静电培训资料第一部分何谓静电?闪电=静电闪电:一种“排电”的现象排电?+科学的解析:负离子饱和状态==〉排电(吃太饱==〉…….?)最高点+++++排电?最高点如果没有山峰++++++排电?结果….您就休息吧…静电是如何产生?触碰金属时●静电一直都存在我们身边。步行(接触-分离动作)时都会产生静电。脱衣时3950V4600V3750V4300V2400V3750V2400V3500V2100V《帯電電圧》磨擦/碰触-分离当物体接触-分离时,电荷移动而产生电荷不平衡的带电现象=〉静电静电是如何产生?●静电产生原理-+++---+++---+++---+++---+++---+++--①接触前(无带电)②接触(无带电)③分離(有帯電)负帯電正帯電正常状态电荷取得平衡电荷移动两个物体接触,形成两层平衡電気电荷分离电荷平衡状态瓦解帯电发生静电跟我们有什么关系?静电动过人的身体部分传(排电)到产品上++++++静电的影响LD劣化!+++++++++帯電的状态下碰触OP的话、电气流向OP而导致LD劣化。●静电对制品有何影响?LD等半导体对静电的耐力非常弱!静电耐圧60V!可直接接地线时①使用静电带②导电地板③导电鞋环境改善⇒调整湿度(大概50~65%)。静电对策避免发生排电–接触法除电–化解法(非接触)●如何对策?无法接接地线时①离子吹风机腕带导电性地毯导电鞋正,负离子风-+-+-+-+接触性排电原理–水往低处流腕带导电性地毯导电鞋高电压区--〉低电压区大地=零电压---高电压设备对策–地线三脚插电批烙铁没地线对策离子吹风机原理–异性相吸中性风++-+-+--++-----++-+中和同性排斥●在我们身边很多产品在电源ONOFF时,都会产生浪涌电流,例如:电烙铁日光灯电视机电气产品在电源开关ONOFF时会对周围的设备产生影响。例如电视机在开和关时,家里的日光灯就会有明暗的变化!所以电源开关在动作时,就会产生浪涌电流。浪涌是如何产生?①作业时,不准开关任何设备!!对策停电怎么办!!由此导致LD产生劣化和半劣化。●没有预料到的停电时在正常电源开关时,设备的充放电回路可以抑制电流的快速放电,从而时电路回路的元器件得以保护。停电时正常设备电源开关时在突然停电时,所有设备同时停止工作,所产生的充放电电流大,同时设备的充放电回路也不能良好工作,因此会产生较大的浪涌电流。約55mA約100mA約55mA100ms前後停电时的浪涌电流所产生的影响●停电时对OP产品的影响及对应原则突然停电事前预测到的停电・在停电前,把生产线每个工位的产品全部做完完整的作业后,清理生产线后,进行电源切断。・LD正在通电工作中的产品,请把产品的LD报废,更换新的LD。*所有LD通电的工位,例如:A/L,3D,C/C等。LD劣化存在半劣化的情况,通常的评价机测量不出,所以绝对禁止上述情况下的产品经过C/C评价OK后出荷!!上述事项针对全机型浪涌电流所产生的影响留在物体表面电气的强度。直流电,电压非常高。发生在絶縁体、导电物。※用静电meter測量。非接触性測量。参考资料1--静电vs电荷静电留在物体表面电气的量。陽子(+)和電子(-)平衡瓦解的状态。絶縁物不能測量。※用Analogmeter測量。接触状态測量。电荷+++++-----+++++表面电位的測量留在内部导体部份电荷的測量参考资料2--静电vs带电物●物质的静电带电状况。两端的物体最容易产生静电空气Acrylic硝子云母尼龙铅绢铝纸棉钢硬币铜银硫磺PolyesterTelfon正带电负带电第二部分LD劣化対策的重点LD劣化(電気的破壊)対策的重点静電気破壊予防対策=作業環境整備对LD的管理要彻底過電流・過電圧破壊大的事故来自设备発生工程的发现⇒対策事故事例対策的横展開什么是静電気破壊?