硅料清洗机操作说明

2011CSE苏州华林科纳半导体设备技术有限公司2011-05硅料清洗机使用说明书1目录一、公司简介.................................................................................................................................................2二、设备概况.................................................................................................................................................2三、设备构造.................................................................................................................................................4四、工作台面和工艺流程参数.....................................................................................................................5五、控制系统.................................................................................................................................................7六、安全保护.................................................................................................................................................7七、安全标识.................................................................................................................................................7八、安全使用信息.........................................................................................................................................9九、紧急停止操作介绍...............................................................................................................................11十、设备使用危险品简介...........................................................................................................................12十一、操作注意事项...................................................................................................................................16十二、设备的搬运及安装...........................................................................................................................16十三、机械附图...........................................................................................................................................17十四、电控操作说明...................................................................................................................................20十五、电器线路图纸（附）：.....................................................................................................................33十六、售后服务联络函：...........................................................................................................................332一、公司简介苏州华林科纳半导体设备技术有限公司成立于2008年3月，投资4500万元。主要从事半导体、太阳能、FPD领域湿制程设备的设计、研发、生产及销售；同时代理半导体、太阳能、FPD领域其它国外设备，负责其中国市场的开发、推广；公司自有产品包括半导体前段、后段、太阳能、平板显示FPD、LED、MEMS应用中的各种湿制程设备，例如硅片湿法清洗、蚀刻，硅芯硅棒湿法化学处理，液晶基板清洗，LED基片显影脱膜等；以诚信，创新，发展，共赢的核心价值观与社会责任感共享华林科纳发展全过程。诚信:对于一个企业而言，“诚信”可以说是立业之本。“诚信”作为一项普遍适用的道德规范和行为准则，是建立行业之间、单位之间以及人与人之间互信、互利的良性互动关系的道德杠杆。很难设想，一个不讲诚信、不守信用的单位或企业，在现代法治社会会有长期立足之地。一个企业也只有依靠诚信立业，才能顺利发展；创新:企业的技术创新是企业适应技术发展需要的基础,只有不段的进行创新,一个企业才能够跟的上时代的步伐,不被社会所淘汰,这是一个企业发展的重中之重；发展:企业长期发展很重要。企业存在寿命，寿命有长有短。投资、经营者应该树立“长寿企业”意识。为了使企业“长寿”，不但要重视短期发展问题，也要重视长期发展问题。企业长期发展问题不是短期发展问题之和，与短期发展问题具有本质的区别；共赢:互利共赢是科学发展观的具体体现，是企业对外交往的指导思想。“互利共赢”既是一种思维方式，也是一项能够付诸行动的主张。它包含着对企业利益的追求，但并不止于对利益的追求，它的着眼点是通过企业之间经济合作的路径，更好地促进企业的发展和改革，实现企业的社会价值；华林科纳是国内领先的设备系统供应商，10多年以来始终为报道提和太阳能行业提供创新的专用的湿法工艺解决方案；以技术创新为支撑，以精细管理做保证；以卓越的产品赢得客户信任，以竭诚的服务完美品牌形象；以矢志不渝地精神追求国际化，现代化，制造服务一体化的企业方向，努力打造成中国半导体设备高新技术制造基地。二、设备概况3主要功能：本设备为全自动机械手搬运，采用现滚动提篮清洗方式，可对多种硅料（块状、片状）腐蚀清洗处理。设备名称：全自动多功能硅料清洗机设备型号：CSE-SL10-SD271整机尺寸：16250mm（L）×2300mm(W)×3100mm(H)；被清洗硅块尺寸：6—100mm节拍：约25min（节拍可调根据实际工艺时间而定）设备形式:室内放置型;硅料批量:15kg/批，滚篮承载量为20kg/篮（添料量可根据客户自行添充）硅料产量：≥150kg/h操作形式：全自动装载器：装载器：配两种承载篮；多晶硅料清洗滚篮多晶硅料清洗提篮4三、设备构造该设备主要由上料台、清洗部分、移载机械手、抽风系统及电控部分组成。设备工艺按“右进左出”方式，工件由右侧上料台上料，经清洗，左侧下料。骨架：优质Q235骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；外壳：德国进口10mm瓷白耐酸PP板热焊接而成；防护门：正面操作区采用双开透明门；管路：管路位于机台下后部；排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；工作照明：机台上方配防酸照明（与工作区隔离）；DI/N2GUN：可伸缩的N2Gun3把和DI水枪3把，分置于工作区前侧；台面板为德国10mmPP板（带有漏液孔）；人机界面：TouchScreen10.4彩色界面；支脚：可调整高度和锁定；三色报警等和蜂鸣器5四、工作台面和工艺流程参数台面布局如下:操作侧腐蚀槽漂洗槽纯水锁超声槽烘干槽工艺流程：装料→酸腐蚀槽→漂洗槽→轻酸腐蚀槽→漂洗槽→纯水漂洗→纯水锁→纯水漂洗→纯水超声清洗→纯水超声清洗→切水槽→下料；5#1#3#6#2#7#下料台上料台机械手机械手管路区8#9#10#11#水气枪水气枪4#12#13#6各槽工艺参数:序号工序名称处理方式介质温度时间自动上料1酸腐蚀槽旋转+循环+浸泡+冷却+喷淋HF+HNO310-40℃可调0-8min（可调节）2漂洗槽旋转+溢流+鼓泡+快排纯水RT0-8min（可调节）3轻酸腐蚀槽旋转+浸泡+冷却HF+HNO310-40℃可调0-8min（可调节）4漂洗槽旋转+溢流+鼓泡+快排纯水RT0-8min（可调节）5纯水漂洗旋转+溢流+鼓泡+快排纯水RT0-8min（可调节）6纯水锁溢流漂洗，水下横移（链条输送）纯水RT0-8min（可调节）7纯水漂洗旋转+溢流+鼓泡+快排纯水RT0-8min（可调节）8纯水超声清洗旋转+溢流+超声波纯水RT0-8min（可调节）9纯水超声清洗旋转+溢流+超声波纯水RT0-8min（可调节）10切水槽旋转+吹热洁净压缩空气洁净压缩空气0~80℃可调0-8min（可调节）11真空烘干真空烘干/20min（可调节）自动下料7五、控制系统PLC可程式控制器（欧姆龙）+TouchScreen10.4彩色人机界面操作。制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式；操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。制程参数设定：由工程师决定最佳参数ManualSpeed手动控制时的速度AutoSpeed自动控制时的速度HomeSearchSpeed复位时的速度设定各工艺槽参数设定Password功能，避免操作人员误改参数：六、安全保护设备采用耐腐蚀导线并通过PE管进行保护，防腐防水；设有防漏电断路保护装置；电控部分正压空体保护，防水防腐；配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块；加热器防腐处理，空烧保护，安全液位保护；设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；多处EMO装置紧急按钮开关；预留NORMAL、ALARM、EMO等讯号接点；蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色报警灯及蜂鸣声光故障报警；七、安全标识为了个人及设备安全，请清楚说明书中的各种警示标志，严格遵守该设备的安全使用用法与指示。8安全标志该设备上使用了以下标志，用以强调某些确保用户人身安全以及保护设备完好的信息：此警告一般用在电箱电源强电处。接线或者检查设备时，请注意高压危险此警告一般粘贴在设备的上下料门处，由于机器运行时会自动开关门，请不要把手或身体任何部位至于门下，以防夹手设备后面及下面的管道或储液箱、发热管等一直都在使用中，温度较高，请不要直接触摸，当心烫伤。9本设备在清洗过程中使用的氢氟酸、盐酸、