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I毕业设计论文题目名称：超精密三坐标测量仪整机机构设计院系名称：超精密三坐标测量仪整机机构设计II摘要本文中，对三坐标测量仪的研究现状和精密测量的关键技术做了总结，对所设计的测量仪的总体布局、床身的选材、导轨的设计、进给方式的选择做了介绍，选用燕尾型气体静压导轨，同步齿形带和钢带传动，摩擦杆进行驱动。对移动桥和溜板进行了简单的ANSYS分析，计算了移动桥受力时最大的变形量和直线度；选用伺服电机作为动力源，并对其进行了简单的功率计算，分析了测量仪的工作环境对其精度的影响和它的应用环境；定位采用开式光栅尺，对光栅尺的选型做了比较。最后针对测量仪整机进行精度分析，查找误差源和精度的综合分析。关键词：超精密、气静压、高精度、精密测量IIIThreeCoordinatesMeasuringInstrumentUltra-precisionMachineMechanismDesignTeacher:zexiangzhaoStudent:zhaohuizhangABSTRACTInthispaper,threecoordinatesmeasuringinstrumentforprecisionmeasurement,theresearchpresentsituationandthekeytechnologyofsummingup,thedesignofmeasuringinstrumentlathebedofthegenerallayout,thedesignoftheselectionofmaterials,guiderail,intotothechoiceofthewaysofdoingintroduced,choosecoattailstypeaerostaticguiderail,synchronouscogbeltandsteelbelttransmission,frictionleverdriven.SlipboardofmobilebridgeandthesimpleANSYSanalysismethod,thelargestmobilebridgewhenstressdeformationandstraightness;Chooseservomotorasapowersource,andanalysesthesimplepowercalculation,analyzestheworkingenvironmentofmeasuringapparatustotheprecisionoftheinfluenceanditsapplicationenvironment;Thepositioningofgratingopengratingfeet,comparisonoftheselectionofthefeet.Finally,accordingtothemeasuringapparatusforprecisionanalysis,findtheerrorsourcesandprecisionofthecomprehensiveanalysis.Keywords:Theultraprecision,Gasstaticpressure,Highaccuracy,Precisionmeasurement中原工学院毕业设计（论文）说明书1目录1绪论...............................................................21.1课题的来源......................................................21.2课题的意义......................................................21.3精密测量的研究现状..............................................21.4精密测量的关键技术.............................................62超精密三坐标测量仪整机机构介绍......................................92.1总体布局........................................................92.2床身材料选用....................................................92.3导轨的设计.....................................................102.4进给传动方式的选择..............................错误!未定义书签。2.5测量仪整体结构设计.............................................152.6测量仪的工作原理...............................................173测量仪的主要零部件的设计...........................................183.1移动桥的设计...................................................183.2溜板的设计.....................................................193.3电机选型.......................................................213.4环境控制平台...................................................253.5光栅尺的选型...................................