静電気帯電放電現象静電気発生↓帯電端子和導体接触↓蓄積電荷移動表面電位電荷量〈=帯電的測定=〉不制造电荷发生无实害引走电荷〈=対策=〉静電気破壊帯電Device放電①Device自身带静電気、从端子向金属(導体)放電PACKAGE表面的静電気電荷静電気放電++++++---金属放電電荷流入-++++由于PACKAGE表面摩擦,剥離引起帯電由于帯電電荷发生CHIP誘導分極从和金属接触的端子处放出电荷静電気破壊帯電Device放電②由于附近带电物体的影响、从Device端子向金属(導体)放電静電気帯電物体静電気放電---金属放電電荷流入-++++由于带电物体的接近而带电(誘導帯電)由于誘導帯電发生チップ誘導分極从和金属接触的端子放出电荷++++++静電気破壊金属工具放電帯電的金属工具向Device端子放電-帯電人体(作業者)拿金属工具时,金属内引起电荷的移动,電位上昇。(由于静電誘導而帯電)静電気破壊帯電的人体(作業者)向Device端子放電-人体本身是导体,由于鞋和床的原因使人体和大地绝缘,带静电。-步行时和床、鞋的摩擦,椅子的摩擦(站起来时)、衣服的摩擦等而发生静电。人体放電•产生速度快•PICK電流的維持時間短•人体分布容量(数pF)順次放電人体的放電通过金属工具的人体的放电手持设备的放电小型金属類放電DEVICE的放電•产生速度快]•PICK電流大維持時間短•人体分布容量(数pF)順次放電•皮膚抵抗影響小•产生速度快•PICK電流大維持時間短•数ns放電完了放電方法波形特徴放電方法不同的特徴①接地②电阻的控制-导电膜-腕带等③用吹风机中和电荷-吹风机静電気的除去30~50~100~200~300帯電電位(V)帯電電荷量(nC)~2000静電気管理水平30501002003000.40.61.22.65.0123静電気管理水平一覧静電気耐性水平〔MMRANK〕(V)符合静電気耐圧水平的静電気対策⇒巻末『静電対策指引』参照過電流・過電圧破壊対策測定〉流入LD电流的监控器・LD電源ON/OFF時浪涌的有无・LD電源ON状态时,其他設備的噪音事故事例〉・皮线取付時电容器的冲撞→設備改善・从隣接线来的電源噪音飞入→隔离噪音网・皮线的接触不良→压皮线、挿入後确认是否平行。(斜挿等)•拿取DEVICE时蓄積在人体的静電気被放出时的耐性評価•Cd:100pFRd:1500Ω•产生速度慢(2~20ns)人体MODEL(HBM)放電方法波形特徴机器MODEL(MM)DEVICE帯電MODEL(CDM)•作为可以DEVICE的相対耐性評価方法使用。•Cd:200pFRd:0Ω•根据负荷的大小影响波形的变化•根据DEVICE誘導電位引起発生的ESD的耐性評価•产生速度快•PICK電流大維持時間短耐圧試験各試験方法の特徴厂商提出的数据LD的過電流・浪涌電流確認方法LDOP排插排插MB基板電流探头示波器10mA/1divSETGND将OP内的线路中途切断、从OP引出线方法:准备電流探头确认给LD的過電流・浪涌電流配線・設定:12VGND接触PINSET電源帯電物的放電波形観測方法帯電物配線方法端子被覆電線向電流探头観測方法・水平、垂直的范围及Trigger位置应可观测放電波形最初的1pulse的全容範囲。考虑到TriggerLevel受Noise的影響,通常不TriggerLevel設定、观测Trigger是否进行。※水平的范围根据需要调节.关于LD劣化対応应该考慮的事项1.事前尽可能的防止発生Point部分.2.对于发生的可能性进行认识.3.調査不仅只到「原因的特定」、到「要因的特定」程度的精度的情况也很多、对于要因的対策有効果的情况一般开始都是「原因的特定」場合很多。4.一次对应的效果不充分、要提高调查的水平再次调查.(「発生率的层别」或「更低可能性的考虑」等)根据状况,也要检讨其他调查方法并用是否可行.5.一般,到調査完了(問題解決)需要長期間的情况很多.作業環境対策内容(確認項目)管理区域指定静電気的対策管理区域指導POINT・进入管理区域时在容易看到的地方、写上管理区域的表示.