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透射电镜常见问题的处理与日常维护制作人：东方捷欧技术服务站-马宁警告涉及带电的部分，请由有相关专业知识的人士处理，以防触电，发生意外！！！•第一章：透射电镜常见问题的处理•第二章：透射电镜的日常维护•第三章：拍照时的注意事项•第四章：场发射电镜使用注意事项第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它一、灯丝的更换1、灯丝烧断的判断•确认高压加上——如果是由于HTREADY灯不亮造成高压加不上请检查：1、LENS电源是否打开；2、检查电子枪隔离阀V1是否打开；3、检查电子枪绝缘气体压力是否不足-小于2.8kg/cm2（详细方法见后面的高压绝缘气体的补充）。•确认FIL按键灯是亮的——如果是由于FILREADY灯不亮造成加不上灯丝请检查：1、照相室隔离阀V2已打开；2、样品杆是否已插入镜筒；•确认FILAMENT钮在正常的饱和位置。•FILON后束流没有——将BIAS升到9-9后束流依然没有变化，此时可以判定灯丝烧断。2、准备工作物品准备：包括一次性手套，牙签，棉花，吹气球，抛光膏，锡箔纸，滤纸，纱布，无水酒精，超声波清洗机，大小合适的干净烧杯（用酒精清洗），红外灯，更换灯丝所用的专用工具，1.5mm的六方扳手，新灯丝，高压绝缘硅脂，不掉毛的硅纸，黄色的真空脂APIZON。外部清洁准备•用酒精清洗电子枪外部，并用酒精清洗放电棒。•确认氮气打开。冷却等待•确认灯丝烧断1-2小时后再进行下步操作。当灯丝刚烧断后，栅极帽的表面温度会很高，如此时操作，塑料手套会被烫化，手会被烫伤，所以一定要等温度降下后再进行下步操作！！！3、升电子枪取灯丝升起前请将屋内的空调、风扇以及房门关上，并减少人员走动避免扬尘将左控2的GUNAIR开关ON，同时将GUNLIFT开关ON5分钟后电子枪升起用手将电子枪向左端推到推不动为止。逆时针拧下外套将灯丝座向下拔下将取下的部件放在干净的铝箔或滤纸上，并将电子枪落回抽真空以减少暴大气时间。将固定灯丝用的3个螺钉退到内壁中后将旧灯丝取下。4、清洗栅极帽•此步为整个更换灯丝过程中最为艰苦的也是决定此帽下次再使用可靠性的关键一步，栅极帽的抛光过程不会少于1小时。将灯丝座放入灯丝专用工具中后拧下栅极帽取下栅极帽清洗栅极帽，用棉签蘸抛光膏，主要对中间的孔进行抛光，以及对周围和表面烧黑的部分进行抛光处理，未污染具有金属本身光泽的部分无须处理，勿将抛光膏弄进螺纹部分，因为即使超声也不易将其去除干净。用酒精棉反复将栅极帽上的抛光膏擦拭干净后再对其进行超声清洗，每次10分钟，共3次，每次都要更换新酒精或丙酮，酒精的液面要超过被清洗的物品清洗完后，将栅极帽等放在红外灯或日光灯下烤干，一般灯丝座不做抛光处理，外套没有放电痕迹的话也无须处理。5、新灯丝安装先清洁换灯丝专用工具-其它器件组装前也要同样处理将新灯丝开包待用-在打开装灯丝的内包装小瓶前请先透过外部观察灯丝有无变形等异常情况，如有不要开封，寄回厂家更换。将灯丝座放在专用工具中无刻度的部分用手先将栅极帽拧上半圈将有刻度部分的专用工具扣上后再倒过来最后将无刻度部分取下并放在有刻度部分的下方，由于无刻度部分有很大的孔洞，就可以倒置后放在桌面上，使得清洁后的栅极帽不会与其它物品相接触造成污染。将灯丝装入灯丝座-为了稳当可直接用手捏住后面的柱放入，随后用酒精清洁即可。放入后一定要检查灯丝完全到底放平先调节3个固定灯丝用的螺钉都与灯丝装置的表面轻轻接触上后，再均匀拧紧，无须用太大的力6、灯丝高度调节先检查灯丝是否基本在孔的中心位置，如偏离较多需要通过灯丝本身上的三个对中螺钉进行调节，一般不调。再将灯丝尖调成与栅极帽的孔为同一平面后，将灯丝降低0.65~0.70mm，一圈为0.50mm，可借助电镜本身的目镜来调节7、将灯丝装回电子枪将电子枪再次升起，并推到最左端。将调节好的灯丝装置放在有刻度的工具上将灯丝装置装回电子枪拧上外套，一定要很顺畅的拧上，否则退回重拧。在红色的绝缘子上均匀涂抹高压绝缘硅脂，红色部分以外的用沾有酒精的硅纸擦净。同时检查橡皮圈有无异物，此处所需涂抹的真空脂为黄色的APIZON。用手将枪向右侧推到推不动为止，将GUNLIFT开关拉下使枪落回将GUNAIR开关拉下开始抽真空•将显示屏设在P3页，观察真空系统图，确认真空转换正常。•抽气时间最好是经过一个晚上后再做下步。8、新灯丝去气•通过键盘敲击HTOKV，将高压设为零千伏。•将Filament钮逆时针旋转到底。•LENSON•HTON•BIAS设为9-9•确认样品斗已插入镜筒•FILON•将Filament钮顺时针转到刻度3后等10分钟。•以后以每5分钟的速度缓慢的转到下一刻度，并在每刻度停留10分钟，直到上次的饱和点。•最后等10分钟后（此时束流表上应有几μA的电流），直接将FILOFF。9、加高压•此次加高压要较平时慢一些•起始电压从80KV•最好用手动——以便在暗电流突然升高时能及时降下高压。•步长为1KV——每加一步都要注意暗电流的变化是否正常，如高出正常值应在此处稍做停歇并通过手动将高压反复升降升降，直到稳定后再继续升高压（200KV时的暗电流值为102μA左右）。10、调灯丝饱和点•找电子束——不带样品，低倍，TEM1-3模式，撤出所有光阑。•电子枪对中——灯丝像调整。•调饱和点——灯丝像刚好消失的位置。一般在稍微欠饱和的位置使用，以延长灯丝寿命。11、灯丝更换小结•栅极帽的清洗——一定要彻底，以免引起放电，造成电子束抖动。•灯丝的安装以及高度调节——要正确，保障灯丝的使用性能，如果得到正常的束流时BIAS小于3-1代表灯丝装的太低了，如果大于5-9代表灯丝装的太高了，需再次调节。•灯丝去气——不能省略，以防脏东西烧结引起电子束抖动。•饱和点的设置——要适当，以得到更长的使用寿命。