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宜昌南玻硅材料有限公司硅片加工项目纯水系统操作说明1目录第1章前言...................................................2第2章设备操作维护规范.......................................3第3章单元操作说明...........................................43-1.盘式过滤器.............................................43-2.板式换热器.............................................43-3．UF超滤系统............................................53-4.加药系统................................................63-5.保安过滤器..............................................83-6.二级逆渗透RO系统.......................................83-7.水泵..................................................113-8.EDI系统..............................................133-9.抛光床系统............................................193-10.UV紫外线杀菌机、除TOC机............................20第4章异常原因及对策.......................................212第1章前言纯水系统是以活性炭过滤器、超滤系统作为前处理，以目前国际上技术最先进、应用最为可靠的RO逆渗透膜作为二级除盐设备、EDI电化去离子设备，组成了一套完整、高效率、高品质的纯水系统，此系统具有完善、可靠的自动化性能及安全保护和报警功能，无需专人看管，并有误操作保护功能，配有远程监控系统，采用先进可靠的工控机及相应的监控组态，对系统实施远程监控并能打印相关参数。本系统主要去除水中的悬浮物、胶体、细菌、病毒、溶解盐、细菌内毒素和大部分有机物等杂质，系统脱盐率一般在97-99%以上。系统部件、设备、均采用了先进可靠的知名品牌，如：GE的EDI模块、陶氏或海德能的RO膜、GF仪表、富士/施耐德/OMRON/SIEMENS等品牌的电器元件。3第2章设备操作维护规范开始操作此系统前，请操作、维护人员务必详读本操作手册，使系统达到最佳使用状况，同时确保系统的正常运行及延长设备使用年限。1.供应商在试车时，所调整的流量、压力等值请勿随意变动，并请操作人员做好详细的运行参数记录，若发现有异常变化，请及时通知供应商派人处理；2.设备的维护、管理、记录请派专人负责，并妥善保管记录资料及供应商所附的各项原始资料；3.设备在保固期内，要求每月月底传真一份设备的运行记录表至供应商，以便能及时发现问题，确保系统的正常运行；4.本超纯水系统为全自动运行控制，运行时只需将所有开关置于自动状态即可，也可手动操作或半自动操作；5.手动操作及半自动操作：开机时必须先打开阀门，再开启水泵，关机时必须先关闭水泵，再关闭阀门。6.系统所用滤芯，当进出水压差大于1kg/cm2时请及时更换；7.请保存原水水质分析表，并随时注意是否异常；8.各种腐蚀药品，请远离设备；9.请尽量避免设备遭受日晒、雨淋；10.纯水站宜配备相应的检测仪表,检测水质,如SDI值、硬度、余氯等项目，每月进行一次水质检测，并记录相关数据。如在质保期内，数据超出正常标准，请及时与本公司联系，以保证用户水质要求，否则由于操作维护不当所带来的损失将由业主自行承担。