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电液伺服阀电液伺服阀既是电液转换元件，又是功率放大元件，它能够把微小的电气信号转换成大功率的液压能（流量和压力）输出。它的性能的优劣对系统的影响很大。因此，它是电液控制系统的核心和关键。为了能够正确设计和使用电液控制系统，必须掌握不同类型和性能的电液伺服阀。伺服阀输入信号是由电气元件来完成的。电气元件在传输、运算和参量的转换等方面既快速又简便，而且可以把各种物理量转换成为电量。所以在自动控制系统中广泛使用电气装置作为电信号的比较、放大、反馈检测等元件；而液压元件具有体积小，结构紧凑、功率放大倍率高，线性度好，死区小，灵敏度高，动态性能好，响应速度快等优点，可作为电液转换功率放大的元件。因此，在一控制系统中常以电气为“神经”，以机械为“骨架”，以液压控制为“肌肉”最大限度地发挥机电、液的长处。由于电液伺服阀的种类很多，但各种伺服阀的工作原理又基本相似，其分析研究的方法也大体相同，故今以常用的力反馈两级电液伺服阀和位置反馈的双级滑阀式伺服阀为重点，讨论它的基本方程、传递函数、方块图及其特性分析。其它伺服阀只介绍其工作原理，同时也介绍伺服阀的性能参数及其测试方法。电液伺服阀的组成电液伺服阀在电液控制系统中的地位如图27所示。电液伺服阀包括电力转换器、力位移转换器、前置级放大器和功率放大器等四部分。3.1.1电力转换器包括力矩马达（转动）或力马达（直线运动），可把电气信号转换为力信号。3.1.2力位移转换器包括钮簧、弹簧管或弹簧，可把力信号变为位移信号而输出。3.1.3前置级放大器包括滑阀放大器、喷嘴挡板放大器、射流管放大器。3.1.4功率放大器——滑阀放大器由功率放大器输出的液体流量则具有一定的压力，驱动执行元件进行工作。图27电液控制系统方块图电液伺服阀的分类电液伺服阀的分类电液伺服阀的种类很多，根据它的结构和机能可作如下分类：1）按液压放大级数，可分为单级伺服阀、两级伺服阀和三级伺服阀，其中两级伺服阀应用较广。2）按液压前置级的结构形式，可分为单喷嘴挡板式、双喷嘴挡板式、滑阀式、射流管式和偏转板射流式。3）按反馈形式可分为位置反馈、流量反馈和压力反馈。4）按电-机械转换装置可分为动铁式和动圈式。5）按输出量形式可分为流量伺服阀和压力控制伺服阀。6）按输入信号形式可分为连续控制式和脉宽调制式。伺服阀的工作原理伺服阀的工作原理下面介绍两种主要的伺服阀工作原理。3.3.1力反馈式电液伺服阀力反馈式电液伺服阀的结构和原理如图28所示，无信号电流输入时，衔铁和挡板处于中间位置。这时喷嘴4二腔的压力pa=pb，滑阀7二端压力相等，滑阀处于零位。输入电流后，电磁力矩使衔铁2连同挡板偏转θ角。设θ为顺时针偏转，则由于挡板的偏移使pa＞pb，滑阀向右移动。滑阀的移动，通过反馈弹簧片又带动挡板和衔铁反方向旋转（逆时针），二喷嘴压力差又减小。在衔铁的原始平衡位置（无信号时的位置）附近，力矩马达的电磁力矩、滑阀二端压差通过弹簧片作用于衔铁的力矩以及喷嘴压力作用于挡板的力矩三者取得平衡，衔铁就不再运动。同时作用于滑阀上的油压力与反馈弹簧变形力相互平衡，滑阀在离开零位一段距离的位置上定位。这种依靠力矩平衡来决定滑阀位置的方式称为力反馈式。如果忽略喷嘴作用于挡板上的力，则马达电磁力矩与滑阀二端不平衡压力所产生的力矩平衡，弹簧片也只是受到电磁力矩的作用。因此其变形，也就是滑阀离开零位的距离和电磁力矩成正比。同时由于力矩马达的电磁力矩和输入电流成正比，所以滑阀的位移与输入的电流成正比，也就是通过滑阀的流量与输入电流成正比，并且电流的极性决定液流的方向，这样便满足了对电液伺服阀的功能要求。图28力反馈式伺服阀的工作原理1—永久磁铁；2—衔铁；3—扭轴；4—喷嘴；5—弹簧片；6—过滤器；7—滑阀；8—线圈；9—轭铁由于采用了力反馈，力矩马达基本上在零位附近工作，只要求其输出电磁力矩与输入电流成正比（不象位置反馈中要求力矩马达衔铁位移和输入电流成正比），因此线性度易于达到。