沉镀铜教材1

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资源描述

沉镀镀作业教材說明为提升员工对沉镀铜作业流程的了解及新员工能更快更直接的掌握沉镀铜的操作技能。制作本教材。沉镀铜作业的环境要求因沉镀铜对作业环境要求极高,且为高温作业区,大部分的作业员对高温作业的环境很难适应。目前对高温环境只能使用大风扇对周边环境给于降温,临时满足员工对高温作业的需求。以下是对高温环境条件要求图文说明异物产生途径1.环境来源:空气,药水,周边环境。2.设备制程及药水,水质来源:机台设备,生产原料,药水质量。PI水质状况3.人员来源:高温环境导致人体汗珠,手湿等影响品质。据测试50%异物尘埃是人体产生,所以对作业人员作业归范有特別要求。要求如下一.严格按照SOP作业指导书作业沉铜前对设备要求:1.生产前确认设备是否正常。2.各缸的药水状况是否符合要求3.人员对设备的了解是否可独立操作二。沉铜前对来料插蓝作业要求1.对来料检验是否有皱褶现象2.插蓝时必须佩戴好手指套再进行作业3.插蓝时检查篮具是否有变形现象4.各项指标达成后再进行插篮作业5.将插好的产品进行沉铜作业沉镀铜作业指导及要求1.作业前准备/确认事项:1.检查产品编号是否与生产计划表之产品编号相符。2.检查工令与生产计划表的数量是否相符。3.检查物料是否正确.4检查基材有无皱折,压点5.检查设备是否正常.6.检查各缸设定参数是否打到要求.7.作业前与产品接触的手指必须带指套或手套.8.插板时注意保持板面平整.沉镀铜流程确认料号与实物插挂篮进缸下板确认料号与实物插挂篮确认料号与实物确认料号与实物插篮插篮前只要确认物料与实物是否相符合,再进行插篮。..................................................................................................................................................................................................................将产品插入不可有重叠现象管控点及要求1.检查基材有无皱折,压点等不良。2.作业前与产品接触的手指必须带指套或手套.3.插板时注意保持板面平整.进缸1.生产过程中必须严格按照指示选择相应程式,正确计算并输入各项参数2.生产过程要认真做好《FPC沉铜检查记录表》、《沉镀铜条件记录表》、《沉铜化学药品添加通知单》等多项工作记录,要求字迹工整,填写完整,不允许乱涂乱划。管控点:1.打气要打开2.溢流要打开3.设备参数管控出缸下板下板时必须反戴胶手套,胶手套必须每天更换一次;管控点:1.下板时注意皱褶2.做切片确认有无铜沉铜生产所需药水及用量规范1.沉铜(200L)作用:通过氧化还原反应,在孔壁沉积一定厚度的铜层,作为电镀过程中的导电层,从而实现电气导通。4.8.2溶液组分EC-250M100±10ml/LEC-250A100±10ml/LEC-250B100±10ml/L2.PI调整(200L)作用:微蚀孔壁表面以增强后面的化学铜附着;通过增加催化剂吸附促进铜覆盖率的提高。溶液组分:PI-200500±100ml/L3.除油(200L)作用:除去板面污迹,同时调整孔壁电荷分布,有利于Pd的吸咐。溶液组分:CD-210100±10ml/L4.微蚀(200L)作用:除去基体铜表面氧化层,对铜表面进行微蚀形成微观粗糙面,增加化学铜层与底层铜的结合力。溶液组分:H2SO4(3±1)%SPS90±10g/LCu2+15.5±9.5g/L5.预浸(200L)作用:除去基体表面残留的化学药品,防止有害杂质直接被带入活化缸内,避免活化槽的污染。溶液组分:1.136+0.014g/cm3PD-220A200±30g/LPD-220B70±10ml/L沉铜生产所需药水及用量规范6.