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1使用说明书高压强/皮拉尼真空计HPG400HPG400-SDHPG400-SP2产品标识与INFICON公司联系时,请告知产品名牌上的信息.为便于参考,请复制提供的如下产品信息.有效性本文件适用于下列件号的产品:HPG400(无显示器)353-520(真空连接DN25ISO-KF)353-522(真空连接DN40CF-R)HPG400(带显示器)353-521(真空连接DN25ISO-KF)353-523(真空连接DN40CF-R)HPG400-SD(带DeviceNet接口和开关功能)353-527(真空连接DN25ISO-KF)353-528(真空连接DN40CF-R)HPG400-SP(带Profibus接口和开关功能)353-525(真空连接DN25ISO-KF)353-526(真空连接DN40CF-R)件号(PN)可从产品的名牌上看到.本文插图中的规管件号为353-520.应用其它规管均类似.全部HPG400型号交货时附有使用说明书([8]).HPG400-SD和HPG400-SP带有说明现场总线接口和开关功能的附加说明书([9]).我们保留不事先通知技术修改的权利.3用途HPG400真空计用于2×10-6…1毫巴压强范围内非燃性气体和气体混合物的真空测量.真空计的控制范围内有趋向显示,范围从1毫巴至1000毫巴.规管可与INFICON真空计控制器VGC4XX或与其它控制设备连接运行.工作原理HPG400内装有HP(高压强)热阴极电离真空计,它由内置的皮拉尼真空计控制(控制范围).压强低于开关阈值≈1毫巴时,热阴极才能接通(防止烧断灯丝).高于阈值时,仅输出皮拉尼讯号.在整个测量范围内,测量讯号用对数压强输出.注册商标DeviceNet™OpenDeviceNetVendorAssociation,Inc.4产品标识2有效性2用途3工作原理3注册商标31安全61.1使用符号61.2人员要求61.3一般安全规则71.4责任和保用72技术参数83安装133.1真空连接133.1.1拆卸和安装电子学单元153.2电连接163.2.1与INFICONVGC4XX真空计控制器一起使用163.2.2与其它控制器一起使用173.2.2.1制作传感器电缆173.2.2.2制作DeviceNet接口电缆(HPG400-SD)193.2.2.3制作Profibus接口电缆(HPG400-SP)203.2.3使用电源选件(带RS232C线)214运行234.1测量原理,测量性能234.2规管工作原理254.3将规管投入运行264.4显示器(HPG400)274.5RS232C接口284.5.1功能说明284.5.1.1输出字符串(发送)284.5.1.2输入字符串(接收)304.6DeviceNet接口(HPG400-SD)314.6.1功能说明314.6.2运行参数314.6.2.1运行软件314.6.2.2接点地址设定314.6.2.3数据率设定324.6.3状态指示灯324.7Profibus接口(HPG400-SP)334.7.1功能说明334.7.2运行参数334.7.2.1运行软件334.7.2.2接点地址设定334.8开关功能(HPG400-SD,HPG400-SP)344.8.1设定开关功能345卸装36目录56维护,检修6.1维护6.2真空计调整6.2.1皮拉尼调整(HPG400)6.2.2皮拉尼调整(HPG400-SD,HPG400-SP)6.3调整热阴极的校准设定值6.4出现问题时如何处理6.5更换传感器7选件8备件9贮存10返回产品11废物处理附录A:输出讯号–压强之间的关系B:与气体类型有关C:文献污染申报表本文中相互参照,使用符号(XY),参照其它文件,使用符号([Z]).37373737383940424343434444454546484961.1使用符号1.2人员要求1安全危险防止任何危及人身安全的信息.警告防止损伤设备与环境的信息.注意正确掌握使用的信息.不注意将导致误功能或设备受损.注提示,推荐结果O.K.未达到预期结果目测等待时间,响应时间本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或由产品的昀终用户授权的人员执行.授权人员71.3一般安全规则•遵守适当的规程和对所用的过程介质采取必要的防护措施.考虑与产品材料可能引起的反应.•遵守适当的规程和对全部您要做的工作采取必要的防护措施.,并遵守本文件中的安全规定.•在工作开始前,找出是否任何真空元件已污染.遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施.将安全规则通知全部其它用户.1.4责任和保用INFICON不再承担任何责任和保用,如用户或第三方:•无视本文件中的信息.•不适当的方式使用产品.•对产品进行任何种类的介入(修改,变更等).•使用未列入产品文件中的附件.昀终用户对使用的过程介质承担全部责任.8测量测量范围(空气,N2)热阴极2×10-6…1毫巴皮拉尼(控制范围)1×10-2…1000毫巴精度10-5…1毫巴±15%读值(在10-5毫巴至切换阈值设定值之间有效P↔HP,25).