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产品目录开发背景A01EJA特点A02EJA工作原理A03EJA优良特性A04EJA110A差压变送器1EJA120A微差压变送器13EJA130A高静压差压变送器23EJA210A220A、法兰安装式差压变送器33EJA310A绝对压力变送器45EJA430A压力变送器55EJA440A高压力变送器67EJA510A绝对压力变送器77EJA530A压力变送器8797115129139139147149155153139GS01C22T02-00CYEJAHART系列通讯变送器EJA118WNY、、隔膜密封式差压变送器EJA438WN、隔膜密封式压力变送器EJA115微小流量变送器EJA213223、卫生型液位变送器EJA113W卫生型隔膜密封式差压变送器EJA433W卫生型隔膜密封式压力变送器PROFIBUS现场总线通讯EJAFF系列现场总线通讯GS01C21B01-00CYGS01C21B03-00CYGS01C21B04-00CYGS01C21C01-00CYGS01C21D01-00CYGS01C21E01-00CYGS01C21E02-00CYGS01C21F01-00CYGS01C22H01-00CYGS01C22J03-00CYGS01C22K01-00CYGS01C22M01-00CYGS01C22M01-00CYGS01C22M01-00CYGS01C22T03-00CYGS61AYHC-01CYGS01C22T01-00CYGS01C21F01-02CY159FieldMate通用设备管理工具GS01R01A01-01CY165BT200手持智能终端GS01C0A11-00CY169三阀组YHC4100便携式HART通讯器RDPharpEJDifferen-差压压力变送器（AtialPressure/Pressurehighaccuracyreso-nantsensorpressuretransmitter）是由日本横河电机株式会社于年最新开发的高性94能智能式差压、压力变送器，采用了世界上最先进的单晶硅谐振式传感器技术，自投放市场以来，以其优良的性能受到客户好评。EJA在变送器基础上实现了以下设计DPharpEJA目标：1.除保证高精度外，传感器自身消除了静压、温度等变化产生的。2.可长期连续使用的高可靠性。3.小型、轻量，使其不受安装场所的限制，可自由安装。4.采用微型计算机技术，具有完整的自诊断功能和通讯功能。5.能保持零点的长期稳定性，提高了维护效率。开发背景DPharpEJA变送器的开发获得了日本产业社会最高奖——大河内纪念奖和由桥本龙太郎颁发的优质产品奖，并通过了美国、英国、法国、德国、俄罗斯、中国等先进国家的多种安全认证。重庆横河川仪有限公司生产的保证了与日本横河电机产品同一品质，深得用户好评，获得了进入、、机组的认证；石油、化工等行业的认证书。EJA200MW300MW600MWDpharpEJA***A系列智能变送器具有完整的规格型号，能满足客户高压力、高温、高静压、高精度等需要。A01A02■EJA特点●●●●●●●●●●●●■单晶硅谐振式传感器采用微电子机械加工高新技术(MEMS)传感器直接输出频率信号，简化与数字系统的接口高精度，一般为％0.065高稳定性和高可靠性连续万次过压试验后10量≤％0.03/16MPa连续工作五年不需调校零点BRAIN/HART/FF/PROFIBUS现场总线四种通讯协议完善的自诊断及远程设定通讯功能可无需三阀组而直接安装使用基本品的接液膜片材质为：哈氏合金-C276外部零点/量程调校H由单晶硅谐振式传感器上的两个形的振动单晶硅谐振式传感器特性修正存贮器膜盒组件智能电器转换部件p(p)△420mADC～及数字信号D/AModem内置存贮器微处理器手持智能终端（）BT200图1EJA智能变送器工作原理图工作原理梁分别将差压、压力信号转换为频率信号，送到脉冲计数器，再将两频率之差直接传递到（微处理CPU器）进行数据处理，经转换器转换为与输入信D/A号相对应的～的输出信号，并在模拟信420mADC号上叠加一个数字信号进行通信。BRAIN/HART膜盒组件中内置的特性修正存贮器存贮传感器的环境温度、静压及输入输出特性修正数据，经/CPU运算，可使变送器获得优良的温度特性和静压特性及输入输出特性。/通过口与外部设备（如手持智能终端I/OBT200275DCSI/O或以及中的带通信功能的卡）以数字通信方式传递数据，即高频2.4kHz(BRAIN协议或（协议）数字信号叠加在)1.2kHzHART4~20mA4~的信号线上。在进行通讯时，频率信号20mA的信号不产生任何扰动。⊙结构原理图为单晶硅谐振传感器的核心部分，即在一2单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术（），MEMS分别在其表面的中心和边缘作成两个形状、大小完全一致的形状的谐振梁，且处于微型真空腔中，H使其既不与充灌液接触，又确保振动时不受空气阻尼的。两个谐振梁单晶硅谐振器呈H形图2硅谐振梁的结构⊙谐振梁振动原理图所示，硅谐振梁处于由永久磁铁提供的磁3场中，与变压器、放大器等组成一正反馈回路，让谐振梁在回路中产生振荡。硅片振动子磁场永久磁石励振电流电动势输出图3磁场硅谐振器的自激振荡⊙受力情况当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变，中心处受到压缩力，边缘处受到张力，因而两个形状谐振梁分别感受不同应变作H频率()kHzkHz拉伸应力压缩应力差压（）mmHO2100959085805,00010,000图4由差压形成的谐振器的频率变化硅片谐振梁1用，其结果是中心谐振梁因受压缩力而频率减少，边侧谐振梁因受张力而频率增加，即两个频率之差对应不同的压力信号如图)。(4EJA优良性能优良的温度特性如图所示数据是随着环境温度的变化观测到5的零点和满度的，变化可以看出，具有很好的温度特性。