半导体厂节能措施汇总

整理文档很辛苦,赏杯茶钱您下走!

免费阅读已结束,点击下载阅读编辑剩下 ...

阅读已结束,您可以下载文档离线阅读编辑

资源描述

电空调水年度小计2007年347,5597,863,9621,667,7009,879,2212008年169,3276,924,6081,771,8458,865,7802009年2,745,5164,917,336196,5577,859,4092010年1,700,0005,122,0001,315,0008,137,000分项小计4,962,402##########4,951,10234,741,410分项比例14.3%71.5%14.3%100%AUS今几年节能费用电,4,962,402,14%空调,24,827,906,72%水,4,951,102,14%电空调水电空调水序號廠區節能項目執行狀況節能費用/月1S03CUB电力容量从23000KVA调低至20500KVA电力容量调低至20500KVA33,0002S03F3发电机加热器调整室温在22℃以上时关闭加热器,节约能源5,8691S02AS/RS自動倉儲貨架內日光燈照明管控在K2變電所中將照明控制開關以跳盞方式關閉一半左右,從2008年1月開始執行¥7,8832S03工礦燈節能改造08年5月份施實,工礦燈改日光燈¥7,2563S03CUB棟冰機房日光燈節能08年2月實施,關閉19盞日光燈¥3354S03CUB棟倉庫照明節能08年2月實施¥5221S01&S06U2-3F及K1變電所照明&空調關閉08/11/01已關閉,次年5月再開啟¥6,5002S01&S06Hookup少的無塵室上方照明關閉08/11/01已開始實行¥4,0003S02負載低採用單回路供電,關閉7台變壓器工廠電力負載低的時段停掉7台變壓器減少變壓器本身損耗¥17,93445S02電力減容於2/1日開始執行單邊供電減容預計可執行3個月¥66,1206S01/S06K1ASRS關閉高架區、天橋、軌道區照明燈實施中,08年12月開始¥13,4357AUSZ蘇州廠區南側路燈&蘇州廠區F2西側路燈開啟時間減少(由原17:30~5:30----改成17:30~22:00)已從1/1開始執行,預計十二個月,關閉¥4178AUSZ蘇州廠區U1&U2射燈關閉一側(關閉7個,按每個400W計算)已從1/1開始執行,預計十二個月,關閉¥5799AUSZ蘇州廠區辦公區照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W)蘇州廠區庫房照明減少(由雙管改單管,按1000根*36W)已從1/1開始執行,預計二個月,關閉¥26,58610AUSZ廠區照明燈由T8改成T5節能燈預計6月30日前全部更換完成¥170,00011S03變壓器使用台數合理分佈減少變壓器使用量,降低變壓器自身負載損耗¥4,56712S03電力暫時減容降低電力契約容量(2月-7月適用)¥140,40020101厂区、融园T5节能灯更换200720082009当年度節能費用年度合计节省费用330,00017,559¥94,596¥65,304¥3,685¥5,742¥26,000¥40,000¥71,735¥198,360¥161,220¥5,008¥6,948¥319,036¥1,020,000¥54,809¥842,400¥1,700,000¥1,700,000¥3,262,402347,559¥169,327¥2,745,516序號廠區節能項目執行狀況節能費用/月1U1/U2根據冰機晝夜負載狀況,增減冰機數量/主泵數量晚間關閉2台(60A)30,0002S01/S06無塵室夏季(5月~10月),溫度基準值提高至24℃,濕度基準值為56%,波動範圍51%~61%3F/4F平均溫度24℃,平均濕度60%222,7883S022E無塵室溫度由21.5℃提高至23℃,目前溫度為22℃10,6004S06/S01无尘室洁净度等级降低,适当关闭部分FFU关闭FFU170(S06)+400(S01)+296(S02)=866台108