活化(200L)作用:使胶体Pd均匀地附在孔壁,引发化学沉铜初始反应。溶液组分:1.16±0.015g/cm3PD-220A200±30g/LPD-220B70±10ml/LCA-23030±5ml/L7.加速(200L)作用:除去Pd外层包围的物质,露出有催化活性的Pd核,引发后续反应。溶液组分:AL-240100±10ml管控点及周保养:1.沉铜缸每生产4m2添加A,B各1L,C,D按分析结果补加,补加药水时按照A、B、C的顺序添加。2.将打气、过滤、加热关掉,把沉铜液用棉芯过滤抽至备用沉铜缸中保存;3.用水清洗缸体后加入2/3槽体积废弃的粗化液,并补足液位进行溶铜,同时开启过滤泵;4.待将缸内壁的残铜溶解后,将粗化液排走,加满水后过滤彻底清洗缸体、过滤泵、副槽等;用5%NaOH溶液或旧沉铜液冲洗缸壁,各管道死角及过滤泵,并排掉;5.开启打气,将沉铜液用棉芯过滤抽回药水缸,开启过滤。(抽液前用DI水将抽水泵清洗干净)6.每生产5000㎡时,整缸更换;镀铜生产流程进缸烘干待镀产品放置上挂具镀铜作业指导及要求1.检查物料是否正确.2.检查所需设备是否全部开启并正常运行.3.检查各缸设定参数是否打到要求.4.都满足生产要求时先产出6pnl产品做首件确认,首件ok后方可批量生产。作业前注意事项:1.作业前做好各项防护.2.上挂架时注意保持板面平整.3.二次镀铜产品在上挂具前不能把垫板取掉.上挂具1.上板人员应按照指示上板,确保每条飞巴工作板数相同(尾数除外),并均匀地挂满整条飞巴,但不能挂在警界线外。2.夹板时必须采用夹板台面作业,如无法使用及时通知工艺与品质,操作员工必须戴橡胶手套,按工艺要求夹长边或短边,必须夹正、夹直、夹紧,且橡胶手套每天更换一次;同时每夹一挂板,要将手套在水中清洗一次。3.生产过程中应及时将损坏的夹具挑出进行维修,若夹具消铜不彻底,有残留铜及时向工艺人员或领班反映,以便相应处理。管控点:1.注意产品皱褶2.上夹具产品应轻拿轻放3.上完夹具需将两边螺丝夹紧4.夹板时板不能超出夹具上下顶端夹点,左右夹边夹点位置,应离边沿5至8mm。进缸镀铜操作控制1生产前应认真核对生产板与流程卡的工艺、工作板型号及数量等,确保一致。2开机生产前应认真检查液位、过滤、温度等周边设备工作是否正常。如不正常则必须先调整至正常方可生产。3电脑操作员根据工艺指示选择相应的程式,并正确计算输入各项参数。4.生产过程中各药水缸内有板时不能添加药品,且必须在接受化验单两小时内添加;加料前应认真核对所加药水的名称数量,并在品质或工艺的监控下添加。加料时要开打气或过滤,直至药水溶解、混和均匀。镀铜缸加药后必须拖缸30min。5.生产过程中要认真做好《FPC镀铜检查记录表》、《沉镀铜条件记录表》等多项工作记录。6.生产现场待生产板、已生产板等必须摆放整齐、标识清楚。管控点:1.生产前确认打气是否正常2.药水的浓度是否符合标准3.各缸的液位是否有在规定范围内出缸下板下板时注意台面清洁,下板人员对产品应轻拿轻放避免皱褶。下板时先打松夹具上的螺丝,在DI水中清洗手套,然后轻轻地把板拿下放于稀硫酸水盒中.管控点:整板电镀后的板子必须在30min以内烘干,保证板面孔内干燥无水珠。已镀板在检板房正常停放时间不能超过4个小时。烘干镀铜后产品及时将镀铜后产品进行烘干处理再进行专检。烘干后要保证板面孔内干燥无水珠。确保再镀铜后30分钟内将产品烘干。管控点:1.哄板人员应佩戴好橡胶手套再哄板2.接板人员应佩戴好白色汗布手套再接板3.专检人员检板发现异常时,及时反馈班组长处理镀铜生产所需药水及用量规范1.存板槽(200L):作用:防止氧化保持铜面亮洁.组分:0.3~0.6%的H2SO4.2.酸洗(890L)作用:除去Cu面氧化,减少对铜缸的污染,维持铜缸酸度。溶液组分:H2SO45%(4%~6%)3.镀铜(3500L*4)作用:加厚孔内及板面铜层厚度。