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EC-FFU系统培训资料培训资料版本：1.0.31日期：2008年6月28日第1页共27页EC-FFU系统培训资料第2页共27页目录一．洁净厂房基础知识―――――――――――――――――――――――――――3二．FFU结构介绍―――――――――――――――――――――――――――――6三．FFU的安装注意―――――――――――――――――――――――――――－7四．EC-FFU的调试―――――――――――――――――――――――――――－8五．EC-FFU软件使用说明―――――――――――――――――――――――――9EC-FFU系统培训资料第3页共27页洁净厂房基础知识一．洁净厂房的定义洁净厂房，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的厂房。就是不论外在空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。洁净厂房最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净厂房。洁净度等级国家标准GB50073-2001大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)空气洁净度等级(N)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5umClass1级102Class10级10024104Class100级1000237102358Class1000级100002370102035283Class10000级1000002370010200352083229Class100000级1000000237000102000352008320293352000832002930352000083200029300352000008320000293000二．洁净室的分类1．层流式：厂房中空气气流方向成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的高效过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净等级要求较高的环境中，一般其洁净室等级为Class1~100。2．乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。3.复合式：复合式为将乱流式和层流式并用，可提供局部超洁净的空间。三．洁净厂房的气流流动洁净室的洁净度往往受到气流的影响。换言之，人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃的移动、扩散受到气流的支配。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的吸收率达99.97~99.99995%之多，因此经过过滤器过滤的空气可以说十分干净。然而洁净室内除了人以外，还有很多发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是0.25~0.5m/s之间，气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰、虽提高风速可抑制此干扰影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准的同时，能以最适当的风速供应，以达到经济效果。另一方面，若要达到洁净室洁净度稳定的效果，一定要保证气流的均匀和稳定，均匀的气EC-FFU系统培训资料第4页共27页流若无法保持，表示风速有变化，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度就很困难了。垂直层流式方向要保持均匀气流必须：(1)出风面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风吸入面的风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均会有涡流现象发生，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响洁净室的气流因素很多，如设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，也应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近的洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，也是气流是否成为涡流现象的重要因素。四．污染源1、发尘量洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内；产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下，发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进，发尘绝对量也不断减少。A、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。B、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少；C、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7倍；D、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8平方米地面时的表面发尘量与一个静止的人的发尘量相当。2、发菌量工作人员产生的污染：1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片皮肤（平均大小为30*60*3微米）2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。