作業台拿取BU的全工程、确认作業台全面是否都放有導電垫・金属製作業台也要贴导电垫導電垫可满足特性(电阻)・电阻106Ω~109Ω導電垫有无接地线①導電垫和地线的连接按导电垫指定的方法②腕带点和线的接続容易脱落・底面是絶縁層的垫子、在垫子下面铺形式電極不可、要使用夹垫子的専用金具.・底面是導電層的垫子、在垫子下面铺形式電極不可、为了不让垫子浮起将電極和垫子要用螺丝固定在桌子上.・焊锡、専用排插固定導電垫的表面有无赃污・表面若赃污的话,因为抵抗値高、要经常保持表面清洁導電垫的管理有无在进行・定期确认垫子的破損、地线的接続、表面的脏污。希望可測定电阻值。作業環境←静電気導電層←黒色碳素含有導電層←絶縁層←静電気導電層←黒色カーボン含有導電層導電垫種類地线吹风机帯電防止服腕带導電靴導電垫導電垫作業環境対策内容(確認項目)作業台上作業台上、不要放絶縁物,誘電体指導POINT・作業台上、不要放置透明电镀盒或書類、非静電対策的包装剂(树脂袋、発砲树脂)等※帯電絶縁物或誘電体放在DIVICE,実装基板的附近会引起誘導帯電、接触導体時恐怕会造成破壊定期确认离子平衡・因为离子吹风机会慢慢性能劣坏、使用时要确认离子量是否平衡、并进行保养。(根据厂商推荐)※尽管尽力排除工程中的絶縁物、但不可能完全除去、有必要中和絶縁物引起的帯電。但是、若不正确使用会有逆効果。离子吹风器排插・端子実装基板的排插、導電性的东西或基板短路等的短路OP的保管是将短路焊点短絡.・即使有盖防尘膜也要使用導電膜保管容器保管・運搬时、使用導電性的袋子、容器、RACK仕掛取出部品(半導体DEVICE)は、放回原来的収納盒.保管環境作業者対策内容(確認項目)指導POINT静电腕带所有与Device(OP,Mecha)相关的作业员都要带静电腕带。静电腕带的導電部分一定要与肌肤接触。静电腕带一定要满足其特性(电阻)。・电阻:106Ω~108Ω・为了防止触电、在静电腕带的反面要有大概1MΩ的保护电阻。静电腕带一定要接地线。・设置専用的地线连接处、要不容易掉落。・不可把静电腕带圈在设备的螺丝等物体上。・作業时如掉落要马上重新带好。要对静电腕带进行正确的管理。・每日至少实施1次導通确认。導電靴与導電地板(導電MAT)組合之后才可使用。・鞋子的电阻如在108以下的话、和地板一起使用可以使人体的帯電電位降到最低。・要不停走动的作業者可以通过对鞋子和地板的电阻率进行管理来对策。鞋子的背面要保持清洁。・背面如果很脏会增加与地板摩擦的电阻值、効率就会降低、所以要经常保持清洁。作業開始前要实施導通确认。・每日要确认1次以上用FOOTCHECKER得到的电阻值。衣服衣服和头髪不可直接接触DEVICE和実装基板。・袖子部分如是很容易帯電的布料时、要使用防静电ARMCOVER、带静电腕带的作业者要将其带在手腕上。指套手套橡胶指套、木綿手套要是防静电的。・操作DEVICE・実装基板的作業者不能素手作業时、希望能使用防静电手套、導電性指套。・要注意指套因磨损有可能帯電、可以考虑是与金属製工具接触造成(誘電帯電)。設備・治具対策内容(確認項目)指導POINT设备製造設備、工具類、測定和試験的機械類全部都要接地线。不能够接地线的絶縁性部品等要使用离子吹风机或除電刷等进行防静电处理。・特别是会接触或接近DEVICE部分、要对其进行对策。要对可能会接触DEVICE端子的金属部品实施对策。・導電性材料的貼付作业・在接触前对DEVICE进行除电作业。・自動组装线等因在移动DEVICE时有可能互相摩擦而产生静电、所以要对其进行对策:因摩擦而产生的静电/除静电/防止放電。烙铁烙铁头要接地线。・要用12V~24V的低電圧烙铁,还要对烙铁头接地线。※显像管的表面電位如在数千伏以上的高電圧时、会有因誘導帯電而遭到破壊的危险。※为了防止因静電気的蓄積和漏電引起的破坏。烙铁的地线显示器的対策(例)導電性MASK在电源插座侧没有地线时運搬方法対策内容(確認項目)指導POINT集装箱要使用不带电的集装箱或中转箱。※在搬运时有可能因振動等会产生摩擦静电。因此直接接触製品的集装