溶液组分CuSO4•5H2O65g/L(60~75g/L)H2SO4(AR)110ml/L(100~120ml/L)Cl—60PPM(40~80PPM)Cu光泽剂CB-3203ml(3-5ml/L)管控点及注意事项:1.操作条件:温度必须达到23℃(20~25℃)镀铜生产所需药水及用量规范2.工艺配备摇摆、打气、过滤、冷却、振动(生产柔性板过程中关闭振动)3.生产时按化验员分析给予补加药水4..V座、飞巴每班用海棉或干净的碎布擦拭干净一次。5.液位:各液缸液位偏低则按各自方法补加与调整,偏高则视具体情况决定是否排出。6.温度:各缸液实测温度与设定值允许偏差±2℃。7.过滤:过滤泵不允许有漏液、漏气、空转、停转等问题。8.打气:打气应适量、均匀9.摇摆:摇摆是否正常摆动,频率、摆幅是否符合要求。10.自动添加:每班检查加料是否运转,液位是否足够;生产每周校正Cu光剂自动添加一次是否准确,加料是否正常,工艺或品质负责监督,并作好记录。以上各项除Cu缸自动添加每周检查校正一次外,其余各项每班检查二次,发现问题及时请设备部修理。沉镀铜不良項目说明3板面药水残留板面有白色残留物。不允许目视1.1.水洗槽水质药液含量过高2.喷淋槽喷头堵塞及硝好的挂架硝酸未洗净3.海绵滚轮脏污3天更换一次水洗槽;抗氧化药水3天化验一次。每天上午生产前点检喷淋槽喷头是否堵塞,硝好的挂架需清洗干净,海绵滚轮每班清洗。4板面皱折板面不平整不允许目视作业员未按SOP要求取放板1.作业员在上下板时,需轻拿轻放;在生产44um的基材,打气关小1/3.。5卡板板面不平整报废不允许目视1.滚轮不转及跳动2.滚轮速度过快作业员在烘板时,滚轮速度2.5min±0.5同步安排人员巡线。。沉镀铜不良項目说明不良项目不良描述判定標準工具圖片原因改善措施1铜厚不均板面4个角的厚度相差10um以上要求面铜在工单范围之内千分尺1.铜厚不均主要是电流问题:1.飞巴脏污2.挂架残铜3.挂架螺丝打紧1.每天上午生产前镀铜挂架必须硝铜、飞巴擦拭、生产中,挂架螺丝打紧。2手指印手套印板面有明显手指、手套印不允许目视手指印1.镀铜前未按要求带乳胶手套及手套脏污未及时更换1.夹板手套使用12/小时更换;在生产中,每次夹板之前及夹板完成后,要在DI水桶里清洗手套.(在拿板前,一定要保证手套是湿的!!!)品质管控沉铜后:1外观检查:沉铜出来的板应做好自检自控,板面颜色应为均匀粉红色,孔内无铜以及孔粗等问题及时报主管或工艺人员处理。2致密性检查:每蓝板由品质部在显微镜检查孔铜3-5PNL,要求无空洞。3粗化速率控制:每天由化验室测粗化速率一次,控制粗化深度为0.3~0.8μm。4沉铜速率控制:每天由化验室测沉铜速率一次,控制沉铜厚度为0.4~0.8μm镀铜后:1.电镀加厚出来的板应做好自检自控,板面应平整、光亮、无烧焦、铜粒、无手印、无褶皱、无孔内无铜等问题,如有则应及时报告领班以上人员处理,并做好相应记录。2.生产过程中发现有烧板现象报告生产主管或工艺人员进行处理。3.整板电镀后的板子必须在30min以内烘干,保证板面孔内干燥无水珠。已镀板在检板房正常停放时间不能超过4个小时。4.如遇设备故障或其他特殊情况,PTH后的板子不能在2小时内生产,需由品质部重新检查孔铜,孔铜OK则进行生产,孔铜不合格则需开评审单重新返沉铜。(特殊情况)生产安全事项说明1.添加H2SO4、HNO3、H2O2等强酸、强氧化剂时应戴好防护面具、耐酸碱手套,穿好水鞋,严格按规定操作;2.检测液温、巡检等要注意天车走向,同时要小心,不要被药水灼伤皮肤;3.无论天车运行与否,严禁任何人员在缸上走动4.设备出现故障,应第一时间通知设备管理部来修理,严禁擅自维修。5.如在添加药水时不慎,将药水溅到皮肤应立即用清水清洗。6.各种化学药品对人体都有不同程度的危害,故添加要十分小心,如不慎伤及眼睛,要用适量的水洗冲洗害处至少15分钟,严重者送医生处救治。講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