5）人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。6）人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。7）人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。分析国外试验资料可以认为：（１）洁净室内当工作人员穿无菌服时：静止时的发菌量一般为10-300个/min.人躯体一般活动时的发菌量为150-1000个/min.人快步行走时的发菌量为900-2500个/min.人（２）咳嗽一次一般为70~700个/min.人喷嚏一次一般为4000~62000个/min.人（３）穿平常衣服时发菌量3300~62000个/min.人EC-FFU系统培训资料第5页共27页（４）无口罩发菌量:有口罩发菌量1:7~1:14（５）发菌量：发尘量1:500~1:1000据国内事例：（６）手术中人员发菌量878个/min.人所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/min.人，动态发菌量一般不超过1000个/min/人，以此作为计算依据是可行的。EC-FFU系统培训资料FFU外形结构介绍下图为4X4尺的FFU的外形正面：背面：下图为FFU上的接线盒：第6页共27页EC-FFU系统培训资料FFU的安装注意一．AAFFFU风机过滤器机组的安装1．安装前先开一天空调使室内空气清洁，然后关闭开始安装。风机和高效要在净房内拆封以免污染。先放置ASTII到龙骨上，要使ASTII的进风面向上、出风面在下面，再放置FFU箱体到ASTII上，必须保证ASTII在FFU箱体的边框内。各个步骤必须轻拿轻放，保证产品不在安装过程中损坏。ASTII放置时要竖直放置，不能平放，且放置时要靠墙放置，否则会把ASTII的滤纸摔坏。整个安装过程中安装人员必须佩戴无尘室专用手套，穿无尘服，防止人员污染过滤器和FFU箱体。搬动过滤器时要拿过滤器的边框，防止尖锐物体刺穿过滤器滤纸。2．电源线接220V\50Hz，接在FFU接线端子上，接线端子标明了火线（L）、地线（N）和零线（E）。接头要紧固，不能有裸线漏于端子保护盖的外面。ASTROFANFFU_EC是数字化调节风机/马达的转速以使FFU达到设计所需要的性能。调节风机/马达转速到一定的指示值，用风速仪测量过滤器的面风速（风速仪探头距离过滤器下表面150mm），当测量的风速达不到需要值时，相应的增大或减小马达的转速来调节风机转速直到达到需要的值。测量风速要测过滤器下的6－9个点，取平均值。3．连接FFU之间的控制网线必须使用超5类屏蔽双绞线（STP-shieldedTwistedPair）,RJ45的水晶头必须按照EIA/TIA-568B的标准压制。控制网线要求必须是硬线（既8根线都是单根的0.5mm2的铜线,不可以是多根很细的铜丝组成的）.每组FFU的总线(从每组的第一台FFU到控制箱的网线)必须使用超5类屏蔽双绞线（STP-shieldedTwistedPair）,RJ45的水晶头必须按照EIA/TIA-568B的标准压制。控制网线要求必须是硬线（既8根线都是单根的0.5mm2的铜线,不可以是多根很细的铜丝组成的）.每组FFU的网线总长度不得超过300米（即从次网关到最后一台FFU的所有网线的长度之和），并且保证网线与220V的强电保持不小于60CM的距离。总线需要安装在专门的弱电桥架中，桥架本身要做良好的接地屏蔽处理。以保证FFU控制信号的完好无损。4．整个洁净房的洁净度、风速、压力测试完成时FFU均运行在正常的状态下，客户可根据洁净房的需要来确定FFU的运行时间，FFU日常免维护。第7页共27页EC-FFU系统培训资料第8页共27页EC-FFU的调试AAFASTROFANFFU风机过滤器机组的调试内容1．确认FFU的动力电源线路及控制线路的安装状态由AAF的专业技术人员及业主方现场负责人员共同检查FFU的动力线路及控制线路的安装工作，必须确保动力线路和控制线路的分离，两个线路严禁架设在同一个电缆桥架上，并且两个线路之间的空间距离不能小于0.5米.为保证FFU控制信号的良好，必须完全封闭控制线路的电缆桥架并保证其接地良好。如发现以上问题必须立即停止后续调试工作,并且等待责任方整改,直到符合相应规范.2．确认FFU的控制柜与洁净车间的控制线路的安装/连接状态FFU的控制柜内的控制线路的连接由AAF提供，洁净车间内的控制线路根据合同由业主方或工程施工方负责。由AAF的专业技术人员及业主方/工程施工方现场负责人员共同检查FFU控制柜及洁净车间的控制线路的安装工作及两者的连接状态。3．确认现场FFU地址编号是否与分组平面图相一致由AAF的专业技术人员及业主方现场负责人员共同检查现场FFU的地址编号是否与双方已经确认的分组平面图完全一致。如发现现场有FFU的地址与分组平面图中的正确位置不相符合，必须立即停止后续的调试工作并责成相关责任方整改直到所有现场的FFU的位置与分组平面图中完全一致。4．确认FFU控制软件与现场FFU的控制连接FFU控制软件有AAF负责提供并负责安装在业主方指定的控制电脑上，同时负责FFU控制软件与控制柜的连接工作。以确保FFU控制软件可以控制到现场的每一个FFU。5．确认FFU的调试/测试结果由AAF的专业技术人员及业主方/工程施工方现场负责人员共同负责调试FFU的性能达到合同约定的性能参数。6．FFU控制软件及FFU系统知识的培训由AAF的专业技术人员培训业主方/工程施工方相关负责人员FFU的控制软件及FFU系统的相关知识。五：AAFASTROFANFFU风机过滤器机组的调试所需工具/设备万用表–由AAF负责提供FFU手动控制器–由AAF负责提供网线测试仪器–由AAF负责提供笔记本电脑-由AAF负责提供路由器–由AAF负责提供螺丝刀，尖嘴钳等工具–由AAF负责提供测试用电源–由业主方或工程施工方负责提供六：AAFASTROFANFFU风机过滤器机组的调试所需时间在现场所有FFU的位置安装正确，每个FFU的电源线路及控制线路连接正确，每组FFU的控制总线连接正确，及所有FFU的电源正常且稳定供电及其他相应调试条件都具备的条件条件下需要大约三个工作周的时间，具体案例需要根据现场的具体情况而定。EC