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问题点1次原因2次原因3次原因改善Point偏光板Centering部移送Roller吸入Braket环境(上部,下部)移栽机Panel位置决定Panel上板翻转部INDEX部偏光板剥离部排气部HepaFilter上下板附着部设备数量接触面清扫状态流速流量和Panel的间隔Particle清扫状态Pad部异物和Panel接触面AirGun位置流量流速反送Table清扫状态AirGun位置流量流速下部异物聚层AirHose漏斜Cutting部异物去除剥离后露出时间容量位置流量流速寿命位置Roller数调整接触点减少周期清扫流速增大流量增大最佳条件实现流入途径追击周期清扫周期清扫接触方式变更Panel挨近方式变更流速增大流量增大周期确认及清扫Panel挨近方式变更流速增大流量增大下部清扫周期设定磨损周期了解后事先交换入库检查强化异物流入抑制容量点检按气流的流动位置移动性能点检性能点检交换周期设定效果验证线头不良原因分析LogicTree附录线头问题点1次原因2次原因3次原因改善Point偏光板资材不良C/R和一般Zone的泄露因排气压下部异物流入排气DuctLine的位子选定AirKnifeSetting条件AirKnife不的腐蚀1,2次Filter技能低1,2次Hose的污染POLCuttingBurrPOL表面Burr黏着剂成分砷酸包装材材质,交换周期磨损差异发生断面磨损发生Wiper磨损经常M/C实施没带外手套M/C后清扫方法清扫部位问题发生根本原因改善措施时间长期化设备开放时PM状态作业工具类异物聚层PM品质意识未具备交换次数作业环境污染M/CDOWN,Error措施资材交换清净度空管空间上部排气方式侧面排气方式管理Point化未设定按周期点检不足交换周期未设定交换周期未设定Maker制造不良Maker制造不良黏着剂选定管理不足材质变更,周期设定防尘服部分磨损磨损防尘服交换Wiper材质变更设备对应力不足手表面附着异物去除基准设定不足基准设定不足基准设定不足问题发生原因改善设备开放AirShower后设备措施工具类附着异物去除品质改善意识自觉设备投入量少量POL工程清净度上升漏泄部Sealing排气位置变更排气位置变更最佳Setting条件设定设备状态管理交换周期设定交换周期设定入库检查强化入库检查强化黏着材质改善管理规定设定材质改善,交换实施带保护口防尘服月间管理超细纤维Wiper适用设备对应力上升M/C前洗手义务化管理规定设定管理规定设定管理规定设定设备别,项目别改善发生防止及早日对应AirShower义务化实施周期清扫异物LossOP,PM教育设备对应力增大塑料Curtain适用材料方法线头不良原因分析LogicTree附录AirKnife部污染线头环境防尘服,内手套WIPER品质意识问题点1次原因2次原因3次原因改善Point没有去除Chip刀刃断面状态不良刀刃磨损刀刃角度Setting刀刃回转数刀刃的使用次数去除时间去除力的差异刀刃结团偏移异物的大小受台部平衡度死角地带封口异物的黏性空旋转时去出异物不足洗净Mechanism的不合理BrushRoller的再流入SpongeRoller的再流入移送Roller通过时固定用翻转机再附着用受台吸着在附着洗净力低Panel表面附着Brush死角地带Brush磨损程度Brush去出力接触点的多大Roller数的过大去除Chip之后残留干燥部移送RollerMaker制造不良材质选择的适当性因加工空差的偏移去出速度的适当性磨损速度的不明确不合理的Tact减少旋转MomentShaft,Gear偏移Scribing工程上问题初期SettingMiss旋转MomentProgramTeaching去除力比黏性大Air喷射速度及方向S/R,B/R的位置选定Roller使用周期Roller使用周期Panel方向的力作用Panel方向的力作用垂直方向的力作用自然水,纯水水量自然水,纯水水压自然水,纯水喷射构造表面涨力作用直径选择的合理性材质选择的合理性旋转速度低Panel的稳定性Panel的稳定性设备入库检查强化刀刃材质改善JIG状态管理最佳速度适用制定交换基准LineBalance去除力的均匀设备状态管理P1,P2工程改善设备状态管理Floating构造变更Teaching值调整UV工程改善喷射构造改善Mechanism对应交换周期设定交换周期设定上部移送Roller去除Chip去除后Air喷射受台形象变更水量增大水压增大喷射构造改善界面润滑剂改善周密度增大材质变更速度增大接触点缩小Roller数调整玻璃粉,封口不良原因分析LogicTree玻璃粉封口异物BrushRoller效果不足移动中发生CST内部异物因振动异物上板Pad部Chip残存P2PanelChip多量Scribing状态不良Grinding状态不良封口异物流入P1Chip去除效果不足刀刃旋转空差过大去除Head轴的偏心工程轴的偏移Bearing破损按人有调整差异去除Head垂直度变化受台平衡度变化Panel外围不能去除Head高度调整难刀刃结团构造不合理CST未洗净使用Panel和CST之间冲突不能去除ChipP2Chip去除無Scribing工程Grinding工程封口工程刀刃Setting空转/自转Gear构成初期Setting旋转Center掉因冲击变形Collar空差没有Point旋转Center脱露初期Setting旋转Moment材料Panel不良方法按OP有Setting差异人CST内部清扫Panel缓冲构造适用Chip去除Flow变更P2工程改善P1,P2工程改善P1,P2工程改善P1,P2工程改善P1工程改善动力传达构造变更Setting调整低垂补充新制造,交换T加工空差管理管理PointJIG状态管理设备状态管理Floating构造变更玻璃粉,封口不良原因分析LogicTree玻璃粉封口异物问题点1次原因2次原因3次原因改善Point问题点1次原因2次原因3次原因改善Point洗净工程为什么发生异物？