XL300氦质谱检漏仪使用及维护

氦质谱检漏仪使用及维护简介四川施瑞特科技有限公司2010.4.19抽气口操作面板电源接口及开关电器端变频器（用于涡轮分子泵）电源LCD显示器母板真空端TRIVAC2.5E真空泵排气过滤器TURBOVCTW70LS真空泵进气阀FB接口180°磁场离子探测器接口:SPS,remoteRS232进气口DN25KF氦质谱检漏仪标准附件标准漏孔氦气喷枪遥控器加长线遥控器吸枪QT100快速吸入器基本设定VACUUM真空模式1．按电源开关，打开PhoenixL300，约2分钟后完成启动程序，仪器处在待机模式准备测量。2．设定模式:菜单----模式----真空----OK3．设定最小漏点及最大漏点极限:模式----设置----监控功能----真空模式的压力极限,设定值为:MIN:0.20mbar，MAX:15mbar。SNIFFER-吸枪法1，设定模式:菜单----模式----吸入----OK2，设定QT100吸枪因数:菜单----设置---吸入将数值选定为1.0E+3（根据实际漏率值调整该因数,使漏率接近5E-6mbar.l/s(5E-7pa.m3/s)3，设定机器因数：菜单----设置----真空---机器因子---将数值选定为1.0E+0；4，设定最小漏点及最大漏点极限:菜单----设置----监控功能----吸枪模式的压力极限---上方为0.05,下方为0.00(QT100吸枪）操作步骤(VACUUM&SNIFFER)1.开启检漏仪，等待进入STANDBY模式,最多两分钟；•2.请将待测试件连接到吸入口，点击START按钮，进入测试模式，PhoenixL300开•始抽空试件，抽空时间取决于试件容积，抽空期间，屏幕显示管线入口压力，压•力一旦达到15mbar（11Torr或1500Pa），仪器切换到测量模式并显示相应漏率。Vent放气CAL校准Start开Gasballast气镇•3.此时显示的漏率是试件内氦本底浓度，由于Phoenix继续抽空试件，这个本底漏•率将进一步降低。一旦漏率相对您要求足够低时，屏幕中间上方出现“FINE”时，•就可以按ZERO进入零点模式，可以开始喷氦寻找可能的漏孔，开始检测第一•点，根据我们的系统大小，需要等待时间长短不尽相同，待零点值“1.0E-•12mbar.l/s”（VACUUMmode）变化时即该数值上升到一个较大的漏点保持稳定•并开始下降时,记录下来该点的值,由于漏率降回原点可能需要一定的时间,所以我•们可以按ZERO一次,取消清零,再次按ZERO（再次快速清零）进入第二点的检测,•检测方法和上面谈到的一样,直至全部漏点检测完毕.若是SNIFF模式，则可能由•于我们的系统较为庞大，需要等待5~~10分钟，等待零点值“1.0E-8mbar.l/s”变化后,操作和上述一致.4.检测完毕后,请按STOP并持续按按钮几秒或按屏幕左侧的”VENT”键将试件破空放气；5.根据检测时间的长短以及测试腔体的大小,排空时间可以相应的调整,排空结束,可以关机了。6.若是您使用SNIFF模式，请注意先关QT100，再关检漏仪。柔性吸盘使用注意事项:•1.电源连接：PhoeniXL300采用220V供电，必须使用有保护接地导线的3芯电源电缆。没连接地线的PhoeniX不允许使用。•2.建议使用一周时间,进行一次校准,方法是:按屏幕右侧的CAL键,进入后选择OK,选择INTERNAL,等待最终结果,若无问题,系统会自动默认,同时回到STANDBY模式。•3.观察MENU----INFO----VACUUMDIAGRAM中P2值,若P2值过高,则返回到•STANDBY(按MENU键即可),在屏幕右侧按下”STARTGASBALLAST”,按钮后,•进入VACUUMDIAGRAM界面,观察P2值,等待P2值降到几Pa即可,(或*.*E-•2mbar),如果机器抽过大量水蒸汽，请在机器停下来之前，开启气镇约20分钟气镇20分钟自动停止.限制泵油过多损失。可以通过多次开启气镇，以达到最好的（排水蒸汽的）测试效果。•4.