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超精密研磨技术的现状及发展趋势作者：方海生，胡涤新，邓乾发，袁巨龙，FANGHai-sheng，HUDi-xin，DENGQian-fa，YUANJu-long作者单位：方海生,FANGHai-sheng(浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州,310014;浙江机电职业技术学院,浙江,杭州,310053)，胡涤新,邓乾发,袁巨龙,HUDi-xin,DENGQian-fa,YUANJu-long(浙江工业大学,超精密加工研究中心,浙江,杭州,310014)刊名：轻工机械英文刊名：LIGHTINDUSTRYMACHINERY年，卷(期)：2007，25(4)引用次数：0次参考文献(23条)1.袁巨龙功能陶瓷的超精密加工技术20002.安永畅男超精密加工における化学现象とその利用1993(4)3.HORIOK.KASAIT.OGATAYAstudyondamagedlayerremainingindiamondmirrorcutsurfaces1992(1)4.袁哲俊.王先逵.袁巨龙精密和超精密加工技术19995.华伟民.河西敏雄.崛尾健一郎金属材料のラッピングによおける加工液の效果19916.高濑省得.河西敏雄金属材料のラッピングおよび砥石研磨特性19927.杨建东.田春林高速研磨技术20038.MORIY.IKAWAN.OKUDATNumericallycontrolledelasticemissionmachining19769.MORIY.IKAWAN.OKUDATNumericallycontrolledelasticemissionmachining-motion,analysisoffluidanddistributionoffilmthickness1983(11)10.MORIY.YAMAUCHIK.ENDOKElasticemissionmachiningasevaluatedbyatomistictechniques198711.MORIY.YAMAUCHIK.ENDOKMechanismofatomicremovalinelasticemissionmachining1988(1)12.MORIY.YAMAUCHIK.ENDOTEvaluationofelasticemissionmachinedsurfacesbyscanningtunnelingmicroscopy1990(1)13.KORDONSKIWMagneto-rheologicalfinishing199214.EVANSCJMaterialremovalmechanismsinlappingandpolishing200315.KIMDJAstudyonthedevelopmentofin-processdressinglappingwheelanditsevaluationofmachiningcharacteristics200516.赵萍.吕冰海.袁巨龙.常敏.赵文宏.潘锋智能型纳米级抛光机的运动分析[期刊论文]-制造技术与机床2003(7)17.赵文宏.黄文君.冯冬芹.褚健.袁巨龙修正环型纳米级超精密抛光机智能控制系统的实现[期刊论文]-机电工程2003(3)18.赵文宏.袁巨龙.吕冰海.常敏.邢彤.赵萍智能型纳米级抛光机的控制系统[期刊论文]-制造技术与机床2003(8)19.YUANJL.LOUFYResearchonultra-precisionprocessofSTAVAXESR2004(471-472)20.YUANJL.LOUFYResearchonultra-precisionmachiningtechnologyforKTP2004(471-472)21.YUANJL.ZHAOPLappingandpolishingprocessforobtainingsuper-smoothsurfacesofquartzcrystal2003(138)22.LVX.YUANJLStudyonultra-precisemachiningofCLBOcrystal2006(304-305)23.YUANJL.LINBNewultra-precisionpolishingtechniquesofglassBK-7opticalplate2001(202-203)相似文献(9条)1.期刊论文鲁聪达.王笑.文东辉.姜少飞.柴国钟.LuCong-da.WangXiao.WenDong-hui.JiangShao-fei.ChaiGuo-zhong超精密研磨技术及其发展的研究(下)-现代制造工程2008(4)阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展.最后,介绍精密加工技术的检测设备和仪器.2.期刊论文鲁聪达.王笑.文东辉.姜少飞.