•每次新灯丝合轴后请用UFC功能在X40K时保存当时的数据，以便在电子束找不到，或其它偏转数据被调的太乱后进行恢复，以后也最好每月做一次备份。•最好有一套备用栅极帽——以缩短更换时间。第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它二，主机无法启动或突然停机•检查主机相关电源是否都打开——配电盘上的开关，稳压电源上的开关并检查输入输出电压（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）是否正确，主机上的开关2011主机电源开关位置.jpg。•空压机压力不足。•RP不转或RP皮带断线。•DP电炉断线。•循环水工作不正常。•PIRANI规断线。第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它三、空压机常见故障•空压机本身不启动——检查空压机上的开关是否在ON的位置；检查保险是否烧断（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）。•空压机本身压力正确，但电镜侧压力不正常——检查空压机上的手动阀门是否打开；以及气管是否堵塞。•空压机频繁启动——首先通过关闭空压机上的手动阀门来判断是空压机本身漏气还是输出气路漏气。再有一点是增加了附属设备后造成漏气。第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它四、RP常见故障•启动主机RP一点都不转——（1）确认主机电源打开；（2）检查ACPB上的F105A保险（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）2011ACPB位置.jpg。•主机启动后RP马上停转、主机停机——RP皮带断线或皮带打滑，需更换皮带（见后面的RP皮带更换方法）。电镜主机RP皮带的更换拆下侧盖拧下从动轮固定螺钉用两个M8的长螺钉将从动轮顶出取下从动轮更换新皮带后固定从动轮如需要可进行皮带松紧调节第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它五、DP常见故障•DP断线——更换导线或电炉（见后面的更换方法）•DP没有输入电压——检查ACPB上的F810A保险（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）•DP上的冷却水管出汗——环境温度太高，湿度太大、水温设的过低（正常水温设置在18~20摄氏度）造成。DP加热电炉的更换•通过测量电阻值来判断电炉是否断线，正常阻值应为66欧姆左右（200V600W的DP电炉）•通常易断的部分为电炉上的两根导线。1，将电源插座拔除，测量接线柱之间的电阻值2，如断线或短路，冷却后拧下螺母3，取下电炉装置4，取下电炉外罩5，更换导线，或电炉第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它六、循环水常见问题•面板指示灯不亮——检查输入电源开关以及输入电压（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）•电镜开机后循环水不启动——检查信号线是否从主机脱落。控制线插头.jpg•外电路改造后循环水不启动——相线接反，任意两相交换（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）。•循环水不启动——水位过低。•外界温度过高或过低——循环水不启动。•水温上升膨胀阀结冰——膨胀阀坏。第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它七、卡底片的原因及处理•底片尺寸不合适•底片安装不正确•底片夹变形•底片盒安装不正确1，卡底片后打开照相室门，如果装底片的抽屉拉不动，可通过拇指反复按压左下角的凸起部分（红箭头所指部分），直到抽屉可以拉出，将被卡的底片取出。2，将照相室左侧的小门打开3，将保险取出4，将上部的横梁往怀里拉到拉不动为止。5，将保险放回，照相驱动机构将自动复位第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它八、LENS打不开或跳掉•LENS的空气开关跳闸（位置见后图）•LENS的相关保险烧断——检查PSUNIT中的F1、F2保险（位置见后图）（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）•LENS温度过高——检查相关水路是否畅通。LENS空开及相关保险F1、F2位置第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它九、JEE-420常见问题•无法开机——检查相关电源开关，以及输入电压。（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）•开机后停机——水压不足。•DP断线——参见前面关于DP电炉更换方法。•RP断线、皮带打滑——更换RP皮带。•无加热电流——保险烧断，更换方法见后。（涉电危险，请有相关专业知识的人士处理）控制电极加热保险丝的位置第一章透射电镜常见问题的处理•灯丝的更换•主机无法启动或突然停机•空压机常见故障•RP常见故障•DP常见故障•循环水常见问题•卡底片的原因及处理•LENS打不开或跳掉•JEE-420常见问题•其它十、其它•面板上的功能不起作用或屏幕显示乱码——原因大多是死机造成。处理方法：1、关掉灯丝与高压后按左控2上的RESET。2、关机后再开机。•放大倍数无显示或显示不正确——一般会在突然停机或死机后发生，输入命令P/P后一直敲回车就