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2010176ChemicalProductionandTechnology（）（，300131）、、，、、，、，。、、、、。；；；TQ124.3CDOI10.3969/j.issn.1006-6829.2010.06.001：2010-10-13!!!!!!!!!!!!!!，，，，、、。，、、。（）、（SF6）、（WF6）。，SF6，、、（CF4）、（NF3）。，（CVD）（PVD），。、、。4，。（HF）、（KHF2）、（KF）、（NH4HF2）。。1（F2）100，，，60。，；，。，（），。，。1.1，，144K、5.5MPa-。，、、，、。，，、、，。，，，（），（＜78℃），。，OF3，，（SiF4）。。，，，、；，，，，·1·。、、，ClF3、ClF5、BrF3、BrF5、IF5IF7，ClF3，IF5。，S2F2、S2F10、SF4，300℃SF6。HF、OF2O2，（5%），OF2，，，。，，（、、），，，，“”，“”。，（、）“”。：、，，，，。，，、，，。1.2，。，CVD，，、、。、，。，，，，，，，、，。（UF6）、SF6、、、，。：，NF3、（PF3）、（BF3）、CF4SiF4，。：、、、，。90℃1%5-。α，。、（UF6）、、。，，。1.3HF（AHF）。AHF，，KHF2HF（n(KF):n(HF)=1:3），100℃。。1)。HF，，、，。：KF·3HF→F2+H2+KHF2。2)。，，。2。①K2MnF6（5%KF）SbF5：KMnO4+2KF+3H2O→K2MnF6+8H2O+3O2，SbCl5+5HF→SbF5+5HCl；②。PTFE，130℃1h：2K2MnF6+2SbF5→4KSbF6+2MnF3+F2。1.4，HF（HF2）。，。、，，。HF，，HF。，，（）·2·2010176ChemicalProductionandTechnology。，、，30℃，、。、。2SF62.1SF6、、，、、，-51℃，1.67（-100℃），146.06，（=1）5.11。SF6，。500℃。，、，。，500℃。SF6，。2.5、2.5，100。，SF62。SF6，，，，。2.2SF6、，3，、、、、、X、、。SF6，，。SF6，。SF6，SF6，，SF6。2.31900，MoissonLebeauSF6，SF62。2.3.1SF6，120～180℃。，，，。SF6。SF6，SF4，O2HF，、、，。，。2.3.2SF6，SF6，。，。AHF（）、、SF6。HF，SF4。、，SF6，，SF6。，SF4，F2。AHF、AHF、。，，，，，。2.3.3SF6。、，400℃、0.1MPa，2～8h。，SF6。2.3.4，SF6，，。1)。SF650％，NaOH、KOH、NaClOCa(OH)2。，。2)。SF6·3·，。，，。，；，SF6。3)。SF6。2.3.5，SF6，，。，，SF6。，，，，。：，。SF6、、HF，、，。，。2.470，SF63.5kt/a。，SF6，2004，。：SF6；SF6，，SF6，SF6。SF6，，。SF610，、、、5200～250t。，SF6，300t/a。2005、20082kt2.8kt。SF6《》6，、、，。2005SF613kt。，5、、、（）7%、7%、5%、15%，8%，2010SF620kt。1SF6，3.6kt/a，1/30；2；3，1.4kt/a，1.5kt/a；4，1.2kt/a；5（），1.1kt/a。2005SF64kt/a，20078.2kt/a，1。2005SF62.5kt，20%，2006，SF6。12007SF6Tab1SinoSF6productivecapacityofsomewanufacturersin2007SF6，，SF6，SF6。2008—20105kt。，SF6，，SF6。1SF6，8700，1.2kt/a，1.5，1.8kt/a；1.5，，1.5kt/aSF6，600t/a20075。SF6（99.99%），，。49，59。SF6，SF6NF3/(ta-1) 300014001000 1000 1600 1200 5041500! 1200#$%& 1200’()*+ 1100,-8200（）·4·2010176ChemicalProductionandTechnology，，SF6CVDNF3。CVD，，。，20102，500。SF630，SF6150t，2010400t，2030SF6。SF6，SF6。、，、，。，SF6，（GB12022—89）（IEC376-71）。SF6，，SF6，SF6，，，。，SF6，，。33.1WF6，，。17.5℃，2.3℃，3.44（15℃）；，H2[WF8]。WF6，CVD；WSi2（LSI）。CVD，X。、、、。WF6，CVD。，。WF6NF3，。，。WF6，，-80℃WF6，（-10～10℃），WF6。，WF6CVD，、，Xγ，。3.2NF3WF6，350℃。，。3.2.1WF6，：W+3F2→WF6。。，。，WF6。3.2.2NF31NF3WF6，：W+2NF3→WF6+N2。NF3HF，Na2S2O3NO，。WF6，、HF、SF6、NF3、CF4、CO2、N2、Ar。WF6，。WF6，。HF、MoF6、CrF4。CVDWF6，，0.5×10-3，5×10-6。WF6。3.2.31WF6。2，3：·5·1)WF6，5×10-9；2)WF620cm3/sNaFKF。HF5×10-6，SF40.5×10-6；3)WF63℃。HeWF6，3℃，138～207MPa。。He，，。，22。1，1；11。3.3WF6，（AirProducts，AP）、Praxair、Bandgap、Metheson，、、。WF6，1/2。APBandgap2，90。