版本更改内容生效日期A/02010-7-15编制/日期:审核/日期:批准/日期:会签记录:部门会签状态部门会签状态分发单位:■检测中心文件控制印章1.目的:为公司产品在设计、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持,从整体上提高公司静电防护和控制水平,提高客户的满意度。2.适用范围本文适用于本公司的防静电控制。本文中的各项要求适用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊要求时,采用客户要求。3.职责3.1各部门主管负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。3.2质检部负责根据本程序要求实施防静电用具的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存,监督公司的防静电措施要求和标准的执行状况。3.3工程技术部负责制定公司的防静电措施要求和标准。4.目录:4.1静电敏感区域的界定。4.2静电敏感区域的工程环境防静电规范。4.3静电敏感区域的人员防静电规范。4.4静电敏感区域的防静电操作方法规范。4.5静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。4.6常用的检测方法。4.7静电防护作业管理指导。4.8附录A-------ESD相关术语。4.9附录B-------常用的防静电标志。4.10附录C-------部分静电敏感器件的静电敏感电压。4.11附录D------引用的标准及参考文献。4.12附录E------相关记录。4.13附录F------版本修订历史记录。5.静电敏感区域的界定:5.1静电敏感区域确定:5.1.1ESD敏感器件的生产区域------生产线等。5.1.2ESD敏感器件的前加工区域------前加工房。5.1.3ESD敏感器件的贮存区域------库房和在线库。5.1.4ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。5.1.5ESD敏感器件的老化区域------老化房。5.2公司的静电敏感器件:5.2.1MOS器件、MOS管、FET器件、场效应管、TTL器件、、AMP放大器、比较器、调节器、存储体器件和记忆体器件(如PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等)、CPU微处理器及各种BGA器件等集成电路。5.2.2各种二极管、三极管、各种半导体开关元件。5.2.3各种厚膜和薄膜电阻,钽电解电容。5.2.4SAW—声表面波器件。5.2.5石英、晶振体器件。5.2.6以上元器件组装的PCBA板。5.3静电敏感区域的标识:5.3.1静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识,线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是专门用来标识静电敏感区的区域界限的,不可作为其它标识用。5.3.2从静电敏感区域的入口处开始,在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB1649图A图C黄黑相间的斜条纹静电敏感区域警示标志图B防静电标志5.3.3的规定。如图A:防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运输车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:5.3.4经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:5.3.5含有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。5.3.6设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条要求。5.3.7整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条要求。5.3.8交付文件标志应符合GJB1649中第5.9.1条要求。6.静电敏感区域的工程环境防静电规范6.1防静电工程环境的设计原则:设计防静电工程环境时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:6.1.1抑制静电荷的积累和静电压的产生6.1.2安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷6.1.3防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。6.1.4防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。6.1.5在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:表一类别电荷源工作台表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等6.2防静电工程环境的要求:6.2.1环境的温度和湿度要求:温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥,应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求,但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求:1)对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。2)有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。3)遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。4)发现温度、湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。5)每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。6.2.2地板的防静电要求:为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地,除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外,其先决条件是地板必须具有一定的导电性能,即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电,也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高,难以泄放人体、工装、设备上的静电。表二为各种地板的泄漏电阻:(单位:Ω)表二地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104~109沥青1011~1013混凝土105~1010聚氯乙烯(贴面)1012~1015一般涂刷地面109~1012导电性水磨石105~107橡胶109~1013导电性橡胶104~108木、木胶合板1010~1013导电性聚氯乙烯107~10111)当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板。