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ESEC2008CalibratePick&Place選取Install-Calibrate-Pick&Place-Bondarm後按startycalibrate將PIN插入以確認BOND的位址1將pin插入Definebondpos.2將PIN移開後按continue將PIN插入以確認PICK的位址3將pin插入Definepickpos.4將PIN取出並按Complete完成pick&placey-axiscalibration5選取Install-Calibrate-pick&place-Forceunit並按Calibforce將shank的pin移開同時並確認block的downset為零6按Defineforce將Shank上的pin裝回並撥動上方的簧片7將pin裝回按Continue8將頂針及頂針蓋拆下後並將tool裝上將tool轉至最低9將tool轉至最低拆下吸嘴並按Continue10調整tool使其內圈及外圈轉至平行11按Defineforce將tool拆下12按Complete調整screw使Force調至0.1N後按Complete13完成forcecalibrate選取Install-Calibrate-Pick&Place-Dieejector14裝上gauge(calibpot)按startzcalibr會去測頂針座上來的高度(但需再force正確地情形下)15完成DieejectorCalibrate16Leadframehandler選取Install-Calibeate-Leadframehandler-Bondposition1取一銅片以膠帶貼在上片區並且將燈光裝上將吸嘴拆下並將tip裝上2按下Bondarmtobond按下Bondheaddown使其下去打一點3Bondheaddown下去打一點然後會出現綠色十字線及tip的痕跡4用方向鍵移動綠色十字線使其與tip的點重合5綠色十字線與tip的點重合後按下Definecenter即完成Bondpositioncalibrate6選取Install-Calibrate-Leadframehandler-Index按下Startcalibration(此時lasersensor會作還原的動作)7將校正尺放入後按下Searchdispenser8按下Disp-zdown使膠頭下降並且用方向鍵對齊點膠的中心後按Definedispenser9按下SearchBondpos.按下Bondarmtopark及Bondheaddown使其與校正尺中心對齊10使其對齊後按下Definebondpos.11接著選取Adjustvision12此時會先自動對焦檢查焦距後按Continue繼續13按Continue繼續在最小的倍率下先作校正尺x及y軸對齊14先鬆開四個六角螺絲後再用gauge調整x及y軸15調整x軸調整y軸調整camera的角度(如箭頭所指處)16按Continue繼續會自動找尋(放大縮小應在同一點)找完後會出現紅色的十字線然後調整紅色的十字線至校正尺十字線的中心17先將後方的fixscrew鬆開再用一字起調整前方的x及y軸調整紅十字線的xy使其對準校正尺的十字線中心18按Continue繼續按Continue繼續19調整camera的角度(如箭頭所指處)然後按Continue繼續20調整十字線與校正尺十字的中心重合後按Continue繼續21調整十字線重合後按Continue繼續22按Continue繼續按Completecalibration23完成IndexCalibration並將校正尺移開選取Install-Calibrate-Pick&place-Bondarmx-axis24裝上Mountcalibtool並使其向下及向右靠按Startxcalibr.25盡量去對螢幕上白色的垂直十字線使其去對到校正尺的垂直線(水平線可以不用去對),左右跳正負800um連續跳幾次,依據跳格換算出來X=_um/pixel來換算後按Complete完成Bondarmx-axiscalibrate進入Install--Calibrate--Leadframehandler--Dispenser按StartcalibrationHintInsertcalibrationtoolintodispenser將calibrationtool裝在nozzleholder按continue繼續26Hint將referencestrip校正尺放在Indexer的pushin位置按continue標準尺被送至點膠區Insertreferencestrip27選擇你需求的模式Calibratevision:重灌軟體,機件無須調整時適用Adjustvision:更換組件時,或有偏差必須做調整時適用(以下內容將以Adjustvision模式做介紹)28按下Adjustvision機台會自動做對焦功能(Autofocusing)可以按調整焦距後按continue繼續29HintAdjustcameradistancewithminiadapter此時倍率會縮至最小焦距若不清晰時,鬆開鏡頭中段及下方的螺絲固定中段部份,旋轉下半部以調整焦距至清晰為止後按continue繼續旋轉這一截可以調整焦距鬆開這一截30HintAdjustcamerarotationtocalibstrip調整Camera的rotation鬆開如圖示位置之三顆螺絲,調整camera之角度按continue繼續31確認Camera放大/縮小倍率時的中心點位置是否相同當紅色十字線未與標準尺中心重合時,鬆開固定螺絲,用一字起子調整X/Y方向,完成後鎖緊固定螺絲後按continue繼續32鬆開固定螺絲調整X/Y方向,完成後鎖緊固定螺絲X方向y方向33確認Camera與校正尺之rotation後按continue繼續調整Camera的rotation鬆開如圖示位置之三顆螺絲,可調整camera之角度34確認X方向水平按Movetoleft及Movetoright使其左右移動,以標準尺橫線黑體為基準,檢視是否超出範圍若超出範圍時,鬆開4顆固定螺絲後調整箭頭所指之螺絲以校正水平,完成後鎖緊固定螺絲後按Movetocalib畫面回到校正尺上方35校正Yoffset(調整畫面十字線與校正尺十字線重合)調整方法:微調:用5.5mm開口扳手調整,如圖示(Camera後方)36粗調:當Y方向偏移過大時,須調整機械位置.鬆開左側8顆,右側4顆螺絲,調整至恰當後鎖緊調整完成按continue繼續右側左側37HintAdjustcalibtoolrotationtocrosshair校正calibtool焦距後按continue繼續調整Calibtool的角度38以monitor的十字線為基準,調整Calibtool的角度後按continue繼續調整X軸位置至calibrationtool中心39檢查螢幕上白色十字線X方向是否在中心若不在中心位置,可轉動左側蓋板內一字螺絲,使白色十字線移至calibtool中心點位置後按continue繼續40用移動camera,使十字線與校正尺中心重合完成後按DefineX-axis後按continue繼續41HintMagnificationsuccessfullycalibrated此時機台會在各種倍率下自動計算,每pixel所換算的距離是多少(單位um)按continue繼續42調整dispenser位置可按Autocenter或移curser將calibtool移至中心點按Definedispenser後按continue繼續43HintRemovecalibrationtoolfromdispensercheckX-table在移動時的平行度可左右移X-table,在Monitor上檢視其平行度按complete完成O.D.C.calibration44Waferhandler選取Install-Calibrate-Waferhandler-Pickposition裝上Calibpot1將吸嘴拆下並將tip裝上在Calibpot上黏上銅片2先用Focusleft及Focusright調整Focus按下Bondarmtopick3按下Bondheaddown使其下去打一點Bondhead下降去打一點4用方向鍵移動綠色十字線使其與tip的點重合5用EjectorxleftEjectorxrightEjectorybackEjectoryforw移動頂針座的Calibpot十字線與綠色十字線重合6按下Calc.offset完成pickpositioncalibration選取Install-Calibrate-Waferhandler-Visionmdule7在最小的倍率下先作校正尺x及y軸對齊檢查焦距後按Continue繼續8調整camera的角度(如箭頭所指處)9調整紅十字線的xy使其對準校正尺的十字線中心後按Continue繼續10將十字線移至wafertable右上方Adjustpos的正中心11按下Optimizeillum如果看不清楚的話,可以插張紙在下方(如箭頭所指處)12按下Defineadjustpos按下Continue,此時camera會做rotation校正13Angle要在正負0.2以內,看右下方的值,調好按stop停下來14調整camera的角度(如箭頭所指處)後按Continue繼續15調整camera十字線與calibpot十字線重合後按Continue繼續鬆此四顆螺絲調整x軸調整y軸16按下Completecalib.完成Visionmodulecalobration17