mems-su8-LIGA-UV-LIGA工艺技术

微机械加工技术秦明硅微机械加工技术SU-8负胶在MEMS中的应用微机械加工技术秦明SU-8的特点•低成本负胶可用于MEMS•相对简单的制作工艺•厚度变化范围大–7500A-450um•电镀金属等可以形成各种结构•坚膜后的胶可以作为阻挡层用于90°C的KOH、FeCl3溶液中的腐蚀•可以作为DRIE的阻挡膜•ShellChemical销售•粘度可控制-EPON®ResinSU-8加入丁内脂（GBL,gamma-butyrolacton）微机械加工技术秦明SU-8胶应用工艺•旋转涂胶，1000RPM•前烘。对100um厚的胶，95ºC热板烘15分钟•暴光。对波长365nm,剂量300~400mJ/cm2•后烘。95°C,15min•显影。在PGMEA中15min•用异丙醇漂洗•用等离子去胶，或热NMP(1methyl2pyrodidon)•坚膜。200°C,30min微机械加工技术秦明SU-8涂胶厚度与转速的关系GBL（gamma-butyrolacton）---丁内脂微机械加工技术秦明机械特性•磨擦系数=0.19,@10RPMwithaloadof10g•弹性模量=4.02Gpa•高纵横比14.5微机械加工技术秦明举例（1）SU-8胶齿轮，厚450um200um厚测试结构微机械加工技术秦明举例（2）之字形深槽结构齿轮模