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第一章引言-1-第一章引言教学要求1．掌握传感器的基本概念。2．掌握传感器的组成框图（p2，图1.1）。3．掌握传感器的静态性能和动态性能。4．了解传感器的课程性质和课程任务。5．了解传感器的分类和发展趋势。教学内容1.1传感器的发展和作用了解。1.2什么是传感器传感器定义：能够感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件和装置，通常由敏感元件和转换元件组成。顾名思义，传感器的功能是一感二传，即感受被测信息，并传送出去。根据传感器的功能要求，它一般应由三部分组成，即：敏感元件、转换元件、转换电路。1.3传感器的分类1．根据被测物理量分类速度传感器、位移传感器、加速度传感器、温度传感器、压力传感器等。2．按工作原理分类应变式、电压式、电容式、涡流式、差动变压器式等。3．按能量的传递方式分类第一章引言-2-有源的和无源的传感器。1.4传感器的性能和评价1.4.1传感器的静态特性传感器的静态特性是指传感器的输入信号不随时间变化或变化非常缓慢时，所表现出来的输出响应特性，称静态响应特性。通常用来描述静态特性的指标有：测量范围、精度、灵敏度、稳定性、非线性度、重复性、灵敏阈和分辨力、迟滞。•稳定性传感器的稳定性，一是指传感器测量输出值在一段时间内的变化，即用所谓的稳定度表示；二是指在传感器外部环境和工作条件变化时而引起输出值的变化，即用影响量来表示。•灵敏度传感器灵敏度是表示传感器的输入增量与由它引起的输出增量之间的函数关系。更确切地说，灵敏度k等于传感器输出增量与被测量增量之比，是传感器在稳态输出输入特性曲线上各点的斜率。用公式表示为：•灵敏阈与分辨力灵敏阈是指传感器能够区分出的最小读数变化量。对模拟式仪表，当输入量连续变化时，输出量只做阶梯变化，则分辨力就是输出量的每个阶梯所代表的输入量的大小。对于数字式仪表，灵敏度阈就是分辨力，即仪表指示数字值的最后一位数字所代表的值。从物理含义看，灵敏度是广义的增益，而灵敏度阈则是死区或不灵敏度。•迟滞传感器在正（输入量增大）反（输入量减小）行程中——输入特性曲线不重合的程度称为迟滞。•线性度第一章引言-3-传感器的输出——输入校准曲线与理论拟合直线之间的最大偏差与传感器满量程输出之比，称为该传感器的“非线性误差”或称“线性度”，也称“非线性度”。1.4.2传感器的动态特性动态特性是指传感器对于随时间变化的输入量的响应特性。只要输入量是时间的函数，则其输出量必将是时间的函数。研究动态特性的标准输入形式有三种，即正弦、阶跃和线性，而经常使用的是前两种。•零阶传感器动态特性指标零阶传感器，其输入量无论随时间如何变化，其输出量的幅值总是与输入量成确定的比例关系，在时间上也不滞后，幅角φ等于零。所以零阶传感器的动态特性指标就是静态特性指标。•一阶传感器动态特性指标一阶传感器动态特性指标有：静态灵敏度和时间常数τ。如果时间常数τ越小，系统的频率特性就越好。在弹簧阻尼系统中，就要求系统的阻尼系数小，而弹簧刚度要大。•二阶传感器动态特性指标二阶传感器的传递函数：频率函数为：幅频特性为：第一章引言-4-相频特性为：上面各式中：0——系统无阻尼时的固有振动角频率；k——弹簧常数；m——质量；——相对阻尼系数；C——阻尼器阻尼系数；K——静态灵敏度。由于大多数传感器均为二阶系统，所以我们要专门讨论二阶系统的阶跃响应。根据二阶系统相对阻尼系数的大小，将其二阶响应分成三种情况：既1时过阻尼；1时临界阻尼；1时欠阻尼。在一定的值下，欠阻尼系统比临界阻尼系统更快地达到稳态值；过阻尼系统反应迟钝，动作缓慢，所以一般传感器都设计成欠阻尼。一般取值为0.6~0.8。第二章应变式传感器5第二章应变式传感器教学要求1．掌握电阻应变效应的基本概念。2．掌握电桥原理与电阻应变计桥路。3．掌握应变计的静态性能和动态性能。4.掌握温度误差产生的原因及其补偿方法。4．了解应变计的分类和命名规则。