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精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料內層乾膜作業流程指導書1.目的：建立操作程序方法及制度，並提供作業人員及新進人員訓練參考之教材。2.範圍：本操作規範適用於內層課作業人員，於作業內層板時使用。3.權責：3-1.該生產單位負責內層之運作及生產工作，依化驗數據配製及添加化學藥品、化學用品之領用及存放。3-2.化驗室負責管控全場藥液取樣、分析及提出化驗報告。3-3.維修單位須負責機器設備異常的處理。4.作業流程說明：4-1.針對各製程段進行機器、材料、藥水濃（溫）度等製程條件進行定期檢驗，以達到製程穩定品質提升之效能。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明脫脂槽換槽：（每星期）1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1000Ｌ酸性清潔劑（C768S）：40L1.先注入纯水至槽內1/2水位再倒入酸性清潔劑（C768S）40L再將水加入標準位置。2.攪拌時間需達到10分鐘以上，並且空機run15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。。精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明微蝕槽H2SO2：2～5﹪SPS：70～100g/lCu2+：Below35g/l溫度控制：28±2℃換槽：（銅含量達35g/l）1.漏掉槽液。3.清除槽底污垢。4.重新配槽如配槽程序。5.每日取樣依化驗室分析數據添加。化驗後添加:1.磅秤所應添加入槽中之SPS後，將SPS倒入配槽用水桶，取微蝕槽內之原液加入配槽用水桶、(目地為加水會稀釋原藥液)、攪拌使SPS溶解後，始倒入工作槽內。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1000ＬSPS：75㎏硫酸50﹪：50㎏硫酸98﹪：2gal化驗後：使用量桶裝盛SPS磅秤化驗後所需重量。1.將微蝕槽加入純水400公升。2.倒入銅面處理劑（sodiumpersulfate）簡稱SPS-e285。3包75㎏，攪拌均勻，或用水桶攪拌均勻再倒入槽內。3.倒入硫酸50﹪2桶50㎏。4.倒入硫酸98﹪2gal，加水至1000L即完成配槽。在配完槽時，到入原先預留舊液5公升，目的是讓化學反應更快，並且空機run15分鐘以上讓藥水完全混合均勻。5.未經攪拌溶解之SPS藥粉，不能直接倒入槽內。6.攪拌時間需達到10分鐘以上。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明酸洗槽換槽：（每班）1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：250Ｌ硫酸98﹪：2gal1.先注入纯水至槽內1/2水位再倒入硫酸98﹪2gal再將水加入標準位置。顯影槽PH值：10.8～11.2。溫度：28～30℃。CO32-：9～12g/l。換槽：（每星期）1.漏掉槽液，清除槽底污垢。2.加入TC-607顯影槽清潔劑600L，加滿水，升溫45℃，空Run1小時。3.待清洗完畢後，漏掉清潔劑，加入清水清洗2次，每次30分鐘，完成後更換濾心，即完成洗槽。4.重新配槽如配槽程序。5.每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積約1000Ｌ。PC-450顯影液約22L。1.按下添加水開闢注入純水於預備槽，待水位達到1/2，將PC-450顯影液8L倒入後，在將水加至365L，打開攪拌器，攪拌時間需達15分鐘以上，使水及顯影液混合均勻，才可注入建浴槽。2.當完成配槽後、人員需做最後確認、開啟攪拌開關時、一定要打開預備槽，槽蓋確認攪拌器是否有動作，避免顯影濃度不均。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明蝕刻槽1.比重：1.305～1.320。2.Acid：1.4～2.0N。3.Cu2+：115～135。1.漏掉槽液。2.清除槽底污垢。3.重新配槽如配槽程序。4.每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1500Ｌ。HCL：CC-35＝2：51.由AQUA再生機控制蝕刻液之比重及Acid，當比重低於1.305或Acid低於1.4N時自動添加。去膜槽1.去膜液鹼濃度：2.8～3.5﹪。2.溫度：55±5℃。換槽：（每星期）1.漏掉槽液，清除槽底污垢。2.加入防白水40L，加滿水，空Run1小時。3.待清洗完畢後，漏掉防白水，加入清水清洗1次，30分鐘，即完成洗槽4.重新配槽如配槽程序。5.每日取樣依化驗室分析數據添加。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：1400Ｌ。片鹼42㎏。1.按下添加水開闢注入純水於預備槽，待水位達到1/2，將片鹼11㎏倒入後，在將水加至365L，打開攪拌器，攪拌時間需達15分鐘以上，使水及粒鹼混合均勻，才可注入建浴槽。