温度变化为什么对没有呢？这是由传EJA感器的固有结构决定的。如图所示，为输入差压与频率的关系，在正常6温度时，谐振片的频率如图中实线所示，边侧谐振片的频率()随着压力的增加而上升，中心谐振片的fr频率()随着压力增加而减少。fc当温度上升，由于边侧谐振梁和中心谐振梁形状、尺寸完全一致，故在相同的温度状态下，变化量一致。图中虚线表示高温时的频率特性，在同一温度状态下相同比率变化，由于需要的是频率之差，故变化量相互抵消，因此自动清除误差的。可通过以下关系式得知：常温时的输出高温时的输出优良的静压特性图7所示为膜盒受静压后的零点变化，分别承受、、的静压后，零点几乎无变化，50100150kgf/cm2具有很好的静压特性。为什么静压对的输出无呢？这也是由EJA传感器的固有结构决定的。如图8所示为输入压力与传感器频率的关系，■⊙A03零点量程误差（%）误差（%）温度℃()图5温度量程：，10000mmHO20.20.10-0.10.20.10-0.1-0.2-50050100Iout(0)：Iout(t)：Iout(0)Iout(t)=fr-fc=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)△△△△△△∵∴fr=fcIout(t)=Iout(0)△△量程：10000mmHO，2误差（%）0.20.10-0.1-0.2050100150静压(kg/cm)2图7静压输入压力图8输入压力与谐振频率的关系图6输入压力与谐振频率谐振频率1201009060-10-9-8-7-6-5-4-3-2-1012345678910frfc高温时fr输入压力谐振频率室温时fr室温时fc高温时fc1201009060-10-9-8-7-6-5-4-3-2-1012345678910frfc高压下fr大气压下fr大气压下fc高压下fc⊙2()当有单向压力作用时，接液隔离膜片内侧的硅油向中心膜片移动，硅油传递压力到硅谐振传感器，压力增大到某一数值时，接液(隔离)膜片与本体图中实线表示在大气压下频率的变化，边缘谐振片频率(fr)随着压力的增加而增大，而中心谐振片的频率随着压力的增加而减少。(fc)当加有静压(工作压力)时，由于两谐振片和形状、尺寸完全一致且又处于同一场所，故频率的变化量(减少)一样(如图中虚线所示)。因需检测两频率之差，所以两频率的变化量相互抵销。从以下关系式可知：在大气压下的输出加静压时的输出优良的单向过压特性图、图所示为在过压下作持续91014MPa对的高低压侧反复施加万次的实验后对零EJA10点的和过大压后的长期稳定性，可以看(Zero)出前后几乎没有发生变化。因此，具有非常优秀的单向过压性能。EJAEJA为什么有优秀的单向过压性能呢？这是由传感器的结构决定的。完全接触在一起，此时，外部压力不管怎样增大，硅油的压力不会增大(如图11)，因此，硅谐振传感器受到一定的压力后就不会再受到更大的压力，有很好的保护能力，即使受到了一定力的作用，由于单晶硅材料的恢复性能特别好，故也能完全恢复而无误差。电容式传感器的中心膜片既起隔离作用，同时又起测量作用，当有过大压力作用其上时，中心膜片变形，去掉压力后，由于金属固有的滞后性，不能完全恢复从而有误差。过压输入压力优良的单向过压特性图11单向过压HLHLHHLL16141210864200123456789101112131415Iout(0)：Iout(P)：Iout(0)Iout(P)=fr-fc=(fr-fr)-(fc-fc)=(fr-fc)-(fr-fc)=Iout(0)-(fr-fc)△△△△△△∵∴△△fr=fcIout(P)=Iout(0)+0.1-0.1膜盒：M量程：静压：1000mmHO140kgf/cm22误差％()图9过压引起的零点漂移膜盒：M量程：静压：1000mmHO140kgf/cm22误差％()+0.1-0.1204060801001201000回图10对于过压的长期稳定性A04硅油所受压力密封膜片受压力⊙3GeneralSpecificationsEJA110A一般规格书差压变送器[0.0150.05X]％X取值：XkPainH2O{}312{}1040{}100400{}1.4MPa00psi{2}LMHV≥50%参考精度50平方根输出(%)总量℃/28(50F)o＋横河川仪有限公司YOKOGAWASICHUAN◆LMHV*1功能规格量程/范围量程范围量程范围量程范围量程范围0.5~1010~101~100100~1005~500500~5000.14~14MPa0.5~14MPa2~4040~404~400400~40020~20002000~200020~2000psi71~2000psi5~100100~10010~10001000~100050~50005000~50001.4~140bar5~140bar50~10001000~1000100~10001000~10000.05~5kgf/cm25~5kgf/cm21.4~140kgf/cm25~140kgf/cm2*1:S0~14MPa0~2000psi0~140bar若接液部分材质非“”，则测量范围为，，和0~140kgf/cm2L膜盒量程量程上限[0.02%+0.052%]/3.4MPa{500psi}MHV、和膜盒量程上限0.028%/6.9MPa{1000psi}过压、和膜盒(MHV)量程上限0.03%/16MPa{2300psi}稳定性量程上限个月（、和膜盒）0.1%/60MHV，Ω0.005%/V(21.6V~32VDC350)kPainHO(/D1)2mbar(/D3)mmHO(/D4)2GS01C21B01CY-00L膜盒量程量程上限[0.1%+0.028%]/6.9MPa{1000psi}R量程上限个月（膜盒）0.2%/12L调零在膜盒量程的上下限范围内零点可任意调整,外部调零“”在测量范围内可连续调零分辨率为，用表头上的范围设定开关调校量程。,0.01%电源“”零点（可进行压力在线校正）带“”符号的FF现场总线型参考GS01C22T02-