重复性(10分钟后稳定)10-5…10-1毫巴±2%读值10-1…100毫巴±30%读值与气体类型有关→附录B发射开关(切换)阈值1毫巴(可从5个预定的设点选择)5×10–1毫巴2×10–1毫巴1×10–1毫巴5×10–2毫巴发射电流连续上升从1毫巴4µA至2×10–6毫巴130µA阳极电压180伏输出讯号电压范围0…+10.2VDC测量范围热阴极1.5…7.5伏皮拉尼8.5…9.75伏热阴极超出量程7.5伏≤U≤8.0伏热阴极不足量程0.5伏≤U≤1.5伏皮拉尼超出量程9.75伏≤U≤10.2伏皮拉尼不足量程8.0伏≤U≤8.5伏电压与压强的关系对数,→附录A热阴极1.00伏/量级皮拉尼0.25伏/量级误差讯号热阴极误差≤+0.3伏,40皮拉尼误差≤+0.5伏,40昀小负载电阻10kΩ,短路保护规管标识电阻在脚10与脚5之间为56kΩ(传感器电缆插座)2技术参数9显示器(HPG400)用于下列件号的真空计:353-521353-523显示屏LCD基质,32×16象素,有背景照明绿=正常工作红=误差/警告27)尺寸16.0毫米×11.2毫米参数压强，压强单位，状态，误差信息压强单位毫巴(工厂设定),乇,帕(选压强单位28)电源真空计的工作电压+24VDC(20…28VDC)1)纹波昀大2Vpp功耗标准≤0.5安发射开始(200毫秒)≤1.4安功耗HPG400,HPG400-SD≤16瓦HPG400-SP≤18瓦保险丝1.25ATHPG400-SD需要附加一个单独的电源用于DeviceNet接口(19).DeviceNet连接件上的电源电压(脚2与脚3)+24VDC(+11…25VDC)功耗2瓦真空计对电源的反向极性提供保护.1)在传感器的电缆插头上测量(考虑到电压降是传感器电缆长度的函数).危险与真空计规管连接的电源,仪器或控制设备必须符合极低压保护接地的要求(SELV-E按EN61010规程).规管的连接必须通过保险丝.(INFICON的控制器满足这些要求).10传感器电缆连接由于兼容性,本文中传感器电缆用于所有的HPG400型号,尽管带现场总线接口真空计(HPG400-SD和HPG400-SP)的压强读值是通过相应的总线传送的.电连接件D-Sub,15脚,插头HPG40017HPG400-SD,HPG400-SP18HPG400的电缆仅模拟值4导线+屏蔽包含RS232C接口和标识7导线+屏蔽HPG400-SD,HPG400-SP的电缆取决于所用的功能,至多14导线+屏蔽昀大电缆长度(电源电压24伏)模拟和现场总线运行≤35米,导线截面0.25毫米²≤50米,导线截面0.34毫米²≤100米,导线截面1.0毫米²RS232C-和VGC4XX运行≤30米开关功能HPG400无HPG400-SD,HPG400-SP2(设点A和B)调整范围2×10-6毫巴…100毫巴设点肯通过电位器调节(设点A和B),一个浮点,每设点常开继电器触点(18,34)继电器触点额定电压≤60伏电流≤0.5安DCRS232C接口数据率9600波特数据格式二进位8数据位一个停止位无奇偶校验位无同步交换连接件(传感器电缆)TxD(发送数据)脚13RxD(接收数据)脚14GND脚5RS232C接口的功能和协议28.DeviceNet接口适用下列件号的HPG400-SD真空计:(HPG400-SD)353-527353-528现场总线名称DeviceNet标准应用[6]通讯协议,数据格式[1],[4]接口,物理CAN总线数据率125,250,和500千波特(可通过RATE开关调节)P(125,250和500千波特,可通过DeviceNet编程([1]))节点地址(MACID)0…63十进位(可通过ADDRESS,MSD,LSDP(通过DeviceNet可编程0…63([1])开关调节)11DeviceNet连接件微型,5脚,插头电缆屏蔽,专用DeviceNet电缆,5导线(19和[4])电缆长度,系统接线按照DeviceNet技术规范([4],[6])Profibus接口适用下列件号的HPG400-SP真空计:(HPG400-SP)353-525353-526现场总线名称Profibus标准应用[7]通讯协议,数据格式[2],[7]接口,物理RS485数据率≤12M波特([2])节点地址就地:(可通过十六进制的ADDRESS,MSD,LSD开关调节)00…7D十六进位(0…125十六进位)通过Profibus:(十六进制的ADDRESS开关设定至7d十六进位(125十进位))00…7D十六进位(0…125十进位)Profibus连接件D-Sub,9脚,插座电缆屏蔽,专用Profibus电缆,(20和[5])电缆长度,系统接线按照Profibus技术规范([5],[7])真空暴露于真空中的材料外壳,支架,屏蔽不锈钢馈接件NiFe,镀镍绝缘件玻璃阴极铱,氧化钇(Y2O3)阴极支架钼皮拉尼元件钨,铜内容积353-520,353-521≤20厘米3353-525,353-527≤20厘米3353-522,353-523≤30厘米3353-526,353-528≤30厘米3昀大压强5巴(绝对)(仅适用于惰性气体和温度100°C).环境允许温度贮存-20…70°C工作0…50°C烘烤+150°C(无电子学单元)相对湿度(年平均/60天内)≤65/85%(无凝聚)使用仅室内海拔高至2000米NN保护类型IP3012尺寸[毫米]件号件号353-520353-522353-521353-523353-525353-526353-5271)353-5281)1)带DeviceNet连接件的规管长度增加14毫米.外壳的其它尺寸和真空连接是相同的.件号353-527353-528重量353-520,353-521285克353-522,353-523550克353-525,353-527430克353-526,353-528695克133.1真空连接•提供的规管内置障板.•传感器可烘烤至150°C.如烘烤温度超过50°C,必须将电子学单元移除(15).3安装危险危险危险注意:真空系统中的过剩压力1巴当真空系统中有压力时,打开夹环可导致松脱的部件或泄放的工艺气体伤害人身.在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环.使用适合过剩压力状态的夹环..注意:真空系统中的过剩压力2巴用橡皮密封圈(O-圈)的KF连接件不能经受这种压力.工艺介质可能泄漏,影响人身安全.使用带有外对中环的O-圈..必须将规管电连接到接地的真空室上.连接必须符合规程EN61010中规定的保护要求:•CF连接件满足这些要求.•带KF法兰的规管,采用导电的金属夹环.注意注意:真空元件污垢和损坏影响真空元件的功能.取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损坏的措施.规管可任何方向安装.为防止来自测量室的凝聚物和微粒,昀好选择