MEMS器件介绍

研究生系列课程-半导体微纳加工技术MEMS典型器件介绍主要内容：•MEMS概述•MEMS典型器件研究生系列课程-半导体微纳加工技术-----Micro-electro-mechanical-system微电子机械系统------把信息传感、处理，机械执行机构以及其他一些微器件，按照集成电路的制造原则，以高密度，低成本的方式集成在一个微系统中。什么是MEMS?MEMS的主要特点•MEMS器件的优点是体积小、重量轻、性能稳定，通过IC等工艺可批量生产，成本低，性能一致性好，功耗低，谐振频率高，响应时间短，综合集成度高，附加值高，具有多种能量转化、传输等功能，包括力、热、声、磁及化学、生物能等。•微机电学作为一门新兴的交叉学科，涉及到许多科学技术领域，包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需要对这些学科领域有广泛的、深入的了解，微机电系统才有可能逐步走向应用。•MEMS工艺的可重复性•MEMS产品性能的稳定性和可靠性•MEMS产品的成品率•MEMS产品的封装和测试•MEMS器件与电路集成形成微系统MEMS发展面临的机遇和挑战•惯性MEMS器件•RFMEMS器件•NEMS器件和新型材料MEMS器件MEMS器件的发展惯性MEMS器件在汽车业中的应用（包括微陀螺、加速度计、压力传感器）研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术MEMS分类•OpticalMEMS•Bio-MEMS•SensorsActuators•Nano-Tools•Micro-Fluidics研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术微型传感器加速度传感器AccelerometerSensefingersAnchorProofmassSpringsSelf-testactuatorsCurlmatchingframeproofmassyxzTri-axismicrostageThin-filmz-axisaccelerometerDRIEz-axisaccelerometer微陀螺仪J.Micromech.Microeng.18(2008)115014N-CTsaiandC-YSue研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术微型执行器研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术微型电磁马达研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术ElectrostaticMotors研究生系列课程-半导体微纳加工技术研究生系列课程-半导体微纳加工技术Hydraulicactuators微镊子微型光学元件微型光学元件