製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料製程管控項目換槽／添加規定配槽量配槽說明抗氧化槽換槽：（每班）4.漏掉槽液。5.清除槽底污垢。6.重新配槽如配槽程序。注意事項：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。槽體積：300公升。硫酸98％：1gal。抗氧化劑：30㏄。先注入纯水至槽內1/2水位再倒入硫酸98％1gal及抗氧化劑30㏄，再將水加入標準位置。4-2.精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料序號流程產品、設備、製程重要之管制特性／作業條件參數作業標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC1.接收轉帳1.確定工單待作業製程是為該站，並檢查上站是否簽名。2.作業前確實清點板數、料號、尺寸、銅厚及板厚是否與工單相符。3.如無誤，在生產流程管控表上填上接收日期、時間、接收數量並簽名並接收轉帳。1.每批號均須檢驗。工單2.進料檢驗1.檢查板面及孔邊是否有毛屑、顆粒、刮傷、撞傷、沒R角。2.進料檢驗出問題板，則向上級反應，按其異常退發生問題站處理。1.每批號均須檢驗。1.工單。2.【內層基板進料檢驗與轉入記錄】【PSC-05F136】3.生產進度安排所有產品共分為：加價趕貨、特急件、樣品、尾數急件、補料急件、普通件7種，以其優先順序，依序製作。1.該單位主管須依生管部之指示客戶交期之先後，進行生產進度之安排。2.生產進度之安排，應讓相關人員容易取得。3.對於安排上線之料號，課長及組長，須事先了解該料號之生產條件是否正確，是否有特殊流程，若有須特別注意事項應向作業人員說明與教育，以免作業錯誤。4.課長及組長應了解每一個工作人員之專長，對於安排上線之料號，應安排適當的人作業。生產排單序號流程產品、設備、製程重要之管制特性／作業條件參數作業標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料4.前處理生產前準備與檢查事項1.生產前各槽須先加熱到所規定之溫度。2.開啟加熱器前先檢查液味是否在配槽液位高度。3.任何槽別補水時，人員不可離開。4.若機台發生故障時，除向上級主管反應外，仍須在生產日報表上註明。藥水維護：1.加藥時須佩帶護目鏡、耐酸鹼手套及耐酸鹼圍裙避免藥液噴濺造成傷害。2.如不慎皮膚接觸藥液時，應立即以大量清水沖洗，如有不適時應立即送醫。3.所有藥水槽濃度，是否控制在範圍內，（所有藥液之分析與分析頻率均依化驗室藥水分析檢驗規範之規定進行）。4.只有經單位主管訓練並認可之作業人員，才可進行藥液添加，以免發生意外。5.依規定更換水洗水。6.藥水液位不可超過水洗槽。生產前準備與檢查事項：1.確認所有藥水槽溫度、槽液液位是否到達設定值，（所有濃度、溫度、藥水添加均須記錄備查）。2.依設備點檢表點檢。3.確認各水洗槽水閥是否開啟。1.開線前均須以此步驟確認各生產條件是否正常，如有異常須立即向該單位主管反應並於（工作日報表）註明，同時停止投料動作。【藥水分析結果與添加量報告】【PSC-06F87】5.放板1.放板輸送速度2.4。2.投入放板由計時器依基板寬度設定延遲時間放板。1.兩片檢測設定:按設定模式(setmode)至設定位置(set)按o-adj讓它空跑一次，待out-1、out-2燈閃爍，記憶（ch）閃動。取一片投入基板放置在檢測sensor，按set-1待out1閃爍，然後記憶（ch）閃爍，完成第一片設定。將第二片同樣放置在檢測sensor，按set-2待out-2燈閃爍，記憶（ch）閃爍完成第二片設定。2.放板由計時器依基板寬度設定延遲之時間，板與板之間距離至少10㎝，避免疊板。1.確認各項參數是否在設定內。2.兩片偵測是否正確，警示是否會響。3.板與板間距是否達10㎝。序號流程產品、設備、製程重要之管制特性／作業條件參數作業標準／重點／注意事項首件、自主、必要檢查／檢查方法、工具、頻率相關文件、表單、推移圖、SPC精品资料网（）25万份精华管理资料，2万多集管理视频讲座精品资料网（）专业提供企管培训资料6.脫脂槽1.溫度控制：30±2℃2.噴壓1.5±0.5㎏/㎝2。1.去除裸銅板上之污垢及油脂。2.確認喷嘴無阻塞。1.確認槽液液位是否達標誌位置。7.水洗槽1.噴壓1.5±0.5㎏/㎝2。1.將清水加入標準位置2.確認循環水是否打開。3.確認喷嘴無阻塞。1.確認參數是否在設定內。8.微蝕槽1.微蝕槽噴壓2.0±0.5㎏/㎝2。2.微蝕速率20-30μm1.增加銅面之粗糙度，藉以達到與乾膜更佳的附著力。2.確認喷嘴無阻塞。3.說明：取尺寸為10㎝×10㎝之裸銅基板，將裸銅基板進行水洗、烘乾、清潔表面步驟，再放入烘烤箱烘烤120℃15min，ok後再放入電子天枰稱重（w1），取小數點4位數，w1稱重ok後記錄起來，接著進行微蝕製程，ok後再將基板拿去烘烤，ok後電子天枰稱重（w2）取小數點後4位數。（w1-w2）×92900/420＝微蝕速率（標準10～30μ）4.作業中如遇卡板時應先將傳動停止，並將所