没有去除完Chip刀刃状态不良刀刃刀刃角度Setting刀刃旋转数刀刃的使用次数去除时间去除力的差异刀刃结团偏移异物的大小受台部平衡度死角地带封口异物的黏性空旋转时异物去除不足洗净Mechanism的不合理BrushRoller的再流入SpongeRoller的再流入移送Roller通过时固定因翻转机再固定Brush死角地带Brush磨损程度Brush去除力C/R和一般Zone的漏泄因排气压下部异物流入배기DuctLine的位置选定AirKnifeSetting条件AirKnife部的腐蚀1,2次Filter功能低1,2次Hose的污染接触点的过大Roller数的过大Chip去除后残流BrushRoller效果不足AirKnife部污染干燥部移送RollerMaker制造不良材质选择的适当性因加工空差的偏移去除速度的适当性磨损速度的不明确不合理的Tact减少旋转MomentShaft,Gear偏移Scribing工程上问题初期SettingMiss旋转Moment去除力比黏性大Air喷射速度及方向S/R,B/R的位置选定Roller构造问题Roller构造问题Panel方向的力作用Panel方向的力作用直径选择的适当性材质选择的适当性旋转速度低不管틈새及空间上部排气方式侧面排气方式管理Point化未设定周期点检不足交换周期未设定交换周期未设定Panel的稳定性Panel的稳定性设备入库检查强化刀刃材质改善JIG状态管理最佳速度适用制定交换基准LineBalance去除力的均匀设备状态管理P1,P2工程改善设备状态管理Floating构造变更UV工程改善喷射构造改善Mechanism对应构造变更构造变更上部移送Roller去除Chip去除后Air喷射周密度增大材质变更速度增大漏泄部Sealing排气位置变更排气位置变更最佳Setting条件设定设备状态管理设定交换周期设定交换周期接触点缩小Roller数调整异物不良原因分析LogicTree(洗净工程)问题点1次原因2次原因3次原因改善Point洗净工程为什么发生异物？移动中异物发生CST内部异物因震动异物上板Pad部Chip残存P2PanelChip多Grinding状态不良封口异物流入P1Chip去除效果不足刀刃的旋转空差大Gear间隔去除Head轴的偏心按人的调整差异去除Head垂直度变化受台的平衡度变化Panel外围去除不可Head高度调整难刀刃结团构造不合理CST不洗净Panel和CST之间的冲突Chip不可去除P2Chip去除無Grinding工程封口工程刀刃Setting공전/자전부Gear构成初期Setting旋转Center脱露没有另外调整Point旋转Center脱露初期Setting旋转Moment材料Panel本身不良方法按OP有Setting差异人CST内部清扫Panel缓冲构造适用Chip去除Flow变更P2工程改善P1,P2工程改善P11,P2工程改善P1工程改善动力传达构造变更Setting调整低垂补充管理PointJIG状态管理设备状态管理Floating构造变更异物不良原因分析LogicTree(洗净工程)问题点1次原因2次原因3次原因改善PointPOL工程异物为什么发生？偏光板Centering部移送Roller吸着Braket环境(上部,下部)移栽机Panel位置决定Panel上板泛转部翻转部INDEX部偏光板排气部HepaFilter上下板附着部设备数接触面清扫状态流速流量和Panel的间隔Particle清扫状态Pad部异物和Panel接触面AirGun位置流量流速反送Table清扫状态AirGun位置流量流速下部环境Particle旋转(速度)Cutting部异物去除剥离后露出时间容量位置流量流速寿命位置Roller数调整接触面缩小周期清扫流速增大流量增大最佳条件实现流入途径追击周期清扫周期清扫接触方式变更Panel挨近方式变更流量增大流速增大周期确认及清扫Panel挨近方式变更流量增大流量增大流入途径追击维持适当速度抑制涡流发生入库检查强化抑制异物流入容量点检按气流的流动位子移动性能点检性能点检交换周期设定效果验证异物不良原因分析LogicTree(POL工程)问题点1次原因2次原因3次原因改善PointPOL工程异物为什么发生？偏光板不良POLCuttingBurrPOL表面Burr黏着剂成分不均包装材残存Chip残存封口异物挤层M/C后清扫方法空旋转时间清扫部位措施时间长期化交换次数磨损发生移动Panel不良M/C瞬间Error资材交换防尘服清扫(Particle)Maker制造不良Maker制造不良黏着剂选定管理不足洗净工程问题洗净工程问题AirGun效果基准设定不足基准设定不足基准设定不足设备开放设备开放交换周期不足入库检查强化入库检查强化黏着材质改善管理规定设定Mechanism对应Mechanism对应AirGun位置调整M/C补加项目管理规定设定管理规定设定发生防止及早日对应资材容量增大交换周期设定C/R彻底管理限制不必要的行动材料方法环境异物不良原因分析LogicTree(POL工程)问题点1次原因2次原因3次原因改善Point接触部Panel取出洗净Centering受台表面Roller表面AirKnife干涉吸着BKT干涉平面度X,Y平衡度Floating不良空转平衡度Gear旋转空差Shaft进展度刀刃倾斜刀刃去除角度P1,P2流出CST移动Rounding,突出刀刃断面状态交换周期平衡度Floating状态RPM增大压入量下降速度左右偏差IPA,纯水混入比是否喷射IPA是否洗涤液受台去除HeadPanel异物残存及Burr异物残存及Burr异物残存及Burr异物残存及BurrSetting条件Setting条件加工SPECOver取部SPECOver倾斜方向반발력累计空差Gear加工误差外部冲击圆心差异垂直力差异Panel工程不良振动冲击手动操作后适用Make