................264测量仪精度分析.....................................................274.1测量仪误差源...................................................284.2测量仪精度分析.................................................295结束语.............................................................32参考文献..............................................................33致谢................................................................34中原工学院毕业设计（论文）说明书21绪论1.1课题的来源为了响应教育部的号召，实施大学本科教改计划，北京微纳精密机械有限公司与中原工学院联合实施“卓越工程师”的培养计划。由该公司接收中原工学院大四学生来公司实习并完成毕业设计，为学生走上工作岗位提供一个锻炼自己的平台。本课题来自北京微纳精密机械有限公司，在学校和公司的商讨后，确定了我的课题：超精密三坐标测量仪整机机构设计。1.2课题的意义本课题研制的超精密三坐标测量仪具有重要意义：一方面将促进超精密光学、机械制造技术快速发展，填补我国相应领域的技术空白；另一方面将提高我国产品质量和市场竞争力以及我国测量仪器的性价比水平。1.3精密测量的研究现状精密测量技术和装置是先进制造主要支撑技术之一，体现国家工业与科技水平。国民经济和先进制造的不断发展对精密测量提出了新的要求，因此，提高精密测量水平，对提升我国先进制造能力，促进国民经济发展具有重要意义。随着近20年科学技术的迅速发展,对仪器精度要求出现了数量级的变化。从精密测量(0.5μm～0.05μm)，发展到超精密测量(0.05μm～0.005μm),近年来又提出纳米精度测量(5nm～0.05nm)的要求。据专家们的推测，随着精密工程技术、尖端科技和空间技术的迅猛发展，轮廓形状允差为50nm～5nm，尺度允差为100nm～10nm的超精密零件将被广泛使用，所以超精密测量技术和仪器工程的研究与应用已成为科学技术发展的关键因素之一。当今世界上超精密三坐标测量仪在质量和性能方面首推德国ZEISS公司(即原西德OPTON公司)和LEITZ公司。到目前为止ZEISS已有多项专利技术，从而使ZEISS公司在坐标测量技术上远远领先于其它公司。其生产的三坐标测量仪既有桥式测量仪，也有龙门式、悬臂式测量仪，既有生产型测量仪，也有计量型测量仪。在国内ZEISS三坐标测量仪在航空、航天、汽车、电子、机械等多个行业中得到广泛地使用。图1-1是ZEISS最新的DuraMax三坐标测量仪系列，代表着当今测量仪行业的尖端技术。中原工学院毕业设计（论文）说明书3图1-1DuraMax三坐标测量仪德国LEITZ公司凭借其在高精度测量领域积累的世界级测量技术以及丰富的应用理论知识，通过高性能，高精确度的PMM-C三坐标测量仪与功能强大的工业级计量软件QUIND-OS的结合，不断解决来自工业各个领域的高精度和复杂几何形状的计量需求。LEITZ主要从事研制、开发、制造超高精度坐标测量仪，包括在世界高精度三坐标测量仪的发展历史上具有里程碑意义的PMM机型。其动态指标分别为最大测量加速度3000mm/s或最大测量速度400mm/s，平均触测频率40点/秒。图1-2为LEITZ最新的三坐标系列——reference测量仪系列，和ZEISS的DuraMax三坐标测量仪系列一样，在全球三坐标行业中，隶属最尖端技术。表1-1为reference测量仪系列的部分参数。中原工学院毕业设计（论文）说明书4需要详细内容（图纸+论文+实习报告+翻译）请进入论文10000网：测量仪中原工学院毕业设计（论文）说明书5表1-1reference测量仪系列参数机型（x.y.z）(100mm)E(µm)P(µm)THP(µm)Vmax(mm/s)amax(mm/s2)Reference10-7-60.9+L/3501.01.9/45s5203300Reference15-9-70.9+L/3501.01.9/45s5203300Reference20-10-70.9+L/3501.01.9/45s5203300Reference22-12-91.5+L/3501.52.1/45s5203300Reference30-12-91.7+L/3501.52.1/45s5203300Reference45-12-91.7+L/3501.52.1/45s5203300意大利DEA公司也是世界著名的三坐标测量仪的生产商之一。该公司生产的三坐标测量仪，主要使用对象大多数是与汽车产品相关的生产厂家。国内许多大型企业都订购了该公司的三坐标测量仪，目前，世界上为汽车行业车身检测提供专业检测方案的最知名厂家当属意大利DEA公司，并在推动汽车车身研究和“白车身”的尺寸检测方面作出了突出贡献。三丰公司也是著名的测量仪生产厂家，目前，己累计向世界提供了33000台三坐标测量仪，占世界测量仪市场份额的35%，雄踞三坐标测量仪世界第一供应商的位置。经过不断改进和发展，已开发出现在的高速高精度三坐标测量仪，如Crysta-Apex系列和MACH、LEGEX等新型机种。其他世界上较有名的坐标测量仪制造厂商有Brown-sharp公司，英国的ZX公司、LK公司等。我国坐标测量仪发展过程可分为三个阶段:第一阶段自上世纪70年代开始至80年代初。由于该技术密集度高，特别受我国计算机技术落后的严重影响，致使研究和生产总是处于样机试制阶段，第二阶段自上世纪80年代开始至80年代末，随着改革开放的政策实施，我国三坐标测量仪的