔体门时注意门上方的气管位置，防止关门时夹住气管；4.3清理完室内水塔后先冲洗一遍后再正常进水使用；4.4每次拆换靶材保持ITO车间地面湿润,避免扬尘再次落入腔体内。