,3055S06MAU中效滤网规格降低,12P改为8P,玻纤改人造纤维12P改为8P,玻纤改人造纤维;7/5更换1台,8/1更换2台2,4006U1/U26-9月份熱水停用熱水停用未對其他系統產生任何影響6,0007S021FRC在夜間及週六周日關閉2個回路FFU關閉45台FFU2,7378U3蒸氣冷凝水回收三期蒸氣冷凝水接管後加入制程水池供冷卻塔補水,節省冷卻水補水量;以及原需自來水補水至排汙降溫池後排放之水費、電費7,9949S021F因物料區潔淨等級降低,關閉1FMAU1台1F二台空調箱現只開一台3,74410U3關閉冰水二次泵關閉冰水二次泵28,45411U3三期增開一台換熱器在未超過蒸汽最小用量前提下(蒸汽費用不變),增開1台換熱器,節省熱水主泵功率1,63712U1U1CDA系统压力调低0.7bar;U2CDA系统压力调低0.5barU1系统压力调低0.7bar;U2系统压力调低0.5bar335,00013S06關閉1台空壓機備機每天節約1600KWH電30,00014S03F3无尘室Aging后段级别从5000级降低为一般区关闭RCU34台,FFU307台154,50015S03F3L10C/R新风管路封闭1FC/R无新风供应,节约能源21,03816S03CUBCDA系统压力从0.73bar调低至0.7bar系统压力调低至0.7bar14,79017S03CUBREX系统压力从-100kpa调高至-50kpa系统压力调高至-50kpa8,66818S03F3氮气柜进气口流量调节从7.5L/MIN至2.5L/MIN氮气流量调低至2.5L/MIN16,00019U1停掉一台空压机停掉一台备机30,24020F31E一般区关闭三台ACU在确保环境温度的情况下,进行季节性停机节能6,85821S03CUBDryer再生氣體調整露点从-53℃调低至-40℃1,6871S01&S06U1&U2在冬季現場負荷減少的情況下關閉冰水二次主泵已試執行,預計三個月,U1執行3個月,U2執行5個月¥9,3332S01C/R等級降低(10K降為100K)從3.15日開始計算,已關閉FFU300台,截至4.28日共關閉750台¥78,352200720083S06S06廠更換HEPA,降低無塵等級截至3.18BEOL已關閉FFU110台,除4A閒置區域和3F&4F降低等級,目前共關閉131台¥15,2004S06S06廠4A南側區域隔離因區域已增加會議室隔間,現僅對部分區域進行關閉FFU和RCU,從1.1日開始計算.5.26日開啟RCU4.3,4.4¥25,8335S06S06MAU濾材(主要是就目前濾材材質及效率進行改善,以期達到更高的性價比)F5已經拆除,從2.15日開始計算¥16,2006S06S06廠3F/4F等級降低(10K降為100K)截至5.24日3F/4F共關閉FFU538台;6月初共關閉612台¥55,0007S01&S06合理利用合約減少蒸汽費用5-9月共停蒸汽天46天¥550,0008S02夏季FAB溫度由22度調為23.5度6/2已將溫度調到23.5度¥22,0009S02Fab內濕度冬天降低至60%,夏天提高到64%冬季調為60%,夏季在開始用冰水的情況下將設定值提高,¥93810S021E-Fab潔淨度等級降低1月8日開始關閉1EFAB75台FFU,1/14關閉1EFAB85台FFU,目前為止共關閉FFU160台¥20,57011S02RC-Fab潔淨度等級降低1月3日關閉RCFAB65台FFU¥8,35712S02MAU出口溫度降低1月7日將MAU出口溫度調低,節約熱水用量,目前送風溫度調至17℃¥16713S02MAU水洗方式改變(夏季加濕器關閉)5/15已開始,夏季7、8、9、10月將MAU加濕器關閉¥15,12014S02Final區域一般空調季節性關閉1月3日關閉各FAB後段一般空調,預計6月至10月開啟,實際一直沒有開,目前關閉1E4台RCU,2E9台FCU,RC5台RAU¥14,26015S02RC/1E整合、2E整合5/5完成RC與1E整合,可停用RCMAU¥11,70016S