MEMS压力传感器的温度补偿

MEMS压力传感器的温度补偿作者：关荣锋，王晓雪，GUANRong-feng，WANGXiao-xue作者单位：关荣锋,GUANRong-feng(河南理工大学材料科学与工程学院,河南,焦作,454003)，王晓雪,WANGXiao-xue(河南理工大学理化系,河南,焦作,454003)刊名：河南师范大学学报（自然科学版）英文刊名：JOURNALOFHENANNORMALUNIVERSITY(NATURALSCIENCE)年，卷(期)：2009,37(1)被引用次数：7次参考文献(5条)1.SongX;LiuSAperformancepredictionmodelforapizoresistivetransducerpressuresensor20032.QuanWang;JianningDing;WenxiangWangFabricationandtemperaturecoefficientcompensationtechnologyoflowcosthightemperaturepressuresensor20053.何平,潘国峰,孙以材,赵红东,张银慧压力传感器温度漂移补偿的RBF网络模型[期刊论文]-仪器仪表学报2008(3)4.文丰,牛芳,张文栋,郭涛MEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计[期刊论文]-弹箭与制导学报2006(2)5.KandaYPiezoresistanceeffectofsilicon1991(01)本文读者也读过(10条)1.黄晶忠压力传感器的温度补偿[期刊论文]-科学咨询2008(21)2.文丰.牛芳.张文栋.郭涛.WENFeng.NIUFang.ZHANGWen-dong.GUOTaoMEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计[期刊论文]-弹箭与制导学报2006,26(2)3.王秋蓉矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术[期刊论文]-煤矿安全2008,39(3)4.基于MAX1452的MEMS压力传感器校准系统的设计[期刊论文]-仪表技术与传感器2009(10)5.罗秦川.张生才.姚素英.张为.曲宏伟多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术[期刊论文]-传感器技术2003,22(5)6.王世清.姜彤.侯占民.WANGShi-qing.JIANGTong.HOUZhan-min单晶硅压力传感器温度漂移的补偿方法[期刊论文]-传感器与微系统2006,25(7)7.赵毅强.姚素英.张生才.赵红.曲宏伟油田测井用压力传感器的研制[期刊论文]-传感技术学报2004,17(2)8.张宏涛.宰光军.ZHANGHong-tao.ZAIGuang-jun关于压力传感器零点热漂移的补偿分析[期刊论文]-科技信息2008(26)9.陈萍.陈黎黎.CHENPing.CHENNi-ni一种压力传感器温度补偿新方法[期刊论文]-计算技术与自动化2009,28(4)10.尤彩红.王冰.王文襄.张文栋一种微型绝对压力传感器的设计与开发[会议论文]-2008引证文献(7条)1.李如发,卢文科基于MLP传感器的非线性校正[期刊论文]-湖北大学学报（自然科学版）2014(02)2.沈晓春,刘利,周飞一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法[期刊论文]-科技风2013(12)3.王俊杰,秦会斌压力传感器高精度温度补偿的软件实现[期刊论文]-现代电子技术2014(22)4.黄军辉,杨旭志,陈述官,廖中文MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望[期刊论文]-农业装备与车辆工程2010(09)5.石军辉,李永红,王恩怀飞行器气动参数测试系统设计[期刊论文]-传感器与微系统2015(02)6.黄军辉,陈述官,廖中文,王海林MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[期刊论文]-拖拉机与农用运输车2011(02)7.翁榕一种大量程压阻式压力传感器的设计[学位论文]硕士2013引用本文格式：关荣锋.王晓雪.GUANRong-feng.WANGXiao-xueMEMS压力传感器的温度补偿[期刊论文]-河南师范大学学报（自然科学版）2009(1)