另外滑阀的位移量在电磁力矩一定的情况下，决定于反馈弹簧的刚度，滑阀位移量便于调节，这给设计带来了方便。采用了衔铁式力矩马达和喷嘴挡板使伺服阀结构极为紧凑，并且动特性好。但这种伺服阀工艺要求高，造价高，对于油的过滤精度的要求也较高。所以这种伺服阀适用于要求结构紧凑，动特性好的场合。力反馈式电液伺服阀的方框图如图29。图29力反馈式伺服阀方框图3.3.2位置反馈式伺服阀图30为二级滑阀式位置反馈伺服阀结构。该类型电液伺服阀由电磁部分，控制滑阀和主滑阀组成。电磁部分是一只力马达，原理如前所述。动圈靠弹簧定位。前置放大器采用滑阀式（一级滑阀）。如图所示，在平衡位置（零位）时，压力油从P腔进入，分别通过P腔槽，阀套窗口，固定节流孔3、5到达上、下控制窗口，然后再通过主阀（二级阀芯）的回油口回油箱。输入正向信号电流时，动圈向下移动，一级阀芯随之下移。这时，上控制窗口的过流面积减小，下控制窗口的过流面积增大。所以上控制腔压力升高而下控制腔的压力降低，使作用在主阀芯（二级阀芯）两端的液压力失去平衡。主阀芯在这一液压力作用下向下移动。主阀芯下移，使上控制窗口的过流面积逐渐增大，下控制窗口的过流面积逐渐缩小。当主阀芯移动到上、下控制窗口过流面积重新相等的位置时，作用于主阀芯两端的液压力重新平衡。主阀芯就停留在新的平衡位置上，形成一定的开口。这时，压力油由P腔通过主阀芯的工作边到A腔而供给负载。回油则通过B腔，主阀芯的工作边到T腔回油箱。输入信号电流反向时，阀的动作过程与此相反。油流反向为P→B，A→T。上述工作过程中，动圈的位移量，一级阀芯（先导阀芯）的位移量与主阀芯的位移量均相等。因动圈的位移量与输入信号电流成正比，所以输出的流量和输入信号电流成正比。图30位置反馈伺服阀结构1—阀体；2—阀套；3—固定节流口；4—二级阀芯；5—固定节流口；6—一级阀芯；7—线圈；8—下弹簧；9—上弹簧；10—磁钢二级滑阀型位置反馈式伺服阀的方框图如图31所示。该型电液伺服阀具有结构简单，工作可靠，容易维护，可在现场进行调整，对油液清洁度要求不太高。图31位置反馈式电液伺服阀方框图电液伺服阀的基本特性3.4.1输入电流-输出流量特性空载时输出流量和输入信号电流之间的关系，常用空载流量特性曲线来表示（图32）。由这一曲线可得到该阀的额定值、线性度、滞环、流量增益等特性。额定电流IR——在这一电流范围内，阀的输出流量与输入信号电流成正比。额定空载流量——在额定压力与额定电流下阀的空载流量。线性度——q-I曲线直线性的度量。图32空载流量特性曲线IR——额定电流；q0——最大空载流量；tanθ——流量增益滞环——主要用来表明信号电流改变方向时，由摩擦力、磁滞等原因使I-q曲线不重合的程度。常以曲线上同一流量下电流最大差值△Imax与阀的额定电流IR之比来表示。流量增益——qL与I之比值，即q-I曲线的平均斜率。3.4.2压力增益特性在一定供油压力下，在输入电流I和负载压力pL=p1－p2曲线上，比值△pL/△I称为压力增益。当负载流量保持为零时，在零位（中间平衡位置）附近的压力增益称为零位压力增益。零位压力增益与主滑阀的开口形式有关，以零开口形式最高。提高供油压力ps也可提高零位压力增益。但这一特性主要与阀的制造质量有关。提高零位压力增益，对于减小不灵敏区、提高精度有作用，但对稳定性起相反的作用。图33是零开口伺服阀的零位压力增益特性曲线。图33零位压力增益特性曲线3.4.3负载压力、流量特性这一特性往往是选用伺服阀的主要依据。图34即为负载压力-流量特性曲线。3.4.4对数频率特性它表示电液伺服阀的动态特性。幅频曲线中一3dB时频率为该阀的频宽。其值越大则该阀的工作频率范围越大。对数频率特性也是分析伺服系统动特性以及设计、综合电液伺服系统的依据。图35即为阀的对数频率特性曲线。3.4.5零飘与零偏伺服阀由于供油压力的变化和工作油温度的变化而引起的零位（QL=pL=0的几何位置）变化称为零飘。