4第3章单元操作说明3-1.盘式过滤器3-1.1目的盘式过滤器的核心部分是叠放在一起的塑料滤盘，滤盘上有特制的沟槽或棱，相邻滤盘上的沟槽或棱构成一定尺寸的通道，粒经大于通道尺寸的悬浮物均被拦截下来，达到过滤效果。3-1.2设计规范能力：58T/H3-1.3操作过程盘式过滤器可采用时间或压差方式进行控制，实现全自动运行，时间控制的设备在运行一定时间后开始反冲洗；压差控制方式利用进出口之间的压差作为控制信号，当过滤器拦截的悬浮物达到一定量时，压力损失会迅速增加，当进出水口之间的压差达到设定值时设备自动开始反冲洗。压差控制器同时具备压差、时间、手动三种控制功能，可通过手动按钮进行反冲洗。3-2.板式换热器3-2.1目的由于水温对RO膜的产水量影响较大，利用换热器来提高进水温度，使RO进水温保持在250C，确保了RO膜的产水量。3-2.2换热器规格能力：58T/H，两侧水温5℃至25℃热源：130℃饱和蒸汽3-2.3操作过程正常运行时为自动控制方式：通过换热器冷水侧出水管路上的在线温控仪，来控制换热器热源进入阀（电磁阀）的开启。温控仪的设定值为250C，RO系统在采水状态，并且送水泵与高压泵已正常运行，检测水温低于250C时，温控仪将信号传至电磁阀并打开电磁阀。3-2.4注意事项1.通过调整蒸汽管路上的手动阀来控制蒸汽进气量，以保证冷水侧出水的温度在250C；2.RO采水时冷水侧出水的温度不得超过450C，否则将损坏RO膜；53.定期清洗蒸汽管路上的过滤器滤网，以确保管路畅通。3-3．UF超滤系统3-3.1目的UF超滤是一种与膜孔径大小相关的筛分过程，以膜两侧的压力差为驱动力，以超滤膜为过滤介质，在一定的压力下，当原液流过膜表面时，超滤膜表面密布的许多细小的微孔只允许水及小分子物质通过而成为透过液，而原液中体积大于膜表面微孔径的物质则被截留在膜的进液侧，成为浓缩液，因而实现对原液的净化、分离和浓缩的目的。3-3.2设计参数工艺参数此种膜元件用于死端过滤的过滤方式。典型工艺参数如下膜过滤压降：50-100kPa反洗膜过滤压降：80-200kPa反洗通量：250-300l/m2.h反洗时间：30s反洗频率：1-2次/小时典型通量：70-100l/m2.系统参数：本工艺选择诺芮特SXL-225*16支，水量为58T/HR.3-3.3操作步骤为防止脱水和细菌生长，应将膜元件用水/甘油/二硫化钠溶液（79:20:1[wt/wt/wt%]）浸透。使用前必须先按以下冲洗步骤清洗掉该溶液。1.给料口接上清洁水（使用饮用水级别或更高级别）。2.打开给料和浓缩物阀门，确保无渗透剂流的情况之下冲洗5分钟。3.降低给料流速，打开渗透剂阀门。开始过滤，调节渗透剂流速至50l/m2h。系统过滤15分钟。4.回洗30秒。调节回洗流速至50l/m2h。5.开始过滤，调节渗透剂流速至80l/m2h，系统过滤15分钟。6.回洗30秒。调节回洗流速至80l/m2h。7.开始过滤，调节渗透剂流速至100l/m2h，系统过滤15分钟。8.回洗30秒。调节回洗流速至100l/m2h。9.开始过滤，调节渗透剂流速至100l/m2h，系统过滤15分钟。610.回洗30秒。调节回洗流速至200l/m2h。11.开始过滤，调节渗透剂流速至100l/m2h，系统过滤15分钟。12.使用100ppm的活性氯（NaOCl）进行化学物增强回洗（CEB）。30秒回洗，流速为200l/m2h30秒回洗，流速为125l/m2h，加入NaOCl浸泡5分钟30秒回洗，流速为200l/m2h13.开始过滤，调节渗透剂流速至设计流速。系统过滤15分钟。14.回洗30秒。调节回洗流速至设计流速。注意：过滤过程中，保持TMP0.5bar。冲洗步骤每平方米膜需总量为150升的清洁水。3-3.4设备维修步骤模件测试：1.用隔离测试适配器关闭一个渗透剂出口。2.对另一个渗透剂出口加压或给气（压力为0-3bar）。3.将模件浸入测试盆水中。4.模件至少浸泡2分钟，放出所有空气。