柴国钟.LuCong-da.WangXiao.WenDong-hui.JiangShao-fei.ChaiGuo-zhong超精密研磨技术及其发展的研究(上)-现代制造工程2008(3)阐述超精密研磨技术的研磨机理和加工特点,讨论当前国内外研究和开发的几种超精密研磨技术及其发展.最后,介绍精密加工技术的检测设备、仪器.3.期刊论文刘志平.董丽华.韩毅松.宋坚超精密金刚石刀具研磨技术的研究-人工晶体学报2001,30(4)超精密金刚石刀具的两个基本精度要求是刀刃轮廓精度和刃口半径.金刚石晶体的定向和晶面选择是超精密金刚石刀具研磨技术的基础,而磨削速率、压力、研磨盘和研磨粉等则是影响研磨效率和研磨质量的几个主要工艺因素,本文分别对金刚石的晶体定向和晶面选择方法进行了简要介绍,并对影响研磨效率和研磨质量的几个主要工艺因素进行了实验研究;同时对研磨的刀具进行了切削加工实验,最后探讨了超精密金刚石刀具技术的进展.4.会议论文吕冰海.袁巨龙.林旭氮化硅陶瓷球的超精密研磨技术2002氮化硅陶瓷材料属硬脆难加工材料,采用普通方法研磨HPSN/HIPSN陶瓷球,不但加工效率低,而且表面还存在大量的微裂纹和位错等缺陷,严重影响了陶瓷球轴承的性能.本文阐述了陶瓷球精密研磨加工参数的选择与其性能和加工效率的关系,介绍了氮化硅陶瓷球磁悬浮抛光(MFP)、化学机械抛光(CMP)方法等超精密加工的新技术.采用这些新的柔和加工技术可以实现对陶瓷材料的微细切削,使余量以塑性断裂的形式去除,从而获得非常光滑的表面(Ra=4nm)和良好的球度(0.15-0.25μm),并能提高陶瓷球的加工效率.5.期刊论文袁哲俊.YuanZhejun精密和超精密加工技术的新进展-工具技术2006,40(3)精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展.世界各国都极为重视,投入很大力量进行开发研究,故近年来发展迅速.本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展:精密和超精密机床的新发展,超精密切削机理和金刚石刀具的研究,精密镜面磨削和研磨技术的新发展,非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展;提出我国应重视精密加工的研究,加大投入,加速提高我国精密和超精密加工技术水平.6.期刊论文崔胜民.曹国辉汽车车身模具电化学超精密光整加工的研究-中国机械工程2003,14(11)针对目前国内汽车车身模具光整加工所存在的问题,提出了一种新型的应用光整加工技术即电化学超精密研磨技术.研制了能够实现X、Y、Z三轴直线运动和绕X、Z两轴转动的空间五自由度电化学超精密研磨数控试验机床.分析了电解时的电流密度、磨粒的种类和粒度、电解液浓度、工件与电极间的相对运动关系、超声波的有无等对工件表面粗糙度的影响.试验结果表明,使用该技术进行光整加工,可以获得表面粗糙度值Ra=0.025μm的镜面,其加工效率较普通研磨加工提高10倍以上,适合于汽车车身模具型腔的光整加工.7.期刊论文崔胜民.曹国辉电化学超精密研磨机床的研制-制造技术与机床2002(5)研制了能够实现X、Y、Z三轴直线运动和绕X、Z两轴转动的空间五自由度电化学超精密研磨机床.利用该机床,可以对电化学超精密研磨技术进行工艺研究,实现模具型腔的光整加工.8.学位论文曹国辉汽车车身模具弹性电化学超精密光整加工的研究2000模具在工业的各个领域中,特别是在汽车车身制件的加工中发挥着重要作用,但是模具型腔光整加工的高精度和高效率一直是影响模具工业发展的重要因素.该文针对目前中国汽车车身模具光整加工所存在的实际问题,在综合分析国内外光整加工技术的基础上,将电解加工、机械研磨及超声加工相复合,提出了一种新型的光整加工技术--电化学超精密研磨技术.9.学位论文郭红燕新型精密轴承球超精密研磨加工系统仿真与设计优化2006精密机械的运转常使用轴承，而轴承球是轴承的主要元件之一，精密轴承球在精密工程领域发挥着重要的作用。轴承球的真球度及表面粗糙度对轴承的性能及可靠性有显著影响。然而轴承球的传统研磨方式成球机理不完善、加工效率低、加工成本高，这越来越不能适应科技发展的需求，为此诸多学者提出了多种研磨方式，其中以磁流体研磨方式与自转角自动控制研磨方式最具代表性。然而因其批量生产能力有限，这两种研磨方式尚未在实际生产中应用。本文对不同轴三盘研磨方式、偏心V形槽研磨方式等几种研磨方式进行了运动分析，计算出研磨轨迹，提出球坯表面研磨均匀性的评价方法。为了获得高效率、高精度的研磨，提出了新型精密轴承球研磨方式，该研磨方式结构简单，易于实现固着磨料研磨技术的应用，可以从根本上提高加工效率，极大地提高了研磨的均匀性。对上述几种装置的研磨均匀性进行仿真分析，比较这几种研磨方式的研磨均匀性。对新型研磨装置进行仿真分析，从研磨的均匀性角度比较新型研磨方式和传统研磨方式。以研磨的均匀性为指标对新型研磨装置进行参数优化。最后为了进一步对研磨的均匀性做定量化分析，提出了对精密轴承球进行网格划分的评价方式，提供了几种网格划分的方法，通过仿真分析比较这几种网格划分方式，寻找较准确地评价研磨均匀性的网格划分方式。本文所有的求解程序都是在MATLAB6.5环境下完成的。本文链接：下载时间：2009年11月24日