工业废水废气治理方法研究

2018年12月环保与节能工业废水废气治理方法研究邵静（江苏省晋煤恒盛化工股份有限公司，江苏徐州221400）摘要：现阶段下，我国经济发展迅速，而科学信息技术的渗入，使得我国工业化发展速度也得到明显提升。但在工业化发展的背景下，我国自然环境所遭受到了严重的破坏，其中则以工业废气废水的污染程度较为明显。关键词：工业；废气废水；治理方法工厂在进行生产活动后，废气废水并没有进行合理的处理，便直接排放到自然环境中，不仅使生态平衡遭到严重打击，附近生活的居民身体健康也会因为受到威胁。对此，为了保证切实履行我国“环境保护”这一基础国策，维护生态平衡。本文主要围绕工业废水废气的治理方法进行了探讨，并且针对其中不同类型的废气废气提出相应的解决方法，旨在为后续工作人员相关研究的开展提供良好的依据。1工业废气的处理方法1.1UV光解法在现代工业废气的处理方式中，UV光解法属于一种较为新颖的方式。其主要处理原理为：UV光运用其170~184.9nm波段对废气进行处理，因在这一波段的化学键功能较强，能够对废气中的有机记分进行破坏。并且在处理阶段所产生的化学反应后，其后产生强氧化的臭氧，然后在短时间内与其他分子反应成，对人类身体无害的水和一氧化碳，同时避免了排出的废气对自然环境的危害，达到了绿色、无污染的效果[1]。1.2燃烧法在工业废气的处理过程中主要采用的方法就是燃烧法，常见的燃烧法具体包括两种，即：催化燃烧和蓄热燃烧。蓄热燃烧是指在工业废气中，进行直接燃烧，当气体达到680度时，就可以完成氧化，而且废气的滞留的时间在1秒到1.2秒之间。燃烧以后就会分解成水和二氧化氮，这些都是无害物质，不会再有污染；在燃烧中的热量，通过陶瓷蓄热体进行蓄热，在有害气体经过时进行预加热，在燃烧过程中还减少了能量节约了能源。在这个预热过程中有一个注意事项，就是预热室要清理干净后，才能够进行下一次的预热。蓄热燃烧法在去除污染气体的成功率中是很高，可以达到95%，效率高是它最为显著的一个特点，也因此在现代工业生产的废气处理中应用的较为广泛。1.3污染气体的综合治理惰性气体在对人体的危害中是一种潜在威胁大的气体，这样的气体本身是对人体没有危害，但是这样的气体的存在，就会在氧气方面减少。因此在氧气方面的减少，这对于人类来讲，将是灾难性的。对于惰性气体的排除问题，可以采用钢瓶和仪器的方法来连接排气导管，使用这种方法排出的惰性气体，是一种缓慢排出的情况。在排出的过程中，如果出现了可以燃烧的气体，要在人烟稀少的地方排放，因为这样的气体有着可燃烧性，人烟较多的地方排放就有可能造成房屋着火的危险。对于处理的有毒气体方面，需要做好防范措施，在排放的气体时，工作人员要带好口罩和手套，而且还需要穿好防毒服，做好这些工作以后才可以进行毒气的排放。对于毒气排放的区域中，要设立好禁止进入区，没有相关工作要求的人员不准进入，而且还需要防止动物的进入。对于毒气的处理方法上，还可以采用吸附剂和吸收剂的方法来处理，使用这种处理方法效果更好。1.4利用活性炭的吸附作用净化废气活性炭在日常的生活中是非常的常见，而且应用的途径也比较的广泛。活性碳中有着内部的孔隙结构比较的发达，对于废气的处理就是利用活性炭内部孔隙的发达来对废气的吸收，当有害的废气在经过活性炭的孔隙时，孔隙就可以对废气中的微小分子吸收。正是因为有着这样的功能，在废气的处理中可以把它使用在第一个环节。在废气处理中采用活性炭在第一个环节使用着一定的原因，在活性炭的特性中有着极易饱和，正是因为这样的特性，在使用的过程中就造成使用时间短，需要不停的清理或者是更换处理的方法来解决，在维护的成本方面也是比较的高。而且在对废气的处理中还有着一定的局限性，活性炭在处理一些干燥性强的废气效果比较好，比如脂肪类废气和醇类废气，这种干燥性废气处理效果较好。但是在湿度较大的废气处理效果中就显得不是很理想，而且在处理的湿度大废气中还有着和等离子法、分解法这些方法一样，容易形成二次的污染，因此在对于这样的操作中需要谨慎。2工业废水的处理方法工业的废水很大的一部分都是在工业的生产过程中产生的废液和废水，这些液体中掺杂着很多的中间物和化学元素，以及生产原料。按照废水的性质可以区分为生物性质废水和化学性质废水。常见的化学性污染废水主要包括农药废水、含汞废水、重金属废水、酸碱废水、染料废水等等。而生物性废水是指水中含有病原微生物。工业废水的治理方法主要有以下三种形式：2.1物理处理方法对工业生产活动中产生的废水进行物理处理，就是借助物理方面的知识，将废水的物理属性进行本质上的更改，以此来实现对废水的绿色、无污染的处理。并且在物理处理过程中，废水的组成性质不会发生任何明显的变化。在物理方法上，最主要应用的便是将废水中可能会对自然环境、生态平衡造成影响的污染物进行有效的分离，并且分离后所得到的新鲜的净水能够再次进行利用，减少污染的同时，实现资源的可持续利用。目前我国在处理工业生活期间所产生的废水时，较常应用的物理方法包括了气浮法、吸附法以及过滤法等。1662018年12月环保与节能2.2生物处理方法运用生物处理方法来治理工业废水，实质上指的是通过对废水的生物属性进行详细地了解，并借助其生物特性来进行无公害化的处理。