生产车间防静电技术要求

文件编号：发放号：受控状态：生产车间防静电技术要求编制：审核：批准：发布日期：生效日期：2/15文件发行及更改记录表制修订更改原因更改内容审核批准生效日期版本号3/151范围本标准规定了本公司生产车间静电防护的技术要求；本标准适用于本公司产品生产、物料存放、试验现场的防静电控制。2术语2.1防静电工作区（EPA）配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记且满足防静电要求，为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称，如有静电敏感元器件和组装件操作的生产区和物料存放区域。2.2硬接地（hardground）直接与大地电极做导电性连接的一种接地方式。2.3软接地（softground）通过一足以限制流过物体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。2.4大地电极(earthelectrode)埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。他可以是杆状的、板状的或网状的，为接地系统提供接大地的基准点。2.5静电耗散材料（dissipativematerials）其表面电阻率等于或大于1×105Ω，但小于1×1012Ω；或体积电阻率等于或大于1×104Ω•cm，但小于1×1011Ω的材料。3一般要求3.1防静电标记符号在防静电工作区应在明显的位置贴静电防护标志，如图3-13-1静电防护标志4/153.2工作人员在进入防静电工作区时，须穿戴好防静电工作服、工作鞋。3.3工作人员对静电敏感元器件、组装件进行操作时，须戴好ESD防护腕带，并测试合格。3.4指定人员定期测量并记录车间环境条件。4详细要求4.1气候与环境条件4.1.1温度EPA内应装有温度调节装置，以维持其室温在25±5℃，采用准确度优于±2℃的温度计测量EPA的室温，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表见附表14.1.2湿度EPA内应装有湿度调节装置，以维持室内相对湿度在30~70%RH范围内。采用准确度优于±2%的湿度计测量EPA内的湿度，并在每日的同一时间进行测量并记录。记录表见附表14.1.3洁净度保持生产现场干净、整洁。4.1.4静电消除器在对静电敏感元器件或组装件操作的工作台上，应装设静电消除器（离子风机等），以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具及其他物品相互摩擦在工件上产生的静电荷。静电消除器应能消除任何一种极性的电荷，并在其有效防护区域内使静电位保持在规定值以内，中和能力应优于±250V/s。4.2接地EPA内应有满足使用功能要求的防静电接地分系统，并通过大地电极分系统接到大地。4.2.1防静电接地分系统EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地板防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等，连接方式如图4-1。除个别指明需采用硬接地外，一般采用软接地方式，其接地电阻可由外界5/15电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。4.2.2接地安装注意事项防静电接地分系统最好与电源地等其它分系统各自独立；防静电工具、装置等的接地端子允许使用易于拆卸的各种夹式连接器，如鳄鱼夹、插针等，但应确保电气连接可靠。接地主干线截面积应不小于100mm2；支干线截面积应不小于6mm2；设备和工作台的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的多股敷塑导线，接地线颜色应和操作现场其它电源线等的颜色有较大区别。4.3各种器材、用具的静电性能4.3.1测量仪器EPA相关设施安装完成后应定期对其进行检测，并记录检测结果（检测记录表见附表2），接地系统的测量仪器的量程应为0~1011Ω，测量电极为圆柱形，直径50mm，重量2kg。仪器的输入和输出线与两电极通过鳄鱼夹、连接器等便于拆卸的方式连接，测量时施以500V电压。4.3.2ESD防护工作台面除非制造工艺要求要使用导（静）电工作台面，EPA内的工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。ESD防护工作台面的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量时，将测量仪器的一端接到工作台与地线的连接线上，另一个电极测量五个点取平均值（如图4-2）。