零飘一般用使其恢复位所需加的电流值与额定电流值之比来衡量。这一比值越小越好。另外，由于制造、调整、装配的差别，控制线圈中不加电流时，滑阀不一定位于中位。有时必须加一定的电流才能使其恢复中位（零位）。这一现象称为零偏。零偏以使阀恢复零位所需加之电流值与额定电流值之比来衡量。图34负载压力-流量特性曲线图35对数频率特性曲线3.4.6不灵敏度由于不灵敏区的存在，伺服阀只有在输入信号电流达一定值时才会改变状态。使伺服阀发生状态变化的最小电流与额定电流之比称为不灵敏度。其值愈小愈好。液压伺服系统设计液压伺服系统设计在液压伺服系统中采用液压伺服阀作为输入信号的转换与放大元件。液压伺服系统能以小功率的电信号输入，控制大功率的液压能（流量与压力）输出，并能获得很高的控制精度和很快的响应速度。位置控制、速度控制、力控制三类液压伺服系统一般的设计步骤如下：1）明确设计要求：充分了解设计任务提出的工艺、结构及时系统各项性能的要求，并应详细分析负载条件。2）拟定控制方案，画出系统原理图。3）静态计算：确定动力元件参数，选择反馈元件及其它电气元件。4）动态计算：确定系统的传递函数，绘制开环波德图，分析稳定性，计算动态性能指标。5）校核精度和性能指标，选择校正方式和设计校正元件。6）选择液压能源及相应的附属元件。7）完成执行元件及液压能源施工设计。本章的内容主要是依照上述设计步骤，进一步说明液压伺服系统的设计原则和介绍具体设计计算方法。由于位置控制系统是最基本和应用最广的系统，所以介绍将以阀控液压缸位置系统为主。4.1全面理解设计要求4.1.1全面了解被控对象液压伺服控制系统是被控对象—主机的一个组成部分，它必须满足主机在工艺上和结构上对其提出的要求。例如轧钢机液压压下位置控制系统，除了应能够承受最大轧制负载，满足轧钢机轧辊辊缝调节最大行程，调节速度和控制精度等要求外，执行机构—压下液压缸在外形尺寸上还受轧钢机牌坊窗口尺寸的约束，结构上还必须保证满足更换轧辊方便等要求。要设计一个好的控制系统，必须充分重视这些问题的解决。所以设计师应全面了解被控对象的工况，并综合运用电气、机械、液压、工艺等方面的理论知识，使设计的控制系统满足被控对象的各项要求。4.1.2明角设计系统的性能要求1）被控对象的物理量：位置、速度或是力。2）静态极限：最大行程、最大速度、最大力或力矩、最大功率。3）要求的控制精度：由给定信号、负载力、干扰信号、伺服阀及电控系统零飘、非线性环节（如摩擦力、死区等）以及传感器引起的系统误差，定位精度，分辨率以及允许的飘移量等。4）动态特性：相对稳定性可用相位裕量和增益裕量、谐振峰值和超调量等来规定，响应的快速性可用载止频率或阶跃响应的上升时间和调整时间来规定；5）工作环境：主机的工作温度、工作介质的冷却、振动与冲击、电气的噪声干扰以及相应的耐高温、防水防腐蚀、防振等要求；6）特殊要求；设备重量、安全保护、工作的可靠性以及其它工艺要求。4.1.3负载特性分析正确确定系统的外负载是设计控制系统的一个基本问题。它直接影响系统的组成和动力元件参数的选择，所以分析负载特性应尽量反映客观实际。液压伺服系统的负载类型有惯性负载、弹性负载、粘性负载、各种摩擦负载（如静摩擦、动摩擦等）以及重力和其它不随时间、位置等参数变化的恒值负载等。4.2拟定控制方案、绘制系统原理图在全面了解设计要求之后，可根据不同的控制对象，按表6所列的基本类型选定控制方案并拟定控制系统的方块图。如对直线位置控制系统一般采用阀控液压缸的方案，方块图如图36所示。图36阀控液压缸位置控制系统方块图表6液压伺服系统控制方式的基本类型伺服系统控制信号控制参数运动类型元件组成机液电液气液电气液模拟量数字量位移量位置、速度、加速度、力、力矩、压力直线运动摆动运动旋转运动1.阀控制：阀-液压缸，阀-液压马达2.容积控制：变量泵-液压缸；变量泵-液压马达；阀-液压缸-变量泵-液压马达3.其它：步近式力矩马达4.3动力元件参数选择动力元件是伺服系统的关键元件。它的一个主要作用是在整个工作循环中使负载按要求的速度运动