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cn.tek.com14200A-SCS参数分析仪主要性能指标I-V源测量单元(SMU)●●±●210●V/100●mA或±●210●V/1●A模块●●100●fA测量分辨率●●选配前端放大器提供了0.1●fA测量分辨率●●10●mHz●-●10●Hz超低频率电容测量●●四象限操作●●2线或4线连接C-V多频率电容单元(CVU)●●AC阻抗测量(C-V,●C-f,●C-t)●●1●kHz●-●10●MHz频率范围●●±●30●V●(60●V差分)内置DC偏置源，可以扩展到±●210●V●(420●V差分)●●选配CVIV多功能开关，在I-V测量和C-V测量之间简便切换脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)●●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道●●200●MSa/s，5●ns采样率●●±40●V●(80●V●p-p)，±800●mA●●瞬态波形捕获模式●●任意波形发生器Segment●ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10●ns可编程分辨率高压脉冲发生器单元(PGU)●●两个高速脉冲电压源通道●●±40●V●(80●V●p-p)，±●800●mA●●任意波形发生器Segment●ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10●ns可编程分辨率I-V/C-V多开关模块(CVIV)●●在I-V测量和C-V测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针●●把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/开关模块(RPM)●●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换●●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安●●降低电缆电容效应4200A-SCS参数分析仪产品技术资料亲眼见证创新！4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。作为性能最高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。4200A-SCS●ClariusTM基于GUI的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius●Software可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。4200A-SCS参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过4200A-SCS参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。cn.tek.com32cn.tek.com4200A-SCS参数分析仪产品技术资料ಖᝮࣳጸጻតፇ౧$76വڱಞॎፇᮊᄬᝠЊၹਗ਼ᭊᎄሮԁԻូட֗ξஈតᮋऀܳᮊऄၹតἻঌᤴनݽតܸیᔮࠪ1$1ᝏୗࡖ fᰴຍ௭ᇨ٨Ἳ̔̉តఞእΧಖᦡቫӊὉ64#nj̿ܺᎪnj7(nj˙nj௭ᇨ٨ቫnj)%.*njᮃᮠଣߘతܳஃે˔ԥᤰ᥋1.6വڱࠔጪతܳ˔˗ҪဋੋᰴҪဋ4.6֗ԻᤥᄊᤊሮҒஊܸ٨വڱЯᎶᮃᮠੴܦ٨ЯᎶࣟҰᮠἻଢΙត֗ូតૉळ4$4Ի̿߷ᜉښʽἻ˷Ի̿߷ᜉښࢺͻԼʽଣߘἻஆզ᧚ஔߦᮠ64#֗ቫἻၹ̆᪄ᄨnjᴅಖ֗6ᄨڍগᆶᄨἻவΧঌᤴनԣߛϲ͜नЯᎶଌڡӭЋ为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪使用强大的Clarius软件，可以更加快速的完成I-V,C-V和脉冲I-V测试，结果清晰明了4cn.tek.com产品技术资料4200A-SCS仪器和模块型号说明主要测量范围测量分辨率4200-SMU中等功率源测量单元-●DC●I-V-●超低频率C-V-●准静态C-V±100●mA,●±210●V0.5●mV,●100●fA4210-SMU高功率源测量单元±1●A,●±210●V0.5●mV,●100●fA4200-PA远程前端放大器模块扩展所有SMU的电流范围0.5●mV,●0.1●fA4210-CVU电容电压单元-●AC阻抗-●C-V,●C-f,●C-t1●kHz●-●10●MHz±30●V内置DC偏置装置(60●V差分)使用SMU扩展直流偏置电压至±210V-4200A-CVIVI-V/C-V多开关模块DC●I-V和C-V自动切换--4225-PMU超快速脉冲测量单元-●脉冲式I-V-●SegmentARBR®多电平●●●脉冲-●瞬态波形捕获±40●V●(80●V●p-p),●±800●mA200●MSa/s同时测量电流和电压2048个唯一段20●ns脉宽仅输出时60●ns●脉宽输出同时测流时75●nA4225-RPM远程前段放大器/开关模块DC●I-V、C-V、脉冲式I-V间自动切换扩展4225-PMU单元的电流范围200●pA4220-PGU高压脉冲发生器单元-●脉冲式电压源-●Segment●ARB®多电平脉冲±40●V●(80●V●p-p)2048个唯一段-接地单元内置低噪声接地单元-三同轴连接:●2.6●A接线柱:●9.5●A-提取或测量参数列表实例CMOS晶体管Id-Vg,●Id-Vd,●Ig-Vg,●Vth,●Vtlin,●Sub-Vt,●Rds-on,●击穿,●电容,●QSCV,●低频率CV,●减少自热,●等等BJTIc-Vc,●Vcsat,●Gummel图,●电容,●βF,●αF非易失性存储器Vth,●疲劳测试,●电容纳米尺寸器件电阻,●Id-Vg,●Id-Vd,●Ic-Vc分立元器件Id-Vg,●Id-Vd,●Ic-Vc,●Vfdiode,●Vrdiode,●电容材料Van●der●Pauw,●4点共线电阻系数,●霍尔效应光伏器件Iforward,●Ireverse,●HiR,●LoR功率器件脉冲式Id-Vg,●脉冲式Id-Vd,●击穿可靠性NBTI/PBTI,●电荷泵,●热载波注入,●V-Ramp,●J-Ramp,●TDDBcn.tek.com54200A-SCS参数分析仪1.ClariusSoftware全新Clarius●Software用户界面，您可以把对科研的理解提升到全新水平。