5.在渗透剂侧慢慢加压至0.3bar。气体以气泡形式从纤维孔逃逸。该过程通常需要几分钟。6.若气泡从纤维孔中的逸出速率为常数，表明是有缺陷纤维。7.慢慢用手将针刺入模件两侧有缺陷的膜纤维孔中（大约3-4mm）。8.重复该步骤直至找到所有有缺陷纤维。确保正确标记所有纤维。9.小心从测试盆中取出膜元件，将针保持在适当位置。膜维修步骤：1.用一新的针，拿住针头，将针的尖端浸入Loctite406（快速粘合单组份胶粘剂）液滴中约1秒钟。2.快速将带Loctite406的针插入带标记纤维孔中，紧紧压住。3.用锋利的刀或其它切割工具割下针相对于灌注表面的凸起部分，不损伤表面。4.用锋利的刀或其它切割工具仔细去除修补处的白色Loctite406，不损伤表面。5.重复元件测试步骤，以检查是否修补好。3-4.加药系统3-4.1加药机规格7能力：0.76L/HR压力：7.6Kg/cm2(出口)3-4.2加药种类1.NaCLO（次氯酸钠）UF反洗时添加，防止UF超滤膜长菌。1.1浓度配比：5%，（重量比，用RO水进行调配）；1.2注入量：1-3PPM；1.3调整方式：调整加药机脉冲频率即可。2.NaHS03（亚硫酸氢钠）确保RO进水余氯含量达到水质要求，防止RO膜被氧化。2.1浓度配比：10%，（重量比，用RO水进行调配）；2.2注入量：3-5PPM，具体加药量应根据RO进水的余氯含量来进行调整；2.3调整方式：调整加药机脉冲频率即可。3.NaOH(氢氧化钠分析纯)用于调整二级RO进水PH值，使二级RO脱盐率升高，以确保产水水质。3.1浓度配比：10%，（重量比，用RO水进行调配）；3.2注入量：3-5PPM，使PH值稳定在7.8-8.5之间；3.3调整方式：调整加药机脉冲频率即可。4.MDC220（阻垢剂）无机高分子化合物，是高效能的液状阻垢剂配方，用于控制膜分离系统中控制碳酸钙、硫酸盐及氧化铁沉淀所造成的结垢。可延长系统清洗的周期，使膜寿命延长而降低成本；4.1浓度配比：10%，不需稀释（原液浓度10%）；4.2注入量：3-5PPM，具体加药量应根据进水的硬度及实际计算来进行调整；4.3调整方式：调整加药机脉冲频率即可。3-4.3.注意事项1.严格按照上述要求进行加药及调整；2.定期检查药桶内药液使用情况并及时补充；3.添加时必须将药品充分搅拌均匀；8加药机运行是与水泵同步的，切勿将加药机打至手动位置。3-5.保安过滤器3-5.1目的其作用是截留水中的的颗粒，以保证反渗透膜、EDI膜不被大颗粒的悬浮物划伤及造成堵塞。因为膜的厚度约为10微米左右，原水中较大的颗粒经送水泵加速后极易划伤反渗透膜表面的脱盐表皮层或可能击穿反渗透膜组件，因而一般反渗透设备、EDI设备前都要安装精密过滤器。3-5.2过滤器规格1.RO系统进水过滤器:能力:58T/H2．药洗进水过滤器：能力：40T/H3．CEDI进水过滤器：能力：32T/H4．硅片清洗用水过滤器：能力：32T/H5．边角料清洗用水过滤器：能力：5T/H6．坩埚喷涂用水过滤器：能力：0.8T/H3-5.3注意事项滤芯一般使用3-6个月或压差升高至1kg/cm2时就需更换。3-6.二级逆渗透RO系统3-6.1前言RO逆渗透系统是整套纯水系统的心脏,请使用者在维护时应特别注意,通常在RO系统运转时,各项运行数据的获得，应配合系统各项设计参考值做适度调整。调整时以膜的出水量作主要指标,同时结合膜的堵塞及污染的状况来进行调整。而进水压、进水量、出水压、进水SDI、水温、浓缩比等均会直接影响到膜管出水量,亦称为变动因素,所以调整步骤应先确定它的出水量,然后参考期间的参数变化来进行。如水温太低以致出水量减少时,需将原水加温至设计要求(25℃)时得以解决,另外供应进水量不足或浓缩比例太高也会造成出水量下降的状况发生。一般而言，RO纯水系统对有机物的去除率可达99.9%以上，而对于无机盐类，则可达94%-98%左右，换句话说，因其有除离子的精细能力，故可由水的阻值，即由系统的进水口与出水口