检漏工作结束后，对应于L200型检漏仪，一定不要立即移动机器，建议15-30分钟（分子泵彻底停止后）后方可移动检漏仪，而L300需要等待2分钟即可。检查者注意事项：•规定每月检查一次，如果频繁使用检漏仪，尤其是吸气模式，更应增加检查次数。旋片泵位于检漏仪下部机械部分的侧面。•下面列出了打开PhoeniXL300外壳的具体步骤：•1.关掉Phoenix•2.拔掉Phoenix电源线•3.拆掉机械部分的罩子•4.拆掉Phoenix测试口其它真空部件。•5.转动Phoenix将其定位。•6.用两把平头改锥，插入开口将底部机械部分的罩子撬开。•7.在这过程中，通过改锥向下运动使罩子向前稍微移动。通过改锥向上运动将罩子向上举起，使罩子完全分离。•8.然后将罩子从机械部分拔出直到止动位置再把它向前拆出。•9.在完成所有维护工作之后，机械部分子罩子必须正确嵌入底部开口后装回。维护事项：1.使用者应该按说明书要求对PhoeniXL300进行维修工作，这工作通常仅限于D2.5E旋片泵换油和更换内置空气过滤器及油过滤器。2.作为保护措施，建议每月检查一次旋片泵，注意检查油位和油颜色。3.PhoeniXL300中TRIVACD2.5E旋片泵必须使用Arcfic油（样本号20028181）。4.建议使用者根据使用的频率以及使用的时间定期进行校准工作，校准方法如下：PhoeniXL300启动20分钟以后，在待机模式下按屏幕右上方CAL按钮，然后根据提示选择Internal（或内部），最后等待校准完成，校准完成以后，机器会自动跳回待机模式。如果校准数值存在较大误差，则需要联系专业技术人员予以确认。维护计划：•长期使用机器后，会有泵油累集。在这种情况下，请做如下工作：•关掉Phoenix•拆掉机械外罩•过滤器位于旋片泵旁边•拧松有机玻璃盒（过滤器上箭头表示方向）•清洗或更换过滤器（样本号20028656）•用手将有机玻璃盒拧回原位•检查旋片泵油位，按需要换油或充油。应该按要求对PhoeniXL300进行维修工作。再次强调作为保护措施，建议每月检查一次旋片泵，注意检查油位和油颜色。PhoeniXL300中TRIVACD2.5E旋片泵必须使用Arcfic油（样本号20028181）。更换过滤网装入的过滤网用来过滤进入空气中的灰埃。为了确保滤网不会节制气流，始终能充分冷却，一旦发现它变成黑灰色时应立即清洗或更换。在Phoenix有3个位置使用滤网。a)电气盖的通风缝隙b)背面的平侧c)涡轮分子泵的风扇若更换滤网按上述拆掉罩子。滤网a)这些滤网用螺钉固定在电气盖子上。松掉螺钉便可更换滤网（样本号20099025）滤网b)这个滤网与凹槽上金属格栅一起位于侧面。不使用任何工具，便可更换。（样本号20099025）滤网c)这个滤网用塑料托架固定在风扇前面。拿掉托架取出滤网。装回托架固定好（样本号200001366）。在某些情况下，可抖去滤网灰尘或用真空吸尘器消除脏滤网污物。以便重新使用。换油:•拆掉机械部分外罩。•在进行任何泵拆卸工作之前，首先要拔掉电源插头。•PhoenixL300中D2.5E泵必须只用Arctic油清洁:PhoenixL300外壳是喷漆塑料件，为了使机器干净，只能使用一般适用于其它喷漆塑料表面的清洗剂（例如中性家庭用清洁剂）。通常使用湿抹布。绝不能使用任何能溶解漆的溶剂（象丙酮，甲苯等）。为清洁通风缝隙，建议使用软刷或真空吸尘器更换毛细管过滤器的毡碟•关断检漏仪电源•用镊子取出脏的毡碟，更换它,或•拧下毛细管过滤器，更换它（如使用金属型，切勿忘记密封件）•接通检漏仪电源•用手指堵住毛细管过滤器：应感觉到形成真空•如发现还是没有形成真空，更换烧结型过滤器检查/更换烧结型过滤器•关断检漏仪电源•卸下两个Philips螺丝•卸下带有密封件的烧结型过滤器•目测检查过滤器是否已污染•重新装上吸枪探尖•接通检漏仪电源•用手指堵住毛细管过滤器：应感觉到形成真空成都代理商联系方式四川施瑞特科技有限公司地址：成都市顺城大街306号凯乐广场902号电话：[phone]；传真：[phone]；