电液伺服阀研究现状及发展

电液伺服阀研究现状及发展丁凡浙江大学流体传动及控制国家重点实验室电液伺服阀及系统的发展历史水利机械活塞式泵和活塞式马达（1900年前）液压传动—首先用于海军战舰炮塔的俯仰（1906年前）滑阀特性和液压伺服控制理论研究（1940年始）飞机上出现电液伺服系统，滑阀由伺服电机拖动（1945年后）电液伺服阀及系统的发展历史永磁式力矩马达出现，形成了电液伺服阀的雏形（1950年始）喷嘴—挡板阀作为先导级的电液伺服阀出现（1950年底）各种形式的电液伺服阀开始出现（1960年始）电液伺服阀今后发展方向大流量、高频响电液伺服阀的研制特种电液伺服阀（如深海）机电液一体化（如飞机上）低成本、抗污染、工作可靠的电液伺服阀电液比例伺服阀机电液一体化（MOOG）电液伺服阀创新方向新的结构（电—机械转换器的结构、阀的结构）新材料的利用（压电陶瓷、GMM、记忆合金、纳米材料？）电液伺服阀的组成电—机械转换器液压先导级控制阀液压功率级控制阀反馈部件附件（过滤器等）电液伺服阀的结构分类从电—机械转换器分类动铁式直线式动圈式动铁式回转式动圈式电液伺服阀的结构分类利用新型功能材料研制电—机械转换器利用压电陶瓷元件（PZT材料）利用超磁致伸缩材料（GMM材料）利用电流变体（ER流体）利用磁流变流体（MR流体）利用记忆合金电液伺服阀的结构分类液压先导级控制阀喷嘴—挡板阀射流管阀圆柱滑阀液压功率级控制阀圆柱滑阀反馈部件位移反馈力反馈电反馈二种常见的电液伺服阀1.力反馈二级电液伺服阀（MOOG阀）力矩马达先导级喷嘴-挡板阀功率级圆柱滑阀力反馈2.二级动圈式电液伺服阀动圈式力马达先导级圆柱滑阀功率级圆柱滑阀直接位移反馈二级力反馈电液伺服阀外型二级力反馈电液伺服阀结构二级力反馈电液伺服阀原理MOOG三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀结构力士乐三级电液伺服阀频响