5．了解应变计的应用和发展现状。教学内容2.1电阻应变效应2.1.1电阻应变效应定义：导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时，其电阻值相应发生变化，这种现象称为“应变效应”。设有一段长为l，截面积为A，电阻率为ρ的导体(如金属丝)，它具有的电阻为：lRA式中：ρ—电阻丝的电阻率；l—电阻丝的长度；A—电阻丝的截面积。2.1.2应变计的分类了解。2.1.3应变计型号命名了解。2.2应变计的主要特性第二章应变式传感器62.2.1应变计的灵敏度系数当具有初始电阻值的应变计粘贴于试件表面时，试件受力引起的表面应变，将传递给应变计的敏感栅，使其产生电阻相对变化。实验证明，在一定的应变范围内，有下列关系：RRk式中，k为电阻应变计的灵敏度系数。必须指出，应变计的灵敏系数并不等于其敏感栅整长应变丝的灵敏度系数，一般情况下，0kk。这是因为，在单向应力产生双向应变的情况下，k除受到敏感栅结构形状﹑成型工艺﹑粘结剂和基底性能的影响外，尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。应变计的灵敏度系数直接关系到应变测量的精度。因此，值通常采用从批量生产中每批抽样，在规定条件下通过实测确定，该值称为“标称灵敏度系数”。2.2.2横向效应定义：在单位应力、双向应变情况下，横向应变总是起着抵消纵向应变的作用。应变计这种既敏感纵向应变，又同时受横向应变影响而使灵敏系数及相对电阻比都减小的现象，称为横向效应。其大小用横向效应系数H(百分数)来表示，即：xK对轴向应变的灵敏度系数；yK为对横向应变的灵敏度系数。减小横向效应的方法：采用直角线栅式应变计或箔式应变计。2.2.3应变计的动态特性实验表明，机械应变波是以相同于声波的形式和速度在材料中传播的。当它依次通过一定厚度的基底、胶层(两者都很薄，可忽略不计)和栅长而为应变计所响应时，就会有时间的迟后。应变计的这种响应迟后对动态(高频)应变测量，就第二章应变式传感器7会产生误差。应变计的动态特性就是指其感受随时间变化的应变时之响应特性。2.2.4其它特性参数机械滞后实用中，由于敏感栅基底和粘结剂材料性能，或使用中的过载，过热，都会使应变计产生残余变形，导致应变计输出的不重合。这种不重合性用机械滞后(Zj)来衡量。它是指粘贴在试件上的应变计，在恒温条件下增(加载)、减(卸载)试件应变的过程中，对应同一机械应变所指示应变量(输出)之差值，见图2.1所示。通常在室温条件下，要求机械滞后Zj＜3～10με。实测中，可在测试前通过多次重复预加、卸载，来减小机械滞后产生的误差。图2.1应变计的机械滞后特性图2.2应变计的蠕变和零漂特性蠕变和零漂粘贴在试件上的应变计，在恒温恒载条件下，指示应变量随时间单向变化的特性称为蠕变。如图2.2中θ所示。当试件初始空载时，应变计示值仍会随时间变化的现象称为零漂。如图2.2中的P0所示。蠕变反映了应变计在长时间工作中对时间的稳定性，通常要求θ＜3～15μs。引起蠕变的主要原因是，制作应变计时内部产生的内应力和工作中出现的剪应力，使丝栅、基底，尤其是胶层之间产生的“滑移”所致。选用弹性模量较大的粘结剂和基底材料，适当减薄胶层和基底，并使之充分固化，有利于蠕变性能的改善。应变极限应当知道，应变计的线性(灵敏系数为常数)特性，只有在一定的应变限度范围内才能保持。当试件输入的真实应变超过某一限值时，应变计的输出特性将出现非线性。在恒温条件下，使非线性误差达到10%时的真实应变值，称为应变极限。如图2.3所示。应变极限是衡量应变计测量范围和过载能力的指标，通常要求lim8000。影响lim的主要因素及改善措施，与蠕变基本相同。第二章应变式传感器8图2.3应变计的应变极限特性2.3应变计的粘贴了解粘贴剂的选用要求，和常用粘合剂的选用原则：有机粘合剂通常用于低温﹑常温合中温，无机粘合剂用于高温。