第六代彩色滤光片(CF)生产线项目

国环评证甲子第1907号第六代彩色滤光片(CF)生产线项目环境影响报告书（简本）委托单位：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司编制单位：南京市环境保护科学研究院二〇一三年一月A序言本简本内容由南京市环境保护科学研究院编制，并经南京中电熊猫液晶材料科技有限公司确认同意提供给环保主管部门作为第六代彩色滤光片(CF)生产线项目环境影响评价审批受理信息公开。南京市环境保护科学研究院编制，并经南京中电熊猫液晶材料科技有限公司对简本文本内容的真实性、与环评文件全本内容的一致性负责。1一、建设项目概况1.建设项目的地点及相关背景南京中电熊猫液晶显示科技有限公司（以下简称液晶显示公司）成立于2009年9月，厂址位于南京新型显示产业园液晶谷，现已建成第六代薄膜晶体管液晶显示器件（TFT-LCD）生产线项目（以下简称G6项目）。该项目生产工艺包括液晶面板和模组，其中液晶面板主要组成包括阵列和彩色滤光片两片玻璃，缺一不可，而液晶显示公司在彩色滤光片生产方面是一个空缺。由于阵列基板玻璃尺寸的特殊性（1500×1800mm），目前公司主要的供货渠道来源于日本夏普六代线彩色滤光片工厂，但该厂产能存在缺口，严重制约液晶显示公司的正常发展。基于以上背景，南京中电熊猫液晶材料科技有限公司（以下简称液晶材料公司）于2012年8月注册成立，新公司拟投资23.31亿人民币于液晶显示公司北侧规划工业用地上建设第六代彩色滤光片（CF）生产线项目，旨在稳定彩色滤光片的来源，确保G6项目原材料供应的可靠性，有效降低彩色滤光片采购成本，加速自主研发，有效监控和提升彩色滤光片品质。目前，该项目用地申请已获南京市人民政府办公厅（宁府办文[2011]1335号）、南京市国土资源局审查通过；项目备案申请已获南京经济技术开发区管理委员会审查同意（宁开委招备字[2012]41号）。建设项目基本信息见表1.1。表1.1项目基本情况项目名称第六代彩色滤光片(CF)生产线项目建设地点南京新型显示产业园科技南路和江嵊路交汇处，南京中电熊猫液晶显示科技有限公司北侧建设性质新建工作制度年工作日数为360天，三班制生产，每班工作时间8h总投资23.31亿人民币，环保投资3760万人民币，占总投资的1.6%总占地面积71213m2，总建筑面积93301.2m2，绿化面积13215m2，绿化率18.6%员工人数厂内职工总人数250人22.建设项目主要建设内容及生产工艺（1）项目组成本项目主体工程及产品方案见表1-2。表1-2本项目主体工程及产品方案主体工程产品名称产品规格，mm生产能力年运行时数彩膜工程彩色滤光片1500×18006.0万片/月8640h本项目主要建筑物见表1-3。表1-3主要建筑物一览表序号建筑名称层数占地面积（m2)建筑面积（m2)备注1CF厂房2、344568.5392898.5内设生产区、办公区和辅助区2门卫129.16100-主要经济技术指标情况见表1-4。表1-4主要经济技术指标表序号名称单位数量（m2)备注1总用地面积m271213约104亩2总建（构）筑物占地面积m244597.593建筑密度%64.184总建筑面积m293301.25容积率-1.346道路、广场、停车场总面积m211659.237绿地面积m213214.958绿地率%18.69小车停车位辆3010大门个2本项目公用及辅助工程情况见表1-5。