平板现行工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析频率温度25—30℃28℃1次/8hH2SO410—50ml/L30ml/L3次/周酸性除油7号FR10—50ml/L30ml/L3次/周浸硫酸450LH2SO460—100ml/L80ml/L1次/周H2SO4100—120ml/L110ml/L3次/周硫酸铜•5水60—80g/L70g/L2次/周Cl-40-70ppm55ppm2次/周赫氏槽片————3次/周镀铜缸13—18温度20—28℃24℃1次/班退镀缸5—6缸HNO3250—280g/L260g/L2次/周平板现行开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸要求操作条件与要求温度28±2℃7酸性除油450L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)35L,再加入除油剂FR15L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000±500m2更换颜色开缸无色,之后淡蓝色温度室温10浸硫酸缸450L加入1/2体积DI水,加入50%硫酸90;加入DI水至合适液位L1.5L/100m25000±500m2更换颜色开缸无色,之后淡蓝色温度20-28℃过滤10μm滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳极袋口2-2.5cm13、14、15、16、17、18镀铜缸(共有6个大铜缸,两个集液槽总体积13000L)加入1/2体积DI水,小心加入50%H2SO43720L加入CuSO,4·5H2O910kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl-含量,调整氯离子含量达到50—70ppm;加入40L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每100AH添加8-10ml,特殊情况下由工艺确定。颜色深蓝色温度室温42退镀缸300L有退镀母液先加入退镀母液,,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的1\3补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度。新配退镀缸需加硝酸120L,加水40L10—20L/1000m2颜色深蓝色平板药缸工艺操作规范药缸名称槽积(L)温度范围调整值测量频次循环过滤打气槽寿命酸性除油45025-30℃28℃1次/天有无8000m2浸硫酸缸450室温1次/天无无镀铜13000L22-25℃24℃1次/班有适当退镀300L室温1次/周有无工艺通知图电工艺参数及其控制范围、监测频次缸名/容积控制项目控制范围调整值分析方法分析频率温度25-30℃28℃员工实测1次/8hH2SO45-8%6%化学分析1次/天酸性除油900LFR5-8%6%化学分析1次/天温度25-30℃28℃员工实测1次/8hNPS20-60g40g/L化学分析1次/天微蚀480LH2SO440-60ml/L50ml/L化学分析1次/天浸硫酸480LH2SO460-100ml/L80ml/L化学分析2次/周H2SO4100-120ml/L110ml/L化学分析2次/周CuSO4•5H2O60-80g/L70g/L化学分析2次/周Cl-40-70ppm55ppm化学分析2次/周赫氏槽片————化学室2次/周镀铜缸22400L温度20-28℃23℃员工实测1次/8h预浸氟硼酸480L氟硼酸25-45g/L35g/L化学分析2次/周氟硼酸100-160g/L130g/L化学分析2次/周氟硼酸铅8—12g/L10g/L化学分析2次/周氟硼酸亚锡12—20g/L16g/L化学分析2次/周镀锡铅4200L温度20-28℃26℃员工实测1次/8h退镀缸HNO3200-280g/L250g/L化学分析1次/周图电开缸及补充、换缸要求缸号缸名及容积配缸步骤(按顺序)补充、换缸要求操作条件与要求温度30±5℃14/15酸性除油900L加入1/2体积DI水,加入硫酸(50%)140L,再加入除油剂FR54L,加DI水至合适液位。