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全自动激光调阻作业指导书一．启动/关闭系统步骤（图1-1、1-2、1-3所示）图1-1图1-2电流范围8.5-9.5，一般8.9-9.1图1-3启动总共分十一个步骤依次执行：先关闭室外气缸气阀、水阀，打开气缸电源，绿钮是ON，红钮OFF室内步骤步骤1：总电源开关步骤2：PTS显示器开关步骤3:水冷机电源开关步骤4：水冷机启动开关（等10秒听到水冷机出声再执行下一步）步骤5：激光信号源调制电源开关步骤6：PC驱动电源开关步骤7：探针扫描驱电源动开关步骤8：PC启动开关步骤9：PC显示器开关步骤10：平台盖开关开激光电源开关激光开关调激光电流到9.1关闭步骤顺序：激光电流调零、关激光开关、关激光电源开关、10、关闭计算机9、7、6、5、4、3、2、1，关气缸放气放水。二．调阻具体过程2-11.运行调阻程序双击桌面图标（图2-1），出现操作程序界面如图2-21.2-2常用的是操作命令集与电阻属性编辑两个命令选项卡：操作命令集常用的前移、后移、左移、右移按钮和气缸关闭/打开按钮如图2-3图2-3前后左右移用来控制平台的移动的位子120→前移后后移的距离.02→左移右移的距离单位：mm气缸关闭/打开：是否能够进行平台的移动按钮显示气缸关闭则可进行平台的前后左右移，反之则不行2.摆放基片（所有步骤中最重要的一步，会影响接下来的具体调刻）图2-4用食指斜着推基板力度递减，推2到3次确保左上角不留缝隙，这样基片的位置就绝对正确。（再次提醒这一步很重要，将会影响效率）3．移动平台查看位置鼠标左击前移按钮（文本框数值120），然后看平台显示器pts如图2-5图2-5观察红点是否在所需要调试的电阻下边（黑色的小方块）。图2-64．调阻根据所需要调阻的基片，选择具体的调阻参数，如图2-7，图2-7选择调入参数，找到相应文件，选择好正确的文件，然后点击“修刻参数”中的“连续修刻”即可。5．取出基片取出基片，摆放整齐放下一个基片时在检查一下上一片是否合格6．复测：只需测初值检测阻值是不是在合格范围。