表面（点对点）电阻测量时，两测试电极相距0.9m，测量五组数据取平均值，测量时一电极不动，另一6/15电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动（如图4-3）4.3.3ESD防护地面除非制造工艺要求需要使用导（静）电地面，EPA内应采用静电耗散地板、地垫或喷涂防静电漆，并良好接地，其对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量时，仪器一个电极接防静电接地分系统，另一电极放置在防静电地面上，取房间不同位置测量并取平均值（如图4-4）；7/15表面（点对点）电阻测量时，一个电极固定，另一个电极以0.9m为半径取5个测量点，并取平均值（如图4-5）。表1EPA内各种器材的静电性能要求器材名称章条号表面（点对点）电阻（Ω）对地电阻（Ω）穿戴状态下的对地电阻（Ω）说明ESD防护工作台4.3.27.5×105~1.0×10107.5×105~1.0×109/ESD防护地面4.3.31.0×105~1.0×10101.0×105~1.0×109/ESD防护腕带4.3.4//7.5×105~3.5×107/7.5×105~1.0×1010/内表面对电缆扣7.5×105~5.0×106//腕带连线端对端物流车、存放架4.3.57.5×105~1.0×10107.5×105~1.0×1098/15器材名称章条号表面（点对点）电阻（Ω）对地电阻（Ω）穿戴状态下的对地电阻（Ω）说明周转容器4.3.67.5×105~1.0×10107.5×105~1.0×109（体积电阻）/工作服4.3.71.5×105~1.0×10101.5×105~1.0×1010/4.3.4ESD防护腕带a．腕带穿戴状态下的电阻测试操作者以正常方式戴上腕带，把线端插入测试器，手指压住手摸触板，直至仪器可以稳定测量为止（如图4-6）。b．腕带内表面对电缆扣电阻（点对点电阻）将两测试点击分别接触腕带内表面和电缆扣与测试仪连接测量（如图4-7）。c．腕带接地电缆两端电阻（点对点电阻）用测试电极连接电缆两端测试（如图4-8）。9/154.3.5物品存放架、内部物流车应能通过支脚或轮子接地，它与工件接触的表面应由静电耗散材料制作。对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。对地电阻测量如图4-9；表面（点对点）电阻的测量如图4-10。10/154.3.6周转容器其体积电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。体积电阻测量如图4-11；表面（点对点）电阻测量如图4-12。11/154.3.7ESD防护工作服ESD防护工作服各部分之间应存在电气连续性。工作服的设计应能保持其在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。必要时，工作服上设置专门的接地连接点，在穿戴过程中通过导线接地。测量时，工作服放在绝缘台上，绝缘台的表面电阻≥1014Ω；两电极之间的间距不小于300mm。ESD工作服的对地电阻和表面（点对点）电阻要求见表1。工作服的对地电阻测量如图4-13；表面（点对点）电阻测量如图4-14。12/154.3.8电烙铁电烙铁应进行硬接地，电烙铁头值接地系统的电阻应不大于2Ω。4.3.9其它EPA内的防静电工作椅、防静电工作鞋等性能要符合相关标准的规定。4.4EPA维护与检查要求对EPA的各项技术要求，必须经常性地进行检查、监测，以维持各项性能符合标准规定。检查的频次如表2所列。检查频次项目名称检查方式每日一次环境温度、相对湿度测量佩戴腕带状态下的对地电阻测量ESD防护工作服穿戴情况目视每周一次ESD防护工作台面接地情况目视地板、地垫接地情况目视系统接地情况目视13/15每月一次标记情况目视工作服对地电阻和表面（点对点）电阻测量每季度一次ESD防护工作台对地电阻和表面（点对点）电阻测量地板、地垫对地电阻和表面（点对点）电阻测量周转容器体积电阻和表面（点对点）电阻测量电烙铁对地电阻测量存放架和内部物流车对地电阻和表面（点对点）电阻测量建成后第一年每季度一次，以后每21个月一次系统接地电阻测量附表1环境参数检测记录表（年月）检测时间温度（℃）湿度（%RH）检测人检测时间温度（℃）湿度（%RH）检测人1日17日2日18日3日19日4日20日5日21日6日22日7日23日8日24日9日25日10日26日11日27日12日28日13日29日14日30日15日31日16日附表2EPA检测记录表器材名称表面电阻(Ω)对地电阻(Ω)穿戴状态(Ω)检测日期检测人