表1－5本项目公用及辅助工程表工程名称建设名称规模经济技术指标备注化学品仓库1间建筑面积500m2新建，位于CF厂房内1层南面贮运工程一般货物暂存间1间建筑面积500m2新建，位于CF厂房内1层南面办公室1座建筑面积800m2新建，位于CF厂房内东面冷却系统1套设计流量4800m3/h新建，位于CF厂房北面北机械室2层建筑面积3600m2新建，位于CF厂房内北面南机械室2层建筑面积3600m2新建，位于CF厂房内南面辅助生产装置及公用工程空压机房1间建筑面积800m2新建，位于CF厂房内北面3空调机房2间建筑面积1500m2新建，位于CF厂房南北机械室内大宗气体站1间建筑面积4453m2依托南侧六代线气体纯化间1间建筑面积300m2新建，位于CF厂房内北面纯水制备系统1套纯水制备能力280t/h新建，初纯水制备装置位于六代线厂区，超纯水制备装置位于CF厂房内南面自来水由管道接入2766m3/d依托园区供水管网G6项目中水由管道接入1188m3/dG6项目部分中水回用至酸性洗涤塔、碱性洗涤塔和循环冷却系统给水G6项目RO浓水由管道接入1000m3/dG6项目部分RO浓水经深浓缩处理后，回用至本项目纯水制备装置排水废水排放雨污分流5589.4m3/d处理后接管排入园区污水管网供热蒸汽-125m3/h蒸汽源：华能南京金陵发电有限公司；依托六代线厂区现有供应系统转供CF项目天然气-50m3/h气源：南京港华燃气公司；从科技南路引入供电-1.73亿kwh/a依托园区电网（2）项目工艺流程彩膜工程详细工艺流程见图1-1。4基板清洗玻璃基板玻璃清洗剂清洗废水清洗纯水涂光刻胶BM光刻胶有机废气废有机溶剂检测、曝光、编码显影纯水、显影液碱性废气废显影液高浓度有机废水低浓度有机废水烘烤清洗废水检测BM膜（黑色矩阵膜）清洗BM修补纯水清洗废水涂光刻胶Red/Green/Blue光刻胶有机废气废有机溶剂检测、曝光显影纯水、显影液烘烤检测接下页RGB修补RGB膜（彩色矩阵膜）coater清洗剂有机废气coater清洗剂有机废气碱性废气废显影液高浓度有机废水低浓度有机废水图1-1彩膜工艺流程及产污环节图5接上页清洗纯水ITO导电膜ITO靶材废靶材清洗ITOannealing清洗废水ITO膜溅射沉积清洗纯水清洗废水涂光刻胶PS光刻胶有机废气废有机溶剂检测、曝光显影纯水、显影液碱性废气废显影液高浓度有机废水低浓度有机废水烘烤检测PS修补清洗纯水清洗废水检测纯水清洗废水终检彩膜基板PS（RIB）膜coater清洗剂有机废气图1-1彩膜工艺流程及产污环节图（续）6生产过程中会有少量不合格产品（不合格率小于0.5%）。不合格产品经ITO-Rework、RGB-Rework工序剥离掉玻璃基板上化学组分后，重新进入生产线，作为原料板进行后续生产。不合格产品重制过程工艺流程及产污环节图见图1-2。不合格产品玻璃基板ITO-Rework清洗清洗清洗废水ITO-Rework刻蚀液纯水RGB-ReworkRGB-Rework剥离液清洗废水纯水检测纯水纯水酸性废气废酸酸性再生废水碱性废气废碱碱性再生废水图2-1不良产品重制工艺流程及产污环节图工艺流程说明：1）清洗与阵列玻璃的生产相同，清洗也是CF生产过程中非常重要的一道生产环节，围绕玻璃面板进行，包括有：玻璃基板的清洗，溅射涂BM黑色矩阵膜、保护层OC膜、导电ITO膜、CS膜等后的清洗，剥离时清洗等。清洗过程中产生的废水含少量SS，经简单处理后可全部回用于初纯水制备系统。72）黑色矩阵BM膜制造彩色滤光片光刻过程包括涂胶、曝光、显影。涂胶是在清洗后的玻璃基板表面均匀涂上一层光刻胶。光刻胶主要由对光与能量非常敏感的高分子聚合物和有机溶剂（稀释剂）组成，前者是光刻胶的主体，主要成份为酚醛树脂、丙二醇醚酯等，后者是光刻胶的介质，主要成份为丙二醇单甲醚乙酸酯PGMEA等。为使光刻胶牢固附着在玻璃面板表面，涂匀胶后要进行烘干，由于烘干温度较低，光刻胶中的有机溶剂挥发成为有机废气，而光刻胶中的高分子聚合物和光敏剂等作为涂层牢固地附着在基质表面。光刻胶对很窄的紫外光敏感，被光照射后发生化学变化，很容易被清洗剂去除，而没有感光的光刻胶则不会被清洗去除。曝光就是利用光刻胶的这种特性，使用光刻机、将事先设计好的电路通过掩模版以照像术透射到面板表面，使部分光刻胶得到光照，另外部分光刻胶得不到光照，从而改变光刻胶性质；显影是用显影液将感光的光刻胶去除，在光刻胶上形成了沟槽，使下面的面板暴露出来，以便于下一道工序进行刻蚀；而没有感光的光刻胶则不会被清洗下来，从而在玻璃基板上形成不透光的黑色树脂矩阵。