PraxairWF6，WF699.9999%，40t/a。2005WF61.3kt/a，1kt/a。90，，2005225×109m3，240。90WF6，，KDK19983，、。AP19992HometownWF61，63.5t/a；20021WF6，45.4t/a。2002WF650%150t/a。PlaXair（ARC）WF6，，。WF6，，。，WF6，。，WF6。，“”，200，、。3.4，；，WF6；、、、。44.1（IF5），。9.43℃，100.5℃，3.19（25℃），1333Pa。，，。4.2IF5，，IF5。、、，，。，CF3(CF2)nI（n，1~10），。C2F5I，TFE，。，、、、。。，Rf—，。RfCH2CH2I，，，。，（）·6·2010176ChemicalProductionandTechnology、、、。4.3、、，，。4.3.1IF5，：I2+5F2→2IF5。2。1)。。60，-60～80℃IF5。。，，，IF5，。，，。，，，，。，。2）。2。114℃，，，。，，，。，，。，IF5，I2，。IF5I25%～10%，，，。4.3.2，，，IF5。，，IF5，，IF5。4.3.3AgFI2，，IF5，，，。4.3.4（KIO3）SF4IF5KIF6。60℃2h，120℃2h，140℃4h，240℃6h。，-78℃，，IF5。KIO3，。4.3.5（I2O5）-，133Pa，SF4，，，4.3.4，IF5。，IF5，。4.3.14.3.2，，。，，，IF5。4.4、、、。IF5ABCRGmBRCo、AP、、。20046kt，600t。，，，IF5，、，。，。：、、（504）。·7·2010，17（5）ChemicalProductionandTechnologyABSTRACTSCompetitiveStrengthandMarketAnalysisofElectronicChemicalsandSpecialGasContainingFluorine（tobecontinued）ChenHongchang(ChinaInorganicFluorideAssociation,Tianjin,300131)Abstract:Thehigh-endinorganicfluoridewhichincludingfluorine-containingspecialgasandelectronicchemicals,sulfurhexafluoride,tungstenhexafluorideandIodinepentafluoridewereintroducedinthispaper.Theseproductsmainlyappliedinthefieldofhigh-techcontainingelectronic,newmaterialandaerospaceandgenerallycharacterizedbyhightechnicalcontent,highadditionalvalueandoccupiedanimportantplaceinthenationaleconomy.Besides,otherinformationincludingtheproductionpropertiesandproductionmethods,thesituationandmanufacturemessagesalsoreviewedinthepaper.Keywords:specialgascontainingfluorine;electronicchemicalscontainingfluorine;high-end;competitivestrengthTheSituationandDevelopmentTendencyofHydrogenFluorideinChinaXuJianguo,ZhouZhenfeng,YingShengrong(QuzhouDingshenChemistryScientificCo,Ltd.,Quzhou,Zhejiang324000)Abstract:ByintroducethemethodofdevelopmentofproducingmethodsofHFandthecurrentrequirementofthemarket,thepaperanalysisthefuturetendencyofHFandputemphasisonpreparationHFbyfluosilicateacid.ThepaperalsorisetheopinionthattheeffectivelyresolvedoffluorinechemicalindustrystrategicallyimportantforSinoHFdevelopment.Keywords:hydrogenfluoride;fluosilicateacid;fluorite;vitriol;situation;developmentElectrofluorinationandItsFine-fluorineProductionBranches(theend)HuangChenghua,LiXunsheng,JinGuangquan(HubeiZhongkeBoceNewMaterialinstitute,Wuhan430015)Abstract:ThedevelopmenttendencyandtechnologyneedingwhileusingElectrofluorinationmethodtopreparefine-fluorinechemicalsisreviewedinthepaper.Aftertheaboveanalyzation,theauthorrisethedevelopmentstrategyaimoffine-fluorinechemicalsintermsofoperatingmech