表面电阻及系统电阻均为1×105Ω~1×109Ω。2)当采用架空布线方式时,应采用静电耗散材料做为铺垫材料。铺设后地板上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值均为1×105Ω~1×109Ω。3)如果静电敏感区域内的地板是普通地板,则应在普通地板上铺设防静电地垫并要有效接地铺设后地垫上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值也为1×105Ω~1×109Ω。4)禁止直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。5)允许使用经特殊处理过的水磨石地面,如事先敷设地线网、渗碳或在地面喷涂防静电剂等。6.2.3防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:1)检查对象:防静电地板。2)检查频率:每半年一次,其中一次应在干燥季节测量。3)检查指标:静电压,泄漏电阻和表面电阻率。4)检查标准:0.10Kv,5X104Ω~109Ω和1×105Ω/口~1×1010Ω/口。5)检查仪器:静电压表,万用表和兆欧表。6)相对湿度低于30%时,应增加测量泄漏电阻的次数当电阻比较大时可撒少量的水。7)当地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时,应根据情况定期清除。8)清防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。6.3静电敏感区域的防静电保护接地技术要求,防静电系统必须有独立可靠的接地装置,主要技术要求如下:6.3.1接地线:也称为地线母线,防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用,不得接在电源零线上,不得与防雷地线共用。6.3.2接地主干线的截面积应不小于100mm2,支干线的截面积应不小于6mm2,设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm2的敷朔导线,并以黄绿色为宜。6.3.3防静电设备的连接端子应确保接触可靠,易装拆,允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等。6.3.4接地电阻:指接地体与大地之间的接触电阻,静电保护接地电阻应小于4Ω。6.3.5地线的埋设:埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大,接触密度要高,接触要紧。1)埋设地线的注意事项:①接地线与接地线接头必须焊接牢固,要有足够的机械强度,引线不要过长。②要采用耐腐蚀的接地体金属。③要保持接地体附近土质的质量,并不断采取措施防止接地电阻变大。④防静电地线要与工作地线分开埋设。⑤防静电地线必须是永久性的。2)静电安全作业区地线的两种实用敷设方法:①从专门埋设的地线接地体引出的接地线,单独敷设到生产线的防静电作业岗位单独敷设的接地导线通常使用3mm厚,约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为4~6平方毫米(mm2)的铜芯软线单独引入。采用三相五线制供电系统中的地线,引入电源零线的同时,方法单独引出大地地线作防静电接地线,工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱到大地的接地电阻应小于4Ω。6.3.6接地线的定期检查:1)检查对象:所有的接地线及接地端口。2)检查仪器:万用表和接地电阻测试仪。3)检查参数:泄漏电阻(接地电阻)。4)检查频率:①每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备,工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。②ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。③每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。5)检查标准:①每周检查的标准:小于4欧。②每月检查的标准:0.9×106Ω~1.1×106Ω。③每6个月的检查标准:小于4欧。6.3.7接地线的定期维护:1)对于检查不过关的接地线必须采取措施及时解决。2)确保接地线有效接地。3)对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。4)对于松动的接地线要重新连接。5)按接地线相关规定进行维护。7.静电敏感区域的人员防静电规范7.1各类人员的防静电知识培训要求及职责:有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本要求,也是减少静电危害的根本方法和途径之一。7.1.1所有新员工在接受入厂培训时,必须接受ESD知识的培训。课程包括至少2小时的理论知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后,由人力资源部组织ESD的考试,合格者才能上岗。7.1.2所有在职工人和ESD委员、PE部、测试部、生产部的职员和相关人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容包括介绍ESD的新技术,新规范等。7.1.3在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电感应)的作业人员,必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作要求的培训,作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电要求的岗位工作。7.1.4工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,掌握电子工业产品的防静电工艺技术,在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施,并对他们进行静电防护日常教育。7.1.5品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行,评估防静电工程实施效果。7.1.6采购部和市场部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。7.1.7仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作要求。7.1.8检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业知识培训,熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文件要求和工艺规程进行检验和试验。7.1.9设备部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防静电接地系统要求,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。7.1.10生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程组织生产,并开展对生产员工的静电防护日常教育。计量部门也应了解ESD基本知识,尤其是关于防静电仪器的校验知识,要定期调校