这种处理方法不会对自然与国民造成任何不良影响，因此受到了大范围的推广。现阶段下常用的生物处理方式非常多，最为常见的便是利用培养生物菌来吸附废水中所存有的静电，以及会对废水中悬浮物进行快速的沉淀，提高分离速度。除此之外，对于存在有毒害因素的废水，生物处理方法还能够满足去除有毒物质，然后进行再处理的作用。与其他工业废水处理方式最大的不同在于，生物处理方法所花费的成本支，易于管理，并且所获得的效益非常显著，且其完全不会对周围的环境和居民健康造成威胁。生物处理方法以其优越的应用条件已经逐渐成为现代工业废水处理的主要方法[2]。2.3化学处理办法采用专业的处理设备，并依照详细的化学性质实行有效的处理这一方法被称之为工业废水化学处理，详细办法如下：（1）超临界水氧化法。根据温度的逐渐提升，水也会随之产生一系类改变，当温度提升到一定高度，废水将会变为水和气体以及污染物等比例溶解介质，然而在此过程中，能够在一定程度上分解废水当中的污染物，此办法对有机废水具有较好的处理效果。（2）沉淀法。针对无机废水，方可经过可溶性沉淀剂来完善。废水中的离子状况污染物将会和沉淀剂发生对应的化学反应，因此成为没办法溶于水的沉淀物，由于污染物都成为了沉淀物，所以，秩序分离沉淀将会很好的对抗废水完成净化。（3）催化氧化法。这种方式所利用的是一种较为基本的化学反应，并借助催化剂的作用来完成废水的处理。在对工业生产活动中所产生的废水进行处理时，需要借助催化氧化的方法来完成。即，借助催化剂与氧化剂对废水进行一个根本上的净化过程，然后使其中的污染物有效转化为自由基，里面实现工业上废水的处理目的。在化学处理方式中，这种方式较为简便，并且容易实现，可显著缩短废水处理所花费的时间，提高反应效率。3结语由上述内容可以得知，对于工业而言，其在生产活动阶段，需要大力引进先进的技术，以及良好的工艺来对其生产方式进行优化，切实实施清洁化生产。并且对于其在生产过程中所造成的废气废水等污染物做好对应性的处理工作，实现绿色节能减排操作，推动工业化生产活动的可持续发展。在废气和废水的处理中主要包括了这些措施：1UV光解法、燃烧法、污染气体的综合治理、利用活性炭的吸附作用净化废气、物理处理方法、生物处理方法、化学处理办法。做好这些处理方法，就能够有效的解决好废气和污水的问题。参考文献：[1]吴玉海.工业废水废气治理方法研究[J].信息记录材料,2018,19(01):22-23.[2]李园.工业废水废气的治理方法探讨[J].化工管理,2015(23):238.电子级三氯氢硅特种气体应用研究危胜栗一甲杜斌功（青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司，青海西宁810007）摘要：电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料，国内目前主要依赖进口。随着我国集成电路行业快速增长，对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势。实现电子级三氯氢硅特种气体的国产化，对我国集成电路行业发展意义重大。本文重点分析电子级三氯氢硅特种气体在芯片制造过程的作用，接着分析生产提纯技术、充装要点以及质量控制要求。关键词：高纯三氯氢硅；特种气体；硅片外延；芯片制造；应用根据全球半导体贸易统计组织（WSTS）发布的数据显示，2017年全球半导体销售收入达到4087亿美元，同比增长20.6%。电子级三氯氢硅是半导体行业不可或缺的重要电子特种气体原材料，随着我国集成电路行业快速增长，对电子级三氯氢硅需求呈日益增长态势，但该关键基础原料国内目前主要依赖进口。其生产和制造存在非常高的技术要求，当前，世界上只有美国、日本、德国等少数国家能够大规模生产符合芯片制造要求的电子级三氯氢硅，最大的生产商是德国的Wacher公司和日本信越公司。电子级三氯氢硅进口产品到终端客户价格约为每吨15-20万元，是工业级三氯氢硅的几十倍。因此，电子级三氯氢硅特种气体研究对我国集成电路行业发展意义重大，值得深入研究应用[1]。1电子级三氯氢硅在芯片制造过程的作用电子级三氯氢硅可作为半导体外延硅片的硅源，主要被应用于制造各种半导体芯片和微型集成电路元器件，是微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料。半导体硅片外延层生长采用最多的是气相外延工艺：氢(H2)气携带四氯化硅(SiCl4)或三氯氢硅(SiHCl3)、硅烷(SiH4)或二氯氢硅(SiH2Cl2)等进入置有硅衬底的反应室，在反应室进行高温化学反应，使含硅反应气体还原或热分解，所产生的硅原子在衬底硅表面上外延生长。使用三氯氢硅作为硅源具有外延生长速度快，使用安全，是较为通用的硅源，其化学反应式为：SiHCl3+H2=Si+3HCl2电子级三氯氢硅特种气体生产工艺2.1三氯氢硅合成工艺三氯氢硅合成主要有两种工艺：低压氯化合成和四氯化硅氢化。低压氯化合成工艺采用流化床反应器，纯度98.5%的167