ITO玻璃基础知识

1ITO玻璃2主要内容一、什么是ITO玻璃；二、ITO玻璃的基本结构三、ITO玻璃的分类四、ITO玻璃的生产工艺流程；五、ITO玻璃的评价参数；六、ITO膜面的判定；七、ITO玻璃使用常见问题；八、ITO玻璃的使用注意事项；3ITO(IndiumTinOxide)玻璃简介在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃。特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度一、什么是ITO4•ITO作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红外线。因此，喷涂在玻璃，塑料及电子显示屏上后，在增强导电性和透明性的同时切断对人体有害的电子辐射及紫外、红外。5二、ITO玻璃的基本结构•ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。6ITO玻璃的基本结构:基板sio2ITO7基板:常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0.55mm;0.5mm,0.4mm基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业中较常用的为钠钙型玻璃.优点缺点钠钙型玻璃成本低含有钠、钾等离子,易产生渗透,影响产品性能硼硅型玻璃玻璃硬度高,透过率好成本较高钠钙型玻璃基本成份:成份Al2O3CaOFe2O3MgONa2O+K2OSO2SiO2含量0.5-1.97-120-0.21.0-4.513-150-0.370-738（1）Si02层的作用:主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力.（2）SiO2层的膜厚:标准膜厚一般为20-30nmSi02层：9ITO(IndiumTinOxid)层:为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量约为10%。随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚度逐渐减小.二、ITO玻璃的基本结构10三、ITO玻璃的分类根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：类型说明TN未抛光型直接在玻璃的浮法面进行镀膜HTN简单抛光型/TN精选玻璃将玻璃的浮法面进行简单的抛光后,在抛光面进行镀膜STN超抛光型将玻璃的浮法面进行精细的抛光后,在抛光面进行镀膜11四、ITO玻璃的生产工艺流程ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：（1）切割倒角；（2）抛光；（3）镀膜注：TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。12ITO玻璃简要生产工艺流程如下：原片来料检验切割磨边倒角清洗检验清洗抛光检查SI02镀膜ITO镀膜检验包装入库四、ITO玻璃的生产工艺流程TN型玻璃不需经此流程13（1）切割磨边的工艺流程：切割磨边倒角清洗检查入库磨边类型及规格要求：通常分为C型和R型两种W0.05mmW0.4mm，45°角W0.05mmW1.2mm曲面半径R50mm四、ITO玻璃的生产工艺流程C型R型14倒角的形状及公差四、ITO玻璃的生产工艺流程15（2）抛光工艺流程：用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程倒角后原片抛光清洗检查入库包装四、ITO玻璃的生产工艺流程16（3）镀膜工艺流程：四、ITO玻璃的生产工艺流程17镀膜方法：镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。磁控测射法：在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧化铟锡膜。四、ITO玻璃的生产工艺流程18五、ITO玻璃的评价参数5.1透过率：在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。透过率定义：透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率Tt=T2/T1X100%。195.2方块电阻:如图d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，ρ为导电膜的体电阻率。ρ和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值ρ/d，这就是方块电阻的定义，即R□=ρ/dL2L1dIR=ρ×L1/(d×L2)五、ITO玻璃的评价参数205.3平整度:平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。Lh玻璃微观表面ITO玻璃基板平整度参数包括：1、玻璃表面粗糙度；2、基板表面波纹度；3、基板翘曲度；4、基板垂直度；5、ITO膜表面粗糙度；6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。五、ITO玻璃的评价参数215.3.2基板翘曲度:用h/L表示(如图)即翘曲的高度与翘起边的长度之比Lh其中要求如下:——厚度≥0.7mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）≤0.1%。──厚度≤0.55mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）≤0.15%。——不允许有S形翘曲五、ITO玻璃的评价参数225.3.3基板垂直度:用a/L表示(如图)用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度La通常a/L≤0.1%五、ITO玻璃的评价参数235.4化学稳定性:ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。a)耐碱性镀层在温度为60±2℃,浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。b)耐酸性在25±2℃,6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟,ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。c)耐溶剂性能将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯)中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。五、ITO玻璃的评价参数245.5热稳定性:在空气中经30分钟300±5℃（触摸屏用ITO玻璃是在200±5℃）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%5.6附着力:用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象五、ITO玻璃的评价参数25六、ITO膜面的判定拉伸浮法方向相关定义:浮法方向:在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向.26ITO膜面主要判定方法:(1)将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点,如果显示不为”1”,则所测试面为ITO膜面;(2)用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大,测所测面为非ITO膜面(3)通过大角识别:以16×14英寸的玻璃为例六、ITO膜面的判定27七、ITO玻璃使用常见问题ITO玻璃异常LCD的影响基板中的钠离子发生渗透字肥基板的波纹度较差排骨彩虹基板的粗糙度较差涂膜的均匀性；点状彩虹面电阻不均蚀刻易发生断短路玻璃表面较脏内污,短断路ITO测射不均上下短路翘曲度差LCD生产中定位不准表面伤痕、异物、气泡LCD显示效果异常磨边倒角粗糙制程中易破损常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响:28八、ITO玻璃的使用注意事项主要注意事项:1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜；2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后应尽快用完，如不能尽快用完，应重新密封；3、拿取玻璃时应使用无尘手套，应用双手“夹持”玻璃的两边，严禁裸手接触玻璃表面；4、严禁一支手拿两片以上的玻璃5、在拿取玻璃时应轻拿轻放，保持玻璃的垂直放置，严禁水平叠放；6、严禁玻璃间的直接接触29