由于光刻胶使用后纯度难以满足工艺要求，本项目设有光刻胶废液回收系统，将其通过管道系统回收到废液间，光刻胶废液最终再外委托给具有处理资质的其他单位回收处置，减轻了有机废水处理负荷。高浓度的显影液则通过工艺设备自带的回收系统将其重复回用，大大减少了物料消耗，在生产过程中从源头有效地减少了废水、污染物的排放量。在光刻过程中将会产生有机废气、有机废水、有机废液等。3）彩色矩阵膜形成（RGB（红、绿、蓝））彩色矩阵RGB涂布成像的流程与通常芯片加工的光刻（涂胶、曝光和显影）、剥离相同，只是使用的光刻胶分别掺加有红\绿\蓝三色8颜料。在光刻过程中将会产生有机废气、有机废液等。4）OC保护膜生成完成彩色矩阵RGB涂布成像的彩膜玻璃需要在其表面生成一层保护膜（OverCoating），其工艺过程与通常芯片加工的光刻（涂胶、曝光和显影）、剥离相同。在光刻过程中将会产生有机废气、有机废水、有机废液等。5）溅镀ITO氧化铟锡膜因为CF也作为TFT-LCD面板的另一个共通电极，其最上层为一层铟锡氧化物ITO导电层。因此，在完成保护膜制作后，在RGB光阻层及保护膜层上方，还需要溅镀一层透明的导电层。采用的溅射材料为ITO（铟锡合金，In2O3/SnO2）靶材。在ITO靶材溅射工序后，ITO金属靶材大部分溅镀在玻璃基板表面进入产品，仅有少量剩余的金属靶材料头作为固体废物交由原生产工厂回收。6）MVA膜、PS（PhotoSpacer）层生成完成ITO膜制作的彩膜玻璃还需要在其表面生成一层MVA膜（提高广视角能力）、PS膜，其工艺过程与通常芯片加工的光刻（涂胶、曝光和显影）、剥离相同，只是使用的光刻胶类型有所不同。此过程中会产生有机废气、有机废水、有机废液。7）不良产品重制过程本项目采用凸版成熟的生产工艺，生产过程中产品不合率低于0.5%。不合格产品首先经ITO-Rework重制工序剥离掉表面的酚醛树脂、萘醌氨苯蝶啶和ITO膜，此过程有酸性废气（HCL）、酸性刻蚀液和酸性再生废水产生。剥掉表层物质的不良基板再经过RGB-Rework工序，进一步剥离掉其余附着的化学物质。此过程有碱性废气、碱性剥离液、碱性再生废水产生。93.产业政策相符性对照《产业结构调整指导目录（2011年本）》，本项目属于第一类鼓励类中的，第二十八项“信息产业”中的，第27条“薄膜场效应晶体管LCD（TFT-LCD）、等离子显示屏（PDP）、有机发光二极管（OLED）、激光显示、3D显示等新型平板显示器件及关键部件。对照《江苏省工业结构调整指导目录》（苏政办发[2006]140号），本项目属于鼓励类第一项目“信息产业类”第29款：新型显示器件、中高分辨率彩色显像管/显示管及玻壳制造及技术开发项目。因此，本项目建设符合国家、江苏省当前的产业政策。4.规划相符性（1）与国家发展规划相符性国家为克服全球经济危机，于2009年4月颁布的《电子信息产业调整和振兴规划》明确规定：突破新型显示产业发展瓶颈。统筹规划、合理布局，以面板生产为重点，完善新型显示产业体系。国家安排引导资金和企业资本市场筹资相结合，拓宽融资渠道，增强企业创新发展能力。成熟技术的产业化与前瞻性技术研究开发并举，逐步掌握显示产业发展主动权。充分利用全球产业资源，重点加强海峡两岸产业合作，努力在新型显示面板生产、整机模组一体化设计、玻璃基板制造等领域实现关键技术突破。党的十七大明确指出：“发展现代产业体系，大力推进信息化与工业化融合，促进工业由大变强，振兴装备制造业；提升高新技术产业，发展信息、生物、新材料、航空航天、海洋等产业”。这是在新的历史条件和时代进步背景下，加快我国信息技术发展的重大战略部署。2010年10月18日中国共产党第十七届中央委员会第五次全体会议通过《中共中央关于制定国民经济和社会发展第十二个五年规划的建议》指出：发展现代产业体系，提高产业核心竞争力。国务院以国发(2010)32号文颁布《国务院关于加快培育和发展10战略性新兴产业的决定》，要求抓住机遇，加快培育和发展战略性新