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A-SiO2METALOGGlassB-SiO2ShieldingITOY-ITOY-ITOX-ITOITO绝缘材料OG金属METALSITO结构示意图A-SiO2METALX-ITO、Y-ITO、OGGlassB-SiO2ShieldingITO镀膜前清洗（ITO）A镀A面SiO2&ITO中间水洗（ITO）PR涂布（ITO）PR固烤（ITO）曝光（ITO）显影固烤（ITO）中间水洗（OG）蚀刻剥膜（ITO）曝光（OG）预烤（OG）SLIT/SPIN（OG）HMDS（OG）显影（OG）烤箱（OG）镀膜前清洗（METAL）镀A面METAL中间水洗（METAL）预烤（METAL）SLIT/SPIN（METAL）蚀刻剥膜（METAL）固烤（METAL）曝光（METAL）显影（METAL）镀膜前清洗（ITO）B镀A面SiO2镀膜前清洗（SiO2）A镀B面ITO镀膜前清洗（SiO2）B镀B面SiO2外观检查网印前水洗A面可剥胶网印烤箱（可剥胶）B面可剥胶网印烤箱（可剥胶）仿形切割裂片清洗清洗外观检查电测出货出货检查FLOWCHART1F2F1000级2F100级ITO完成图形OG完成图形METAL完成图形镀膜DC,AC,MF,RFPOWER●溅镀原理：如上图所示，在一真空腔体内，将靶材接阴极，而基板接正极或接地，并导入Ar气体，当两极间加入一高电压时，其Ar会解离成Ar+和e-(其Ar+和e-的等离子体谓之电浆)，而Ar+会冲向阴极之靶材，并将靶材的原子冲撞出来，而后被冲撞出的原子会落在基板上堆积形成薄膜。TARGET后装永久磁石或可动式磁石，作用为在TARGET表面行成强大磁场，可以大幅提高表面电浆离子化程度。蚀刻(Etching)显影(Developing)玻璃(Glass)镀ITO(Sputter)涂布光阻(Coating)曝光(Exposure)剥膜(Striping)ITO制程(正型光阻)需要“播放”此页观看动画效果绝缘层OG(正型光阻)ITO完成玻璃(Glass)涂布OG光阻(Coating)曝光(Exposure)显影(Developing)需要“播放”此页观看动画效果蚀刻(Etching)显影(Developing)OG完成玻璃(Glass)金属镀膜(Sputter)涂布光阻(Coating)曝光(Exposure)剥膜(Striping)金属制程(正型光阻)需要“播放”此页观看动画效果网印可剥胶可剥胶切割切割线仿形仿出所需外形中国触摸屏网（)10中国触摸屏网——无“触”不在您下载的该触摸屏技术文档来自于中国触摸屏网()WhatyouaredownloadingarefromChinaTouchscreenSite:()中国触摸屏网四大版块：•触摸屏论坛：•触摸屏供求商机：•招聘/找工作求职：•触摸屏行业杂志：触摸屏论坛：中国触摸屏网论坛是触控面板人讨论触摸屏技术，解决触摸屏技术问题，发布触摸屏产品供求信息，了解触摸屏市场动态，触摸屏厂商招聘和找工作求职的第一平台。2.触摸屏供求商机：免费发布触摸屏相关产品：触控面板、触摸屏材料、触摸屏设备、触摸屏一体机、人机界面、大屏幕显示器、广告机、金融自助设备、薄膜开关、电子显示屏等3.招聘/找工作求职：触摸屏厂商招聘和触摸屏行业人才找工作求职，招聘/找工作效果好！4.触摸屏杂志：《触动中国》电子杂志聚焦触控面板行业资讯、追踪技术潮流和市场趋势。