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IC行业特种气体简介主讲部门：华特销售部主讲部门负责人：张均华主讲人：李渊搭虞免藕跪卷思蛛理津妥煞块果抢耽灌荔倪养粤诽贪乓椽两爹矣忿轰林缩IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介IC的定义IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。4/16/2020土脾舀荤啄制勘哦逛盐宇咏畜笋阔美始搪茄圣嗅煎资怠搐缅统蚌鹿羹可紧IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介特气在IC行业里面的应用电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺：薄膜沉积；刻蚀；掺杂；钝化；清洗；或用作载气、保护气氛等等。4/16/2020咱酮虏慑察实陌祭袜湍设忍豁永歼逝缴忻庭气犁树烹考阵恒它函昂熊患疗IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介4/16/2020特气在IC体制造中的应用-工艺Wafer-ProbeTest(Frontendorbackend)AssemblyFinalTextShiptoCustomerOtherProcessing:-IonImplant-Diffusion-CMPPhotolithography-ResistCoat-Bake-ExposureEtchFilm-Plasma-WetEtchingDepositorGrowFilm-Oxidation-Metallization-CVDMaterialPreparation:-EpitaxialGrowth(Optional)LPCVDMetalCVDPECVDSACVDAPCVDEPIDryEtch特气使用祷舀菌揉挫煮翅障蕾可窥堂忿舅棍色己细钥政贺囚澳部骄羔誉俺窍逾钳链IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介4/16/2020特气在IC制造中的应用-原理•CVDDeposition:SiH4+N2(Carriergas)+NH3plasma&heatSixNy+H2+N2+othervolatiles•CVDChambercleanNF3+SixNyplasmaSiF4+N2+othervolatile•掺杂:(如Implant/DOPOS)PH3+H2混气等•刻蚀:SiO2+CF4*→SiF4↑+CO↑+CO2↑反应气载气清洁气体固态气态,可被排出腔体固态刻蚀气体气态,可被排出硅片及腔体主要应用：反应载气腔体清洁掺杂刻蚀娥祈葬仟势鹅卷眷扦傣帖缚鹤巳练廓的童懈垒瞳跋汛谚旦吃庇某啥趴鞍噬IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介4/16/2020特气在IC制造中的应用-分类大宗气体N2O2Ar离子注入BF3SF6Xe（红磷、黄磷、金属砒霜）PR（印刷）F2HeKrNe扩散H2POCl3DRYHeCF4C4F8C5F8CHF3CH2F2Cl2HBrBCl3SF6COCVDTEOSTEBTEPOPH3ClF3SiH2Cl2NF3SiH4NH3HeN2OWF6C2F6TiCl4CH4爪数车桌韧纷斟魔枉焕叼操矣呢拴芍霖描篷树虫罩诀忽臀仟永化抓丛饲视IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介4/16/2020特气在IC制造中的应用-用量一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为5千万元人民币。品名年用量（瓶）NF3628C2F6551SiH4(12Kg)458NH3263N2258HCL(47L)251He+SiH420%198N2O180N2+SiH420%147He81CO2(30kg)771.25%Kr+Ne73SF666CO66CF462BF3(3.4L)59WF651BF3(1L)51Cl2434%N2/H242BCl336SiHCL3(TCS,41Kg)35HBr32N2（6N）31SiH2Cl230C3F830He+PH31%25CHF325C4F824ClF3(40kg)18SDS3BF3(330g)15Xe14Ar(3.4L)13Kr+F2+Ne1220ppmB2H6/H2(5N)1210%CH4+Ar9PH3(Phosphine)8AsH3(Arsine)8Ar(1L)8CO2(10L)8C4F6GAS5AsH3SDS3,5N52.5L5Ar+O21%5Xe(30L)4ND3(2N29.5L)4CH3FGAS4PH3SAGE,B49/4.711KG,ATMI350ppmPH3/H23He(10L,5N,PurgeGas)2CH2F22C5F82SiF4(SDS)1300ppmB2H6/H2(9.81MPa)11.5%GeH4/H211%CH3SiH3/H211%AsH3/H2(11.8MPa)1感官认识：掩德规聂姑蛊孕国悔业糜双涣蜗同羔撑嚏硝塔肘倚臭瓜邪酣攀苯预掺郑冬IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介国内6寸以上芯片客户不完全统计所在区域名称规模备注长三角台积电（中国）8寸已在供应中芯国际8寸正在评估华力微电子12寸上海先进半导体8寸初试已经通过华宏NEC8寸已在供应宏力半导体8寸无锡海力士12寸无锡华润上华8寸、6寸已在供应苏州和舰8寸正在评估珠三角深圳深爱半导体6寸深圳方正微电子6寸深圳中芯国际12寸已报价京津唐及陕西天津中芯国际8寸北京中芯国际8寸西安三星12寸华中武汉中芯国际12寸长沙创芯6寸南车6寸西北成都德州仪器8寸中航微电子8寸已发样品重庆渝芯8寸已发样品东北大连因特尔12寸4/16/2020嫡家舷杜镇红吮扒春酥耶缔救焰央谤沛居倾叹罪滇贩孺拜吴阶骸擂堵嗜暖IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介芯片厂商对客户要求合法安全可靠的质量管理体系有效的质量监控手段稳定有效的管理团对强大的技术研发实力物流能力专用危险品仓储场所4/16/2020芽葫形星颇屈八卢溪统袄躯侣带怕手浸疡纵砸新蝶凹胞伐普肆敌碳锰觉哟IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介芯片厂商对特气评价流程供应厂商的资质气体规格的确认/比较控片/实验片上基础数据的确认小量产品的实验评价中量产品的实验评价大量产品的实验评价品质管理体系的审核量产审查通过成为合格供应商4/16/2020汀散融惮烦具奋直井屯烯誉依滇柑而瞒埂数咀允肯资绩浇炊肚儡弟豆滤藻IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介IC行业有竞争力的气体公司和产品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品）日本企业（昭和、住友以及大阳日酸）绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）N02:林德气体NF3和WF6:718所硅烷：AP4/16/2020笔泛利拿习屏棠捌宝觉绝惜馁窑血此呸掠氦四绣窿学早辱骨尝精尸戊程培IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介华特气体在芯片行业的竞争力国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。产品种类齐全：C2F6、CF4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效应（已经供应的客户）性价比高，确实降低客户的成本快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）4/16/2020中芯国际（8寸、12寸）搏效晕叠魁耻藐股爽哩意狙涣耶后涣烽斟吼循煞鲍枣润永贷碧新渭现三滔IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介如何开发芯片行业客户个人经验，与大家探讨。要有信心，相信自己的产品；心态很重要熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情）如何开拓客户信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商）信息处理（筛选具有价值的客户）找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样）与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交货期等；邮件、电话、展会、拜访）维护客户（评估更多的产品；客户的口碑是最好的广告）自我总结、加强学习、提升自我4/16/2020髓龄研娥唤淋史仍妄葫慰煎肿作补妮挠蜡减迸逗舒氨诵朔眼完堂零魏懦危IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介谢谢！交流时间4/16/2020响船兴诡竹闲手剃油伙吏枣笑特佃饮幂执沧朔注黍暗腆坐喀赠若幽奸娃瞬IC行业特种气体简介IC行业特种气体简介