2.4电桥原理及电阻应变计桥路2.4.1直流电桥的特性方程及平衡条件电桥的供桥电源电压为，R1、R2、R3和R4为桥臂，RL为负载内阻，负载电流IL为:2.4直流电桥该方程为直流电桥的特性方程。IL＝0时电桥平衡，则平衡条件为：第二章应变式传感器9这说明要使电桥平衡，其相邻两臂电阻的比值应相等或相对两臂电阻的乘积相等。2.4.2直流电桥的电压灵敏度应变片工作时，其电阻变化很小，电桥相应输出电压也很小。要推动记录仪工作，须将输出电压放大，为此必须了解ΔR/R与电桥输出电压的关系。电桥灵敏度定义为：单臂工作应变片的电桥电压灵敏度为：式中，21RnR2.4.3交流电桥的平衡条件和电压输出Z1、Z2、Z3、Z4为复阻抗，U为交流电压源，开路输出电压为U0，根据交流电路分析（和直流电路类似）可得平衡条件为：设(i=1,2,3,4)式中、——各桥臂电阻和电抗；，——各桥臂复阻抗的模和幅角。因此，交流电桥的平衡条件必须同时满足：或2.5交流电桥2.6交流电桥分布电容的影响第二章应变式传感器10电桥的调平就是确保试件在未受载、无应变的初始条件下，应变电桥满足平衡条件(初始输出为零)。在实际的应变测量中，由于各桥臂应变计的性能参数不可能完全对称，加之应变计引出导线的分布电容（其容抗与供桥电源频率有关），严重影响着交流电桥的初始平衡和输出特性。因此，交流电桥平衡时，必须同时满足电阻和电容平衡两个条件。1324RR=RR和3241RC=RC1234R=R=R=R和12C=C2.5温度误差及其补偿2.5.1温度误差产生的原因用应变片测量时，希望其电阻只随应变而变，而不受其它因素的影响。但实际上环境温度变化时，也会引起电阻的相对变化，从而产生温度误差。应变计的温度效应及其热输出由两部分组成：前部分为热阻效应所造成；后部分为敏感栅与试件热膨胀失配所引起。在工作温度变化较大时，这种热输出干扰必须加以补偿。（1）敏感栅金属丝电阻本身随温度变化产生的温度误差000(1)tRRtRRt（2）试件材料与应变丝材料的线膨胀系数不一，使应变丝产生附加形变而造成的电阻变化。式中t——K——,st——分别为试件和敏感栅材料的线膨胀系数。第二章应变式传感器112.5.2温度补偿方法常采用温度自补偿法和桥路补偿法。温度自补偿法这种方法是通过精心选配敏感栅材料与结构参数来实现热输出补偿的。(1)单丝自补偿应变计由式可知，欲使热输出为0，只要满足条件(a)丝绕式(b)短接式双丝自补偿应变计(2)双丝自补偿应变计这种应变计的敏感栅是由电阻温度系数为一正一负的两种合金丝串接而成，如图所示。应变计电阻R由两部分电阻Ra和Rb组成，即R=Ra+Rb。当工作温度变化时，若Ra栅产生正的热输出εat与Rb栅产生负的热输出εbt，能大小相等或相近，就可达到自补偿的目的。桥路补偿法是利用电桥的和、差原理来达到补偿的目的。(1)双丝半桥式这种应变计的结构与双丝自补偿应变计雷同。不同的是，敏感栅是由同符号电阻温度系数的两种合金丝串接而成，而且栅的两部分电阻R1和R2分别接入电桥的相邻两臂上：工作栅R1接入电桥工作臂，补偿栅R2外接串接电阻RB(不敏感第二章应变式传感器12温度影响)后接入电桥补偿臂；另两臂照例接入平衡电阻R3和R4，如图所示。当温度变化时，只要电桥工作臂和补偿臂的热输出相等或相近，就能达到热补偿目的，即:双丝半桥式热补偿应变计(2)补偿块法这种方法是用两个参数相同的应变计R1、R2。R1贴在试件上，接入电桥工作臂，R2贴在与试件同材料、同环境温度，但不参与机械应变的补偿块上，接入电桥相邻臂作补偿臂(R3、R4同样为平衡电阻)，如图2.19所示。这样，补偿臂产生与工作臂相同的热输出，通过差接桥，起了补偿作用。这种方法简便，但补偿块的设置受到现场环境条件的限制。（3）热敏电阻补偿热敏电阻Rt与应变片处在相同的温度下，当应变片的灵敏度随温度升高而下降时，热敏电阻Rt的阻值下降，使电桥的输入电压随温度升高而增加，从而提高电桥的输出电压。选择分流电阻R5的值，可以使应变片灵敏度下降对电桥输出的影响得到很好的补偿。2.6电阻应变仪电学应变仪应用最广泛，它采用的电路可以是直流电桥式、交流电桥式或电位计式，应用最