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1ISSN1000-0054清华大学学报（自然科学版）2009年第49卷第12期CN11-2223/NJTsinghuauniv(Sci&Tech),2009,Vol.49,No.122036-2038《清华大学学报（自然科学版）》征稿简则（2010年版）本刊只刊登首发稿。为保证作者的署名权和知识产权，全体作者应在“稿件登记表”上签名。来稿应有创新；立论科学，主题明确，推理严谨；词语准确，句子精练，使用标准简化字；遵从国家法定计量单位、数字用法、标点符号及其他标准。本刊编辑部在收稿后100天内，确定该文是否刊用。如不拟刊用，不退原稿。稿件一经刊出，即付稿酬。纸质学报出版前，将在网上预览，出版后还将向国内外文献检索机构报送并上网，届时不再向各位作者另付酬。文稿的格式要求如下。1文稿的篇幅、构成、首页注释、层次标题文稿的篇幅一般不超过7000汉字。篇幅以出版版面计算，包含文摘、图、表、参考文献。文稿的内容应包括：文题、作者姓名、作者单位、摘要、关键词、分类号（英文稿不需要）、首页注释、正文、（致谢、）参考文献、及英文部分。当第一作者为博士研究生、博士后和访问学者时，应当以作者中的导师为通信作者。首页地脚注释按以下格式。————————收稿日期：yyyy-mm-dd基金项目：基金项目类别(项目编号)作者简介：第一作者姓名（生年－），性别（民族），籍贯（只写到省、直辖市、自治区），职称。通信作者：姓名，职称，E-mail：……文稿的层次标题采用阿拉伯数字分级编码。例如，一级标题使用1、2、3、……；二级标题使用1.1、1.2、1.3、……。层次标题以下，还可使用1)、2)、3)、……。再以下，使用a)、b)、c)、……。文稿的引言部分不写编号和标题。图片、表格、引文、公式、定理等的序号，均要按其在正文中被引用的顺序，全文统一用阿拉伯数字顺序编码。例如：图1、表2、文[3]、式（4）、定理5。2文题、作者姓名、作者机构、摘要、关键词和中图分类号中文文题一般不超过20字。作者姓名按署名顺序排列。各作者之间以“，”分隔。作者机构应写正式全称，不用简称，后加城市名、邮政编码及国名。多个机构的情况下，机构名称之前加编号，同时作者姓名右上角加相应编号。不同机构之间以“；”分隔。中文摘要不少于200汉字。其中的缩略语应说明后再使用。中文摘要应包括4个层次：研究目的、研究方法、研究结果和研究结论。中文摘要独立成篇，不分段，意义完整；信息具体：使用科学性文字和具体数据，不使用文学性修饰词；不使用图、表、参考文献、复杂的公式和复杂的化学式。关键词应有3~8个关键词。第一个关键词与分类号对应。不同关键词之间用“；”分隔。缩略语应先写中文全称。中图分类号应按《中国图书馆分类法》查找。23英文部分英文文题的内容与中文标题相应。其长度一般不超过100个字符。第一个词不用冠词。除第一字母及专有名词应大写以外，一律小写。作者姓名其内容和顺序均与中文相同。中国作者姓名应按汉语拼音：例如：WANGDazhong。作者机构的英文应写正式全称，不用缩写。英文摘要的内容应与中文摘要的内容相应，不少于100个英文单词，缩略语应加以说明。英文摘要的文字要求：1）第一句话不应与文题重复；2）尽量使用简单句；3）尽量使动词靠近主语；4）不用第一人称作主语；5）以重要的事实开头，而不以辅助从句开头；6）在有动作主体的情况下，使用主动语态。英文关键词的内容、数量和顺序，均应与中文关键词相应。缩略语应先写全称再写简称。除专有名词大写以外，一律小写。4量名称、量符号与量单位文稿作者应当严格执行国家标准，正确地使用量的名称、量的符号与量单位的符号。文中所用量符号，应在首次出现时加以定义。同一个量的符号，应全文统一。量的符号、一般函数及其变数等，一般用单个斜体拉丁字母或希腊字母表示。量符号可带有角标或带有括弧中的说明。量的数值与量的单位符号之间，留一英文空格。如“10毫米”应为“10mm”。5数字和字符的正体和斜体单一字母量的符号、变量符号、从量的符号转化的角标、一般函数符号等使用斜体。多个字母组成的量的符号：除特征量使用斜体以外，一般使用正体。矢量(向量)、矩阵、张量的符号使用黑斜体。使用正体的情况有：国际标准单位（SI）词头和量单位、从文字转化的角标、阿拉伯数字、叙述性文字、化学元素符号、缩略语、仪器的规格型号、自然对数的底e、圆周率π、复数的虚部i或j、矩阵转置号T、微分号d、偏微分号、连加号∑、对数号（lg、ln、lb）、及sin、tan、lim、min、max等。6数值的表示和有效位数数值用阿拉伯数字表示。合理地选取数值的有效位数。合理地使用SI词头或10的幂，使数值范围在0.100~999之间。数值中从小数点算起，向左或向右，每3位空一英文空格。如“π=3.1415926”。7插图插图应当清晰，有自明性。插图一般不超过6幅。幅面一般为h×w=50mm×70mm。插图应随文给出，先见文字，后见插图，即放在引用该插图的文字自然段之后。图注的字体：汉字用宋体；英文和数字用TimesNewRoman。图注的字号统一用8磅（point，p）。图线应做到主、辅线分明：轮廓线、框线、曲线用粗线（0.8p，或0.3mm）；尺寸线、指引线、坐标轴用细线（0.4p，或0.15mm）。函数图的标目中，应使用量的符号与该量单位的符号之比，例如“p/MPa”；标值应圆整：即宜为2、5的整倍数；标线（刻度）、标值的数目：3~7个；标线（刻度）朝向图内。应当以比例尺来表示地图或显微图的尺度放大或缩小。8表格表格在文中的位置：应随文给出，先见文字，后见表格。单栏内的表格，其宽度限25汉字（或48字符）。表示量值的表格宜用“三线表”。三线表的第一行作为表头。表头中，使用量符号与该量单位符号之比，如“θ/℃”。9参考文献的要求9.1参考文献表的著录原则1）本刊所发表科技论文必须列出参考文献表，以便向读者提供有关信息的详细出处，提供论文论点的科学依据，反映科学技术的继承与发展的传承关系，表示作者的严肃科学态度，尊重研究人员（不仅包括其他研究人员，也可以包括该文作者）的前期研究成果。