王振龙 赵万生 李文卓(哈尔滨工业大学) 结合国内外电火花加工技术的最新进展,系统地综述了电火花加工技术的发展趋势与工艺进展。作为一种实用的加工技术,电火花加工技术仍大有可为,在我国应继续加大力度进行研究。 电火花加工 发展趋势 工艺进展1 (EDM),。,6%[1]。,,。,。,,。,,。,,EDM、,、;,。。,、。,EDM[2]。2 :(1) ,。。。(2) ,,、,,。(3) 。IGBT,FPGA、DSP,、,EDM。(4) 。,、,。(5) 、、、。(6) ,,,。3 ,。3.1 2060。PhilipsDsenbruggen综 述·8 ·《》 2001730μm,0.5μm。80,MEMS,,(WEDG),,,。WEDG。,WEDG。WEDG,2.5μm5μm,。,WEDG,、、。,。,。。WEDG,。,,10%。,。,,。90,,,。,。1996,()、1.2mm、0.2mm0.1mm、270μm。,19977,、,0.5mm、0.2mm、0.2mm。1997,300μm、50μm5μm、150μm。1999,150μm、2.5μm,。3.2 ,(),、、。、、。,。[3、4]。,,,,。,,。1a,1b。(a) (b)1 [4、5]3.3 ,、“”,。,,。80,综 述《》 20017·9 ·、,,,。。,Si、Al、Ni,:,,,;,,,;,,。,EDM。,。,100mm×100mm,Ra0.107μm。3.4 ,。,。,。,,。()。2。(),,。3.5 ,10000℃。,,。[5、6]。,SiCr13SUS304,WC_CoTi,,。[7、8]。2 EDM1. 2. 3. 4.J.SimaoSparkTechEI-Menshawy(EDT)[9]。,EDTRa,,(、、)Ra;,Ra0.5~10μm;EDT,;,,,EDT,。,,,。,。3.6 “”。,,[10]。,80,(),。综 述·10 ·《》 20017[11]。。,,,。,,。,,。,,,。,,。,,。,,CAD/CAM、、。,,、()(),。,,。,,。1 .のと.の,1999,51(6)2 .,2000(1)3 M.Kunieda,M.Yoshida.ElectricalDischargeMachininginGas.AnnalsoftheCIRP1997,46(1):143~1464 ,..,1998,64(12)5 N.Saito,N.Mohri,T.Takawashi,T.Magara,A.Goto,K.Watanabe,M.Suzuki.ConductiveCeramicsCoatingTechnologyUsingEDMonMetalSurface(SurfaceModificationbyMeansofElectricalDischargeMachining).ISEM-XII,1997:455~4636 ,..,1998,64(12)7 T.Tamura.SurfaceModificationofCementedCarbidesMachinedbyEDMUsingOxidizingTreatment.ISEM-XII,1997:485~4928 H.Minami,K.Masui,H.Tsukahara,H.Hagio.ColoringMethodofTita-niumAlloyusingEDMProcess.ISEM-XII,1997:503~5129 M.Simao,DavidK.Aspinwall,MikeL.H.Wise.Electricaldischargetex-turingofcoldmillworkrollsusingdifferenttoolelectrodematerials.IronandSteelEngineer,1996(3):42~4710 ..,1999,1111 ..,1995(4)第一作者:王振龙,哈尔滨工业大学(本部)421信箱,150001,电话:(0451)4616323(编辑 罗冬梅) (:2000-10-29) 综 述《》 20017·11 ·