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1.电子束入射固体样品表面会激发哪些信号，他们有哪些特点和用途a.二次电子:在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子。特点：能量较低；表面形貌敏感性：一般在表层5-10nm深度范围激发的。用途：它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。b.背散射电子：背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。特点：具有较高能量，作用深度大；原子序数敏感性：产额随样品原子序数增大而增大。用途:形貌分析、定性成分分析c.吸收电子：入射电子能量被吸收殆尽，吸收电子信号与二次电子或背散色电子信号互补，强度相反，图象衬度相反。用途：吸收电流像可以反映原子序数衬度，同样也可以用来进行定性的微区成分分析。d.透射电子：一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构来决定。因此，可以用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。e.特征X射线当样品原子的内层电子激发或电离时，原子就会处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁已填补内层电子的空缺，从而释放特征X射线。用途：定性或定量微区成分分析。f.俄歇电子：能级跃迁，当众多能量不足以辐射X光，空位层的一个电子会发射出去；这个跃出的电子为俄歇电子。特点：能量具有特征值，近表层性质，能量很低。用途：表面层成分分析2.横向扩展降低信号成像分辨率：俄歇电子，二次电子，背散射电子，特征X射线，连续X射线3.可见光波长