022F5#、6#空調箱關閉2月18開始關閉¥1,18817S02RA-LAB實驗區夏季溫度調高,冬季降低夏季溫度由18℃調為20℃,冬季由22℃調為20℃,1月4日將RA-AHU出風溫度從22℃降低至20℃,3月已調到28℃¥66718S022EDCC泵冬季兩用一備改為只開啟一台(7、8、9月除外)1月3日將2EDCC泵由兩台運行改為1台運行¥1,30619S02降低熱水設定溫度,改變換熱器運行模式——運行台數控制、壓差控制變頻1月4日熱水溫度由80度降為77度,出水壓力由3.0bar降為2.5bar¥3,73420S02通過合理安排冰機、冰水泵、冷卻水泵、冷卻塔運行模式,將總耗能降至最低冷凍設備優化控制,4/1冷卻塔運行模式已改變,冷卻水泵加變頻¥40,00021S02冬季間歇性開關冰機利用電力峰谷時段電費差異,分時開關冰機降低運行電費,1月24日開始試驗階段,因目前外界溫度上升,2/29又全段開¥67,20122S022E更鞋區關閉FFU3/3關閉2E更衣區FFU12台¥1,54323S02實驗室空調箱加變頻器3/24已增加變頻器,功率由15KW降到5KW¥4,285200824S02物料區冷氣關閉關閉物料區冷氣,利用無塵室瀉漏冷氣,6/15已完成¥13,07725S021E、2E物料區FFU全部關閉8/1關閉物料區FFU32台¥4,47126S022EFinal及packing段溫度由25度上調到27度8/1完成¥5,91227S021E前段改為一般區域8/4完成1#線,共關9台FFU;8/22關閉2#線23台FFU¥4,1382829U1&U2停掉2台空壓機2008-1-1停掉2台空壓機¥87,50030U1Fab排氣回收預計6/1完成¥44,28631S02CDA壓力由7bar調整為5.5bar2008-7-14已經調整為5.5bar;8-18,因3E-FAB啟用,故把壓力調為5.7bar¥49,31832S02空壓機TA6000停機3/4開始停機,2008年爭取停TA6000共6個月,每月平均25天¥82,19633S02乾燥劑排氣風機運轉模式調整07年開始,12月停用¥80334S02乾燥機再生時間調整乾燥機再生時間變成36小時,此條目僅適用於春、秋、冬季¥3,84935S02RC排氣夜班停運/週末停運2008年2月底執行夜班停運(停11h),自8月初又執行週末停運(停47h)¥74236S03有效更換新風機組濾網08年1月實施,將初效改為每星期更換,中效每月更換,高效一年更換¥1,85837S03調整無塵室溫度(RCU節能)08年1月實施,夏天溫度控制26度、冬天溫度控制24度¥18,83338S03調整無塵室濕度(MAU節能)08年1月實施,夏天濕度控制65%、冬天溫度控制55%¥36,66639S03CDA系統節能08年1月實施,將露點溫度從-52度升到-40度¥1,68640S03無塵室潔淨空氣防洩露08年4月實施,對洩露之孔洞進行密封¥26,49041S03IT機房節能改造預計08年10月下旬實施,空調機組改造¥4,14742S032F空調調節08年1月實施,無塵室面積縮小,空調閥門調節及加濕及除濕量調¥11,88643S03無塵室潔淨度10K降100K08年6月份施實,拆除FFU/MAUHEPA¥19,97644S03CUB鍋爐房及冰機分機節能08年2月實施,關閉10台風扇¥1,46845S03CDA壓力調節08年7月實施,壓力調低0.5公斤¥9,8671S01&S06物料區域空調關閉,利用無塵室泄壓來控溫08年10/29日已完成,從08/11/01開始計算¥11,0002S01&S06冬天利用外氣冷卻變電室的溫度11月~次年3月利用外氣,08/11/09已完工,從08/11/15開始計算;並間歇性開關機¥18,0003S01&S06U1&U2降低砂濾塔反洗頻率08/11/01已開始實行¥

1 / 15
下载文档,编辑使用

©2015-2020 m.777doc.com 三七文档.

备案号:鲁ICP备2024069028号-1 客服联系 QQ:2149211541

×
保存成功