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GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.1多晶炉维护手册辉煌设备部编制GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.2前言这本手册有保养，维修GTDSS多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用和保养多晶炉很重要，因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。手册内容：前言：安全注意事项第一单元：预防性保养预防性保养日程安排表预防性保养程序第二单元：维修更换顶部热电偶，氧化铝管和氧化锆管更换TC2更换溢流丝/拆除DS块组装下炉腔刹块调整下炉腔水平调整隔热笼的水平安装/拆除加热器-DSS240安装/拆除加热器-DSS450加热器电极的检查步骤安装/拆除隔热层安装/拆除铜电极顶部隔热笼的安装清洗氦气阀清洗水流量计第三单元：故障指导解决警铃声响解决设备故障解决操作问题GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.3安全注意事项安全标志：以下安全标志将会出现在本手册，来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危险。请确保维修人员，安装人员熟悉这些标志。危险----出现此标志代表所讲述的情况很危险，如果不避免的话可能会导致死亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。警告----出现此标志代表所讲述的情况有危险，会造成重伤。只有在完全了解了警告的讯息，才能开始进行。小心----出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障，中度受伤或资料遗失。注意----出现此标志代表提供重要的相关资料，提醒或建议。安全措施：所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。在硅碇出炉时，硅碇温度大于400℃，绝对不能触碰。硅碇在出炉时会快速冷却，这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。设备多处有高压电，高热度部位，请注意设备上的安全标示。当接近有高压电处，请确保你有只手放在口袋里。操作时请穿橡胶底的鞋子。操作时一定要小心，不要自以为是。机器不使用时真空泵一定需关上。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.4第一单元：预防性保养参考用（预防性保养日程表）真空测量器校准粗略量程的真空测量器精密量程的真空测量器真空泵系统维修更换油–机械泵更换油–罗茨泵检查轴带检查在支持泵上的电磁继电器下炉腔提升系统螺旋起重器软轴闸门离合器水电缆控制平台SlimPaksSlimPakAC测量SlimPakDC测量气体流量控制器检查比率阀清洗比率阀检查热区DSS-240DSS-450GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.5参考用（预防性保养日程表）建议依照以下时间表定期执行预防性保养：维修项目执行时间真空测量器校准每3个月一次真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料检查油量一星期一次更换油–机械泵每6个月一次更换油–罗茨泵每6个月一次检查轴带每6个月一次检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次检查底炉下降系统：螺旋启动器软轴每3个月一次一个月一次闸门一个月一次离合器一个月一次水电缆每6个月一次检查控制平台与其附属设备一个月一次电源供应系统校准每3个月一次检查SlimPak每6个月一次检查与校准气体流量控制器一个月一次检查比率阀一个月一次清洗比率阀每3个月一次检查热区一个月一次GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.6真空测量器校准每3个月一次校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需要专业的仪器与工具，因此须由厂家或专业人士来处理。注意–在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟大量程的真空测量器为了调整大量程的真空测量器的零点，炉里的压力需要低于0.1mbar。所以开启真空阀（V1）然后抽真空，直到大量程真空测量器显示低于0.1mbar。在控制平台点选ManualScreen，然后点选MaintScreen，输入正确的密码后，维护选项画面就会出现。真空测量器的数据就显示在AnalogInputs框里。在做任何调整前测量器需要至少运作30分钟。1.如果荧幕上PressureGauge,Coarse并没显示0，调整较零器直到数据显示0±0.5mbar。2.回到ManualScreen，关闭截止阀(V1)然后输入氩气进炉内以达到大气层的压力。开启炉膛30秒让压力平稳下来，然后查看PressureGauge,Coarse的数据。数据应显示1000±10mbar。这数据会因所在地而有所不同。注意-数据会根据所在地而有所不同。因此请先确认所在地的大气层气压。3.如果大气层气压不在可接受的范围内，逆时针扭开测量器的红色盖子，调较零器直到数据显示正确。精密量程真空测量器1.在最理想的状态下，在调到“0”之前，炉里的压力需低于0.0001mbar。在大多数的情况下这是达不到的，所以最好是把荧幕上的数据跟外部的测量器数据做个比较。把外部测量器连接到多于的接口。2.把炉里的压力降的越低越好-至少0.05mbar之后跟外部测量器比较数据。注意你所选用的外部测量器，不要受到氩气或氦气的影响。开始对炉子进行抽气。记住不要用氩气和氦气回充。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.73.如果MaintenanceScreen的数据与外部测量器的数据不同，不在±0.01mbar以内，调整较零器直到两个数据相差在±0.01mbar以内。4.