化学室分析补加8000±500m2更换颜色开缸无色,之后淡蓝色18微蚀480L留母液50L左右,加入1/2体积DI水,加入50%硫酸60L;再加入20kgNPS,最后加入DI水至合适液位每周更换温度28±3℃温度室温22浸硫酸缸480L加入体积DI水,加入50%硫酸1/2100L,加入DI水至合适液位6.5L/500m28000±500m2更换颜色开缸无色,之后淡蓝色温度20-25℃过滤10μm滤芯,每月更换打气打气充分液位低于阳极袋口2-2.5cm24-39镀铜缸(22400)加入1/2体积DI水,小心加入50%H2SO46400L,加入CuSO4·5H2O1560kg,加DI水至合适液位。冷却后分析调整Cl-含量,加入67L酸铜添加剂,循环充分后做赫氏槽片,根据试验效果添加酸铜补充剂和酸铜添加剂进度调整,(按5:1比例),化学室分析并试产。化学成分由化学室分析调整。酸铜补充剂,酸铜添加剂均采用自动添加,一般为每1000Ah添加8-10ml,特殊情况下由工艺确定。颜色深蓝色13预浸氟硼酸缸加入1/2体积DI水,加入氟硼酸36L搅拌均匀;再加入DI水至合适液位每200m2补充1L、特殊情况由工艺人员酌定10—12镀锡铅缸加入1/2体积DI水、加入氟硼酸980L、氟硼酸锡182L、氟硼酸铅63L、加入硼酸84kg(用60℃DI水预先溶解)加锡添加剂B126L、锡添加剂A84L加入DI水至合适液位,拖缸处理30分钟,电流密度1.5A/dm2。定期补充硼酸(遇特情况由有关工艺人员酌定))5—7退镀缸400L有退镀母液先加入退镀母液,然后加入HNO3(浓),按加硝酸量的1\3补水,保证循环正常;化学室分析并调整硝酸至合适浓度。新配退镀缸需加水60L,加硝酸180L,开启循环,调整循环缸液位,保证循环正常,化学室分析硝酸浓度并调整铜离子浓度.20L/1000m2温度室温图电药缸工艺操作规范药缸名称槽积(L)循环过滤打气槽寿命酸性除油900有无8000m2微蚀480有有每周更换或铜含量超过35g/l换缸浸硫酸缸480无无8000m2镀铜22400有有工艺要求浸氟硼酸缸480无无10000m2镀锡铅缸4200有无工艺要求退镀400有无工艺要求4.2.3沉铜线各药水缸工艺控制要求:(罗门哈斯药水体系)序号药缸名称参考时间(min)控制项目规格范围调整值1溶胀340L6-9澎松剂MLB211NaOH温度10%-13%-16%30g/L-40g/L70-80℃13%35g/L75℃2凹蚀430L9-12KMnO4K2MnO4NaOH温度再生电流40-60g/L25g/L40-50g/L70-80℃100-150A50g/L45g/L75℃3预中和340L0.5-1.0H2O2(30%)H2SO4(50%)温度5-15mL/L10-20mL/L室温10mL/L15mL/L4中和340L2-3中和剂3316H2SO4H2O2(30%)温度40-50ml/L10-30mL/L10ml-20ml/L20-25℃45ml/L20ml/L15ml/L22℃5除油340L5-7除油剂3325温度8%-10%-12%60-70℃10%67℃6微蚀370L1-2H2SO4NPSCu2+微蚀速率温度15-25mL/L30-70g/LCu2+25g/L0.5—1.5µm25-30℃20mL/L50g/L28℃7预浸320L0.5-1.0预浸剂404Cu2+温度S.G..1.12Cu2+1.5g/L28-32℃250g/L30℃8活化320L5-7预浸盐404活化剂44SnCl2Cu2+温度S.G..1.134Pd强度:55-75%3-12g/L2g/L42-45℃240g/L65%4g/L43℃10沉铜770L15-18铜NaOH甲醛EDTA比重沉铜厚度温度1.7-2.3g/L9.5-11