CrystalTech---蓝宝石晶体生长炉和晶体生长技术

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资源描述

Driveyourlightingway香港科瑞斯特科技有限公司全球领先的LED级蓝宝石晶体生长设备制造商Driveyourlightingway公司背景介绍香港科瑞斯特是一家全球领先的LED级晶体生长设备、外延设备的制造商,也是全球唯一一家能为客户提供交钥匙工程、整体解决方案的专业供应商。公司研发中心在上海张江高科光电产业园内,工厂位于浙江金华,总投资为两亿元人民币。来自工艺、机械、电子、软件、产品设计等方面业内领先、国内外的技术专家团队,旨在不断解决材料科学领域不断变化的市场需求、不断突破国外厂家长期以来形成的技术和专利壁垒。由科瑞斯特卓越的研发团队开发的晶体生长核心设备---科瑞斯特蓝宝石ISS晶体生长炉,将是突破当前工艺水平的新一代的全自动晶体生长系统。Driveyourlightingway3GMVP(Sales)VP(Marketing)HR/AdminVP(Projectteam)ProcessmanagerProjectmanagerCFO组织机构图Driveyourlightingway技术团队组成:工艺团队:来自国内外晶体生长行业的顶尖晶体工艺研发人员,设计团队:来自半导体设备行业的机械、电子、软件、外观技术人员;现有规模30余人,平均学历硕士以上。香港科瑞斯特公司DriveyourlightingwayDriveyourlightingway商业机密•蓝宝石长晶•蓝宝石开方•蓝宝石切片•蓝宝石图形片•蓝宝石抛光•蓝宝石研磨•蓝宝石外延片•切LED粒子•封装产品销售•MOCVD•蓝宝石长晶炉•所以蓝宝石长晶炉与MOCVD将会是LED最大的生产瓶颈Driveyourlightingway市场需求分析DriveyourlightingwayDriveyourlightingwayLED级蓝宝石晶棒LED级的蓝宝石晶棒加工成蓝宝石基板,是LED外延制造的主要基板材料之一。是LED的最主要的原材料,占LED成本的12%。非LED级蓝宝石晶棒可加工成高档手表的表面、珠宝、首饰等高档消费品。以及轴承,光学仪器,军事等用途。目前,70%瑞士手表蓝宝石表面均来自于国内蓝宝石加工厂家蓝晶体生长炉—LED核心基片制造设备Driveyourlightingway2010年MOCVD的市场需求数据DriveyourlightingwayDriveyourlightingway2008年-2010年中国以及台湾地区对蓝宝石基片需求分析图0500100015002000250030002008年2009年2010年2011年万片万片Driveyourlightingway商业机密Driveyourlightingway2英寸蓝宝石晶棒价格走势Driveyourlightingway当前蓝宝石晶体生长工艺及设备现状Driveyourlightingway蓝宝石项目产业链目前存在的瓶颈MOCVD外延切磨抛工艺+包装(未成熟,国内只有一、二家可以做,台湾有2家公司具备年加工500万片蓝宝石毛片的能力)LED级蓝宝石单晶生长(未成熟,国内没有适用与LED级的蓝宝石衬底的制造商和设备供应商)三氧化二铝原料制备(已经成熟)Driveyourlightingway蓝宝石晶体主要工艺对比主流工艺泡生法提拉法倒膜法采用技术自主研发自主研发自主研发自动化程度低、人工手工操作低、人工手工操作自动化程度高成品率高较高高位错密度百级千级千级设备价格设备自用设备自用设备自用DriveyourlightingwayISSTM蓝宝石晶体生长炉提供先进生长工艺包和交钥匙工程!DriveyourlightingwayISSTM蓝宝石晶体生长炉领先工艺同先进设备的结合领先工艺:基于传统泡生法优化开发的LSGTM蓝宝石晶体生长工艺先进设备:秉承尖端的半导体设备设计理念;实现全自动操作,高设备利用率,工艺高度可重复;可迅速实现大规模量产DriveyourlightingwayLSGTM蓝宝石晶体生长工艺基于传统泡生法优化开发,具有以下优点:LED级晶体质量:400-600/cm2位错密度成品率:提高至85%集成一体化工艺:炉内退火,减少开裂及碎晶全球最低每毫米晶体制造成本:低电能及耗材消耗量,同比下降40%,首批设备调试时间:缩短至3个月DriveyourlightingwayLSGTM蓝宝石晶体生长工艺革新性热场设计:经高速计算机模拟验证,提高成晶率;热场材料选择:降低能耗及耗材消耗,提高热场稳定性及设备利用率;EasyRepeat热场定位系统设计:提高热场稳定性;设备利用率及成晶率各提升约15%-20%DriveyourlightingwayCTSSTM切磨抛工艺提供CTSS™全套工艺解决方案光洁度:至0.2纳米成品率:90%挠曲度:5um提供设备选型及工厂规划DriveyourlightingwayISS™系列蓝宝石设备技术优势DriveyourlightingwayISS™系列蓝宝石设备关键创新创新设计功能描述UltraLifetime™全新热场选材及设计;寿命长达2年或更高;有效降低能耗及耗材消耗,提高设备利用率EasyRepeat™快速热场定位系统,提高工艺稳定性,提高设备利用率PowerTune™万分级高精度电源管理系统,提高晶体品质和成晶率IsoVal™内置隔离系统,集成式炉内退火及快速更换籽晶功能,提高晶体品质及设备利用率ResidueZero™防粘锅设计,提高成晶率及坩埚寿命ChillingCool™冷却水入口温度±0.5℃,提高晶体品质和成晶率VacGasMaster™先进真空管理及气体分配系统,提高成晶率及晶体品质SafetyCare™安全装置及互锁,提高安全性AccuHeating™先进温控系统功率控制、温度控制精度±1.0℃,减少了人为的影响(闭环控制),提高成晶率及晶体品质Driveyourlightingway香港科瑞斯特科技有限公司ISS™系列设备其他创新创新内容功能描述工控系统半导体工业级别控制设计,注重高度自动化及高度可靠性;软件设计友善人机界面,多语言界面工厂数据库兼容工厂上位机,方便全厂自动化控制,远程维护修理,数据采集及工艺数据库管理工艺集成工艺集成内置,重复性高(highprocessrepeatability,systemtosystem,runtorun)工艺包升级可直接快速升级至60公斤先进工艺项目团队提供专属项目经理(协助软件,硬件,工艺等全面支持)Driveyourlightingway香港科瑞斯特科技有限公司完善的售后技术支持支持晶体设备以及相关配套系统的调试、试生产工作;提供蓝宝石晶体生长的工艺、操作规程等相关资料;提高相关人员的培训,半年左右使其能够独立完成蓝宝石晶体生长工作;科瑞斯特提供专职项目经理Driveyourlightingway可实现LED级蓝宝石晶体生长序号项目参数1透过波段0.15—7.5μm2透过率80%以上(0.25—5.0μm)3位错密度400-600/cm24双晶曲线12-25second5成品率(项目交接时)75%科瑞斯特承诺Driveyourlightingway谢谢!Q&A

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