4200A-SCS包括Clarius+软件包，可以执行几乎任何类型的I-V、C-V和脉冲式I-V特性分析测试。Clarius●Software用户界面提供了触滑或点击控制功能，为现代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。主要特点●●随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间●●业内第一台内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，缩短学习周期●●pin●to●pad接触检查，确保测量可靠●●多种测量功能●●数据显示、分析和代数运算功能专家视频，降低特性分析复杂度观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频，迅速掌握应用，缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助，在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时，将为您提供指引。Clarius●Software短专家视频支持四种语言（英语、中文、日语和韩语），可以迅速让你洞察先机。大量随时可以使用的应用测试可供选择通过Clarius库中装备的450多项应用测试，您可以选择或修改预先定义的应用测试，加快特性分析速度，或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步，Clarius●Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。实时结果和参数自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所需信息的速度。您不必担心数据丢失，因为所有历史数据都会保存下来。无需示波器检验脉冲测量脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数，确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式，进行基于时间的电流或电压测量，而无需使用外部示波器。典型应用MOSFET,BJT晶体管材料特性分析非易失性存储设备电阻率系数和霍尔效应测量NBTI/PBTIIII-V族器件失效分析纳米器件二极管和pn联结太阳能电池传感器MEMS器件电化学LED和OLED6cn.tek.com产品技术资料第1步-构建测试方案在Clarius库的450多种预先定义的应用测试和项目中搜索、过滤及选择所需测试项。过滤测试、器件或项目库，快速进行选择了解每项测试，获得更详细的信息，包括：●●全面的测试描述●●测试示意图●●所需设备●●短视频和应用注释cn.tek.com74200A-SCS参数分析仪第2步-配置测试使用Key●Parameters●View或All●Parameters●View，迅速修改测试参数。一目了然地确认操作模式。KeyParametersView提供了每项测试的设置概览，帮助缩短学习周期。AllParametersView特别适合输入测试参数。第3步-分析结果查看图形结果或数据结果，过滤测试数据，标记数据，简便地进行标识。自动显示参数提取和数据分析结果。8cn.tek.com产品技术资料2.源测量单元(SMU)精密直流电流VS.电压(I-V)测量是分析器件和材料特性的基石。4200A-SCS参数分析仪的核心采用世界一流的源测量单元(SMU)仪器。源测量单元可以提供电压或电流，可以以非常高的分辨率和精度同时测量电压和电流。SMU把电压源、电流源、电流表和电压表集成到一张仪器卡上，实现I-V同步测量。源测量单元拥有四象限功能，因此不仅可以提供电流，还可以吸收电流，比如测试充电电容器或太阳能电池时。4200A-SCS参数分析仪可以配置最多9个SMU。有两种SMU型号：中等功率SMU，范围高达210●V/100●mA；高功率SMU，范围高达210●V/1●A。每个4200-SMU中等功率SMU或4210-SMU高功率SMU占用主机的一个插槽，在4200A-SCS系统中可以一起使用。所有4200A-SCS●SMUs都有屏蔽三同轴连接，为低电流和高阻抗测量及4线(Kelvin)●force和sense连接提供保护防漏电功能。I-V扫描测量。停止、扫描和脉冲测量内置4200A-SCS●SMU特性提供了各种测量功能，如扫描测量操作、线性和对数步进扫描、列表扫描、单点平均等。把测量分辨率扩展到0.1fA许多关键应用需要能够测量超低电流，如确定FET的栅极泄漏电流，测试灵敏的纳米器件，测量绝缘装置和电容器的泄漏电流。当SMUs配置选配的4200-PA远程前端放大器时，它们能够进行超低电流测量。可扩展任意SMU型号的电流范围，分辨率低至0.1●fA。对用户，SMU只是表现为提供了额外的测量分辨率。选配4200-PA前端放大器模块，fA级测量。前端放大器预装在4200A-SCS主机背面。这种安装方式可以使用标准线缆连接探针、测试夹具或开关矩阵。可以从后面板中去掉前端放大器，放在较远的位置(如不透光的夹具盒或探针台内)，消除由于长电缆导致的测量问题。另外还提供了上机架附件和三同轴安装附件。cn.tek.com94200A-SCS参数分析仪超低频率C-V技术及SMUs4200A-SCS提供了独一无二的功能，可以执行超低频率电容电压测量，而不需LCR仪表或电容模块。低频率C-V测量用来分析某些材料中的缓慢捕获和脱阱现象。3.电容-电压单元(CVU)电容-电压(C-V)测量通常用来分析MOSFET的栅极氧化层厚度、氧化层缺陷密度、掺杂分布等。在这一测量中，在栅极电压变化时，栅极到漏极和源极的电容会变化。电容测量一般采用AC技术完成。通过在被测器件(DUT)中提供AC电压，然后测量得到的AC电流和相位角，最终多频率C-V仪器模块可以得到AC阻抗。1kHz-10MHzAC测量4210-CVU仪器模块在1●kHz●~●10●MHz测试频率上执行几fF到几mF的多频率电容测量，同时提供高达±30●V或60●V差分的DC偏置电压。使用SMU和前端放大器进行超低频率C-V测量。4200A-SCS采用新的窄带技术，利用集成的SMU仪器的低电流测量功能，在10●mHz●~●10●Hz范围内的指定低频率上执行C-V测量。这种方法采用4200A-SCS的SMU及前端放大器，而不要求额外的硬件或软件。本地开关选项为了适应I-V测量和其他测量类型