.5g/L3-5g/L25-35g/LS.G1.120.25-0.625µm30-36℃2.0g/L10.5g/L4g/L30g/LS.G1.120.4µm32℃4.2.4沉铜生产线药水补充用量缸号化学药品补充份量(每一百平米补充量)溶胀缸澎松剂MLB211NaOH1L300g/L的溶液1L凹蚀缸KMnO4NaOH1Kg300g/L的溶液2L中和缸H2SO4(50%)H2O2(30%)中和剂33164L1.5L除油缸除油剂33251.5L微蚀缸H2SO4(50%)NPS5L5Kg预浸缸预浸盐4042.5Kg预浸盐404配成50g/L(20%)的水溶液,补充液位活化缸活化剂44400mLNaOH300g/L的溶液10L甲醛7L沉铜液880A5L沉铜缸沉铜液880E3.5L4.2.5沉铜线各缸药水分析频次缸名控制项目范围分析频率NaOH8.5~11.5g/L1次/4H甲醛3.0~5.0g/L1次/4H880A(Cu2+)1.7~2.3g/L1次/4H880E(EDTA)25~35g/L1次/4H沉铜缸温度30~36℃2次/班Pd的强度55~75%1次/天比重1.135~1.1671次/班活化Cu2+<2g/L1次/班比重>1.121次/班预浸Cu2+<1.5g/L1次/班H2SO415-25mL/L1次/班NPS30-70mg/L1次/班Cu2+<25g/L1次/天微蚀微蚀速率0.5—1.5µm1次/天除油除油剂33258%-10%-12%1次/天中和剂331640-50ml/L1次/天H2SO410-30mL/L1次/天中和H2O2(30%)10ml-20ml/L1次/天溶胀澎松剂MLB21110%-16%1次/天NaOH30g/L-40g/L1次/天KMnO440-60g/L1次/天K2MnO425g/L1次/天NaOH40-50g/L1次/天凹蚀再生电流100-150A2次/班4.2.6开缸规范4.2.6.1部分药水每升含离子克浓度药水名称离子名称含量催化剂44每1%的CAT44含Pd47ppm沉铜液880ACu2+200g/L沉铜液880EEDTA600g/L甲醛HCHO333g/L4.2.6.2开缸方法药缸名称缸号开缸步骤换缸标准溶胀22#1)放入2/3缸DI水,开启打气;2)加入12kgNaOH,搅拌均匀,等待其完全溶解;3)加入44.2L膨松剂MLB211,搅拌均匀;4)加DI水至溢流位;5)开启过滤循环,开启加热器升温至75℃。1500㎡或2个月凹蚀32#1)放入2/3缸DI水;2)加入22kg高锰酸钾(KMnO4),搅拌均匀;3)加入20kg氢氧化钠,搅拌均匀;4)加DI水至400升;5)待搅拌均匀后,开启加热至75℃;6)同时开动再生器把再生电流调整至120~150A。注意:每次配槽前,用2%硫酸(v/v)及2%H2O2(V/V)清洗槽壁及再生器上的二氧化锰等沉积物,再用清水清洗干净。5000㎡或每6个月换缸,但每个月需要倒缸一次。预中和29#1)放入3/4缸DI水;2)缓慢加入15L硫酸(50%),搅拌均匀;3)加入3.5L双氧水(30%),搅拌均匀;4)加DI水至溢流位;1周中和27#1)放入3/4缸DI水,2)加入17.5LH2SO4(50%),搅拌均匀;加入5L双氧水(30%),搅拌均匀;加入15.5L中和剂3316,搅拌均匀。3)加DI水至溢流位;开启过滤泵。1000m2或Cu20g除油调整21#1)放入半缸DI水,2)加入34L除油剂CC3325,搅拌均匀;3)加DI水至溢流位4)开启循环过滤及加热至工作温度。(67℃)5000㎡微蚀17#1)放入半缸DI水;2)加入50%的硫酸20L;3)加入NPS18.5Kg,4)加DI水至溢流位。5)开启过滤、打气及加热至工作温度。(28℃)每周2次或Cu2+25g/L酸洗141)放入半缸DI水,2)加入12.5L硫酸搅拌均匀。3)加DI水至溢流位1周预浸12#1)放入3/4缸DI水;2)加入80kg预浸剂CP404,搅拌至完全溶解。,3)注入DI水至工作液位,开动过滤泵。1到2年或Cu2+1.5g/L活化11#1)放入3/4缸DI