如果通过较零器还是无法调整，调整CoarseZero开关。首先，把CoarseZero调到发布外部讯息接近0volts然后跟着第3点提到的调整。5.回到Manualscreen,关闭真空截止阀（v1）然后让气压上升或者从NW16外泄直到气压大约1mbar。回到MaintenanceScreen。再次比较两个数据，如果还达不到要求，可能是外部测量器不准确或真空测量器有需专业校准或更换。真空泵系统维修1.油量应该一星期检查一次。机械泵的油量必须保持在1/3到2/3。罗茨泵的油量必须保持在麦克标记之内。请确保用正确的使用油。2.泵里的油应该至少每6个月更换一次。如有出现油质污染就需常更换。3.每个月需检查是否有漏油情况。如有发现，请根据厂家提供的资料维修。4.每个3月需检查潮气过滤器的回压。当泵在正常运作下，回压不该高于过滤器底部的测量器1-2psi。如果压力大于此，清洗或更换潮气过滤槽。更换机械泵的油每6个月一次1.请确保泵的电源已关闭，插头拔掉或关掉电源开关。2.让油从漏油阀流出。把漏油阀关闭。把流出的油妥善的处理掉。3.再把漏油阀开启，把泵启动然后快速关闭，把剩余的油逼出来。4.把漏油阀关闭，从底层输入口把2加仑的KinneySuperX（或同等油）加入。把盖子盖上，请确保O型圈的状态良好。之后在上层输入口加入约观看镜1/3的油。5.把上层输入口盖子盖好，启动泵。请确保真空截止阀（V1）是关闭的。6.请观察观看镜的油量，在泵运作1-2分钟后，把泵关闭，在从上层输入口加入足够的油至观看镜的一半。小心–如果油量低于观看镜的底部，立即停止泵的运作并从上层输入口加入足够的油。更换罗茨泵的油每6个月一次1.请确保泵的电源已关闭，插头拔掉或关掉电源开关。2.让油从漏油阀流出。把漏油阀关闭。把流出的油妥善的处理掉3.打开7/8输入口，在各输入口加入0.47升的KinneyKV-100油。请确保油量是接近上层麦克记号。如有需要,请多加入油。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.84.把输入口关上，启动罗茨泵。让罗茨泵的油有20分钟的热油时间，然后把机器设定为真空状态（V），等待压力达到50mbar时启动增压泵。5.请确保油量在几分钟后仍保持在马克记号内。如果油量有很明显的变化，把泵停止并加入适当的油量。检查轴带每6个月一次1.每6个月轻检查轴带一次。检查轴带是否有裂，太薄或弹性不足。如有需要，请更换轴带。2.在更换轴带前，先关掉电源。然后把轴带保护壳拆下。警告–关掉电源并且上锁3.把支撑马达螺帽转松，把马达降下接近泵体直到轴带能轻松的卸下。4.检查两个转轴的松紧度和位置是否正确，然后把新的轴带换上，把支撑马达的螺丝转紧，确保不多过±12mm的移动空间。5.把保护壳装上。6.启动罗茨泵但不要开启真空截止阀（V1），2-3分钟后从保护壳的开缝观察轴带。如果设置正确的话，轴带会显得有点撑开。请调整至正确的设置。检查罗茨泵上的电磁继电器每个月一次1.当泵在运作时，在每个电磁继电器低部放一个扁头的螺丝起子。右手边应该会感到有磁铁吸力。这表示电磁继电器运作正常。左手边只有在输入压力高于100mbar时才会有反应。所以当泵往炉里抽气时才检查。2.在检查轴带跟泵体之间的电磁继电器要非常小心。请确保螺丝起子不要触碰到轴带。如果有感到磁铁吸力，这表示电磁继电器运作正常。3.如果电磁继电器并没正常运作，请更换，否则泵里油的循环将会受损。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.9检查炉体升降系统每3个月一次每当升降系统在运作时，请注意听是否有不寻常的杂音。如觉得螺旋启动器无法很好的运作就请更换新的。每3个月为螺旋启动器上一次润滑油。一次用约7.09克的No.1ConsistencyEPGrease.警告–决不能在没上润滑油的状态下使用螺旋启动器软轴每个月检查一次。请确保所有的螺丝有锁紧。全部的闸门都需每个月检查一次，确保产生阻力的材料状态完好。尝试用手转开，应该是转不动的。请确保闸门上所有的螺丝都锁紧。当炉体在下降或上升时，请注意听离合器是否发出棘齿的声音。如果离合器发生下降的问题，请检查螺旋启动器，闸门合并的接口。同时也检查螺旋启动器有上足够的润滑油。如果全部部件都运作正常，请以以下方式增加离合器的扭转力限制:把齿轮轴上的螺丝转松，把圆轴向逆时钟方向转一刻度。把螺丝锁上下一个对口。把螺丝锁紧然后尝试操作底炉升降。注意LED并听是否有棘齿的声音。如有需要，请重复以上步骤。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.10检查控制平台与其附属设备一个月一次1.拆下冷却风扇过滤网，清洗或更换。请确保冷却风扇运作正常，发出声音不大。如果声音大表示轴有问题。2.请确保机器前的警报灯运作正常。请测试警报声响。3.打开gasassemblybox。慢慢用调节器降低来临气压，直到警报声响。箱里气压检查器PS1000上的红色LED将会亮起。警报应该在气压50–55psi时启动。如果情况并不是如此，请调整PS1000上的小红色螺丝直到状态正确。设置后，把气压调到65–68psi。注意–不要调超过70psi。这会导致真空截止阀损坏。4.检查UPS上的LED运作正常。Line和INV的LED应该亮起。By-Pass应该是不亮的。电磁充电状态应该最少有一个绿灯亮着，而ALARM,CREST和GREENMODE都不亮的。5.检查电源供应电压。调整任何超出可以接受范围的电压。测量03092到03093到03094，测量器应该显示+15和-15VDC±0.2VDC。测量03080到03081，测量器应该显示+24±0.5VDC。6.每6个月检查电源供应电流截止器的校准，IS1和IS2,(SlimPaks)在控制平台点选ManualScreen，然后点选MaintScreen，输入正确的密码后，维修选项画面就会出现。相关的数据是HeaterAmperage1和HeaterAmperage2。请确保加热器接通开关是关的。测量输入到在Rack000,module10的电压(DC)。测量在0102（+）和0103（-）之间然后调整在IS1的较零器到0.000±0.010V(等于荧幕上的±10安培)。请确认荧幕上HeaterAmperage1的数据。请重复步骤，0106（+）和0107（-）然后调整在IS2的较零器到0.000±0.010V。GlorySiliconEnergy(Zhenjiang)Co.,Ltd.11请确认荧幕上HeaterAmperage2的数据。退出维