09 纯水处理材料

1純水處理材料2圖9.1水淨化345圖9.2精密過濾膜6圖9.3限外過濾膜78圖9.4逆滲透(a)工作原理，(b)透過分析，(c)套筒結構剖面圖9(續)圖9.4逆滲透(a)工作原理，(b)透過分析，(c)套筒結構剖面圖10111213圖9.6膜透過操作方式14(續)圖9.6膜透過操作方式1516圖9.7從前之無塵室內超純水供給配管17圖9.8改良之無塵室內超純水供給配管1819202122(顆/公分3)23圖9.11超純水系統隨ULSIDRAM之演進24圖9.12(a)樹脂的外觀，(b)一個混床塔25262728293031