2）所引用文献必须是作者本人直接阅读过的、3正式出版的、最主要的、最新鲜的相关文献。9.2参考文献著录表的一般要求1）参考文献表应放在论文的结论之后。2）本刊采用顺序编码制，即按参考文献在正文中被引用的顺序进行编码，并在正文中指明其标引处。3）研究型论文的参考文献，一般不得少于6条。4）中文的参考文献，在原文参考文献之后，附加英文译文。文献译文与文献原文共用一个引文编号。并在一文之后，加注“（inChinese）”。9.3作者人名的表示方法1）作者人数不超过3人的，全体姓名都写；作者人数超过3人的，前3人的姓名都写，余者不写，后面加“，等”或“,etal”。人名之间用“,”分隔。不用“和”或“and”。2）不论中国和外国的作者，作者的姓名，一律“姓在前，名在后”。3）西方作者的姓名中，名字部分缩写，但是缩写后不加缩写点。4）拼音写法书写的中国作者姓名只分为“姓”、“名”两段。“姓”的全部字母都大写，“名字”的第一个字母大写，其余小写。正例：WANGDazhong；错例：WangDaZhong、WangDa-zhong、Da-zhongWang。主要参考文献的格式及示例见表1、2。表2中的空格、点号，全部使用西文标点。注意：标点前后有无空格。表1主要参考文献的格式类别代码文献类别著录格式M专著或译著原作者.译著名[M].译者，译.出版地:出版者,出版年.C文集析出作者.文题[C]//编者.文集名.出版地:出版者,出版年:起始页码－终止页码.J期刊析出作者.文题[J].刊名,年,卷（期）:起始页码－终止页码.D学位论文作者.文题[D].所在城市：保存单位,发布年份.P专利文献申请者.专利名:国名,专利号[P].发布日期.S技术标准技术标准代号.技术标准名称[S].地名:责任单位,发布年份.R科技报告作者.文题,报告代码及编号[R].地名:责任单位,发布年份.N报纸析出作者.文题[N].报纸名,出版日期(版次).Z其他作者.文题[Z].出版地:出版者,出版日期.OL网络版作者.文题[文献类别/OL].(上传日期)或者[引证日期].http://网址.表2部分参考文献的示例[1]张昆,冯立群,余昌钰,等.机器人柔性手腕的球面齿轮设计研究[J].清华大学学报（自然科学版），1994,34(2)：1-7.ZHANGKun,FENGLiqun,YUChangyu,etal.Theresearchofthedesignofsphericalgeartransmissionusedinflexiblewristofrobots[J].JTsinghuaUniv(SciandTech),1994,34(2):1-7.（inChinese）[2]郑开青.通讯系统模拟及软件[D].北京:清华大学，1987.ZHENGKaiqing.SimulationofCommunicationSystemandItsSoftware[D].Beijing:TsinghuaUniversity,1987.（inChinese）[3]PetrowskiA.Aclearingprocedureasanichingmethodforgeneticalgorithms[C]//Proc3rdIEEEConfEvolutionaryComputation.Piscataway,NJ:IEEEPress,1996:798-803.4一款微型静电旋转电机设计林奎成（清华大学精仪系，北京100084）摘要：微型静电电机是MEMS技术中一种非常重要的机械驱动装置，相关的研究引起了国内外学者的高度重视。本文从原理方案设计、结构设计、集总参数建模、数值仿真计算等方面对一款典型的微型静电旋转电机进行了设计。结合理论推导公式分析了静电旋转电机的性能优化方法。根据理论转矩公式设计了电机相关尺寸参数，计算出当最大激励电压为50V时，其理论最大转矩为7N·nm，满足实际要求。采用表面微机械加工、表面刻蚀以及气相沉积相结合的方法设计了微型静电电机的加工工艺。关键词：微型静电电机；集总参数；结构设计；表面刻蚀中图分类号：DesignofamicroelectrostaticrotarymotorLinKuicheng(DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanologyTsinghuaUniversity,Beijing100084)Abstract:Electrostaticmicro-motorisaveryimportanttechnologyintheMEMSmechanicaldriveunit,relatedresearchhasarousedgreatattentionofscholarshomeandabroad.Fromtheprincipleofdesign,structuraldesign,lumpedparametermodeling,numericalsimulationandotheraspects，atypicalmicroelectrostaticrotarymotorisdesigned.Combiningtheoreticalformula,thisarticleanalysedtheelectrostaticrotarymotorperformanceoptimizationmethods.Accordingtothetheoreticaldesignofthemotortorqueformula,thisarticledesignedsizeparameters,calculatedthatwhenthemaximumexcitationvoltageof50V,itstheoreticalmaximumtorque7N•nm,meetingtheactualrequirements.Usingsurfacemicro