电子行业折叠屏系列报告之四OLEDShadowMask蒸镀环节核心工具国内配套产业链迎来发

识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明1/11[Table_Page]行业专题研究|电子2019年3月19日证券研究报告[Table_Contacter]本报告联系人：王昭光[e-mail][Table_Title]折叠屏系列报告之四：OLEDShadowMask：蒸镀环节核心工具，国内配套产业链迎来发展窗口期[Table_Author]分析师：许兴军分析师：余高SAC执证号：S0260514050002SAC执证号：S0260517090001SFCCE.no:[e-mail]@gf.com.cn请注意，许兴军并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。[Table_Summary]核心观点：OLED发光层采用蒸镀工艺制作，ShadowMask为核心工具OLED面板中的发光结构部分需采用真空蒸镀的工艺来制作。在OLED蒸镀制程中，需要采用ShadowMask（金属遮罩）覆盖于衬底上方，以使得蒸镀材料沉积在指定位置。OLEDShadowMask分为两类：一类是FMM（FineMetalMask，精细金属掩膜版），用于差异化蒸镀RGB子像素点的发光材料，其结构的精细程度直接决定了OLED面板的像素密度；另一类是OPM（OpenMask，开放式掩膜版），主要用于蒸镀普通层结构，其孔洞尺寸基本上与面板产品尺寸相一致。目前看，RGBOLED面板的蒸镀制程需要FMM和OPM共同参与，而WOLED面板的蒸镀制程仅需要采用OPM即可完成。OLEDShadowMask产业链：日韩厂商主导，上游光罩和下游清洗再生环节国内厂商有望参与根据IHSMarkit数据，伴随着全球OLED面板产能和产品应用的扩张，OLED用金属遮罩的市场规模也在快速增长，预计到2022年全球OLED金属遮罩的市场规模在12亿美元以上。自上而下来看，金属遮罩产业链包含有原材料、图形设计、光罩制备、金属遮罩制作、金属遮罩张网、清洗再生等环节。其中日韩厂商主导材料和制造环节，上游光罩和下游清洗再生环节国内厂商有望参与。光罩方面，国内厂商清溢光电已经在显示面板用光罩领域取得一定的市场份额。清洗再生方面，A股公司濮阳惠成已发布公告（2019/02/16公告）拟收购翰博高新，其募投项目“OLED用OPENMASK精密再生项目”拟与国际领先的OLED金属遮罩清洗再生服务商韩国TopWintech合作，在国内建设OLED金属遮罩的清洗再生量产服务设施。柔性显示元年已至，国内OLEDShadowMask配套环节迎来发展机遇我们认为，在柔性OLED面板供需共振、国内产能快速释放的背景下，叠加降低成本的考虑，国内的OLED金属遮罩的配套环节已出现发展窗口期，目前已在光罩环节以及清洗再生环节有所布局的厂商有望迎来成长机遇。相关标的产业链相关A股标的：濮阳惠成。风险提示国内面板厂商OLED产能扩张速度不及预期的风险；产业链相关标的拟开展的并购事项及其募投项目无法落地或推进速度不及预期的风险。[Table_Report]相关研究：电子行业：折叠屏系列报告之三:华为MateX发布，折叠屏打开OLED新空间2019-02-25电子行业：折叠屏系列报告之二:三星发布折叠屏新机，柔性显示新纪元开启2019-02-21电子行业:折叠屏专题报告：柔性显示新纪元，OLED产业链新机遇2019-02-12识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明2/11[Table_PageText]行业专题研究|电子目录索引SHADOWMASK：OLED面板制造核心工具....................................................................4OLED发光层制作采用蒸镀工艺，SHADOWMASK为核心工具..................................4金属遮罩产业链：日韩厂商主导，上游光罩和下游清洗再生环节国内厂商有望参与6柔性显示元年已至，国内OLED金属遮罩配套环节迎来发展机遇.....................................8折叠屏手机叠加可卷曲电视，2019将是柔性显示元年..............................................8国内面板厂商OLED产能快速扩张，金属遮罩配套环节迎来发展机遇.....................9识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明3/11[Table_PageText]行业专题研究|电子图表索引图1：柔性OLED面板制程中包含蒸镀环节..........................................................4图2：OLED发光结构由发光层和普通层共同构成................................................5图3：FMM孔洞结构十分精细并决定了面板分辨率..............................................5图4：OPM孔洞尺寸基本上与面板产品尺寸相一致..............................................5图5：RGBOLED面板的蒸镀制程需要FMM和OPM共同参与..........................6图6：全球柔性OLED面板理论总产能面积..........................................................6图7：全球OLEDShadowMask市场规模...........................................................6图8：FMM的张网组装示意图..............................................................................7图9：大尺寸OPM组装示意图..............................................................................7图10：三星GalaxyFold配有内置可折叠大屏.....................................................8图11：华为MateX采用外折式产品形态设计......................................................8图12：LG已发布可卷曲电视“OLEDTVR”..........................................................8图13：可卷曲设计使得电视具备可移动性............................................................8表1：全球已规划的柔性OLED量产线.................................................................9识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明4/11[Table_PageText]行业专题研究|电子ShadowMask：OLED面板制造核心工具OLED发光层制作采用蒸镀工艺，ShadowMask为核心工具OLED面板制程中发光结构的制作需要采用蒸镀工艺。柔性OLED（OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管）面板的结构自下而上包括PI薄膜衬底的TFT（ThinFilmTransistor，薄膜晶体管）基板、OLED发光结构、薄膜封装层、偏光片、外挂触控层和盖板层几个部分。其中，OLED发光结构部分需采用真空蒸镀的工艺来制作。图1：柔性OLED面板制程中包含蒸镀环节数据来源：和辉光电，广发证券发展研究中心OLED发光结构由发光层和普通层共同构成。OLED发光结构中，在阴极和阳极中间包含有5层，分别为：电子注入层（EIL）、电子传输层（ETL）、发光层（EML）、空穴传输层（HTL）、空穴注入层（HIL）。其中，发光层（EML）由红绿蓝三原色的有机发光材料构成，发光层以外的结构又被称为普通层。该结构的发光原理为：在外加电场作用下，阴极和阳极分别产生带负电的电子和带正电的空穴，电子和空穴通过注入层和传输层向中间的发光层迁移，并在发光层形成电子空穴对（即激子），激子不稳定，辐射跃迁释放能量，发出可见光。玻璃基板PI基底涂布成膜光刻胶涂布曝光显影蚀刻剥离光刻胶背板产出工序反复多次前段背板制程TFT基板清洗金属掩膜版张网有机蒸镀封装层清洗涂胶封装中段蒸镀制程蒸镀工艺后端模组制程面板测试偏贴IC+FPC绑定TP/盖板贴附切割模组测试激光剥离玻璃基板模组封装识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明5/11[Table_PageText]行业专题研究|电子图2：OLED发光结构由发光层和普通层共同构成数据来源：IHSMarkit，广发证券发展研究中心金属遮罩为OLED蒸镀制程中的核心工具。金属遮罩（MetalShadowMask）是指用金属薄板制成的掩膜版，在蒸镀工艺中覆盖于衬底上方，可以使得蒸镀材料沉积在基板上的指定区域。OLED蒸镀制程中所用到的金属遮罩分为两类：一类是FMM（FineMetalMask，精细金属掩膜版），用于蒸镀红绿蓝子像素点的发光材料，因此要求其孔洞结构十分精细，FMM的结构精细程度直接决定了OLED面板的像素密度；另一类是OPM（OpenMask，开放式掩膜版），主要用于蒸镀普通层结构，其孔洞尺寸基本上与面板产品尺寸相一致。图3：FMM孔洞结构十分精细并决定了面板分辨率图4：OPM孔洞尺寸基本上与面板产品尺寸相一致数据来源：ToppanMask，广发证券发展研究中心数据来源：PoongWon，广发证券发展研究中心RGBOLED面板的蒸镀制程需要FMM和OPM共同参与。具体来看工艺流程，首先需采用OPM在TFT基板上（包含阳极）蒸镀HIL和HTL结构，其次采用FMM分别蒸镀红绿蓝子像素点的EML结构，最后再采用OPM蒸镀ETL、EIL和阴极结构。WOLED面板的蒸镀制程仅需要采用OPM。WOLED的EML结构中不区分红绿蓝子像素点，而是在每个子像素点均蒸镀有红绿蓝的发光层形成白色光源，再通过彩色滤光片产生色彩，因此其蒸镀制程中的普通层和发光层均采用OPM即可完成。TFT背板OLED发光结构阳极空穴注入层（HIL）电子注入层（EIL）阴极电子传输层（ETL）发光层（EML）空穴传输层（HTL）偏振片触控层盖板封装层OLED面板结构OLED发光结构驱动ICWRGB大尺寸WOLED发光层中小尺寸RGBOLED发光层识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明6/11[Table_PageText]行业专题研究|电子图5：RGBOLED面板的蒸镀制程需要FMM和OPM共同参与数据来源：IHSMarkit，广发证券发展研究中心金属遮罩产业链：日韩厂商主导，上游光罩和下游清洗再生环节国内厂商有望参与根据IHSMarkit数据，伴随着全球OLED面板产能的扩张，OLED用金属遮罩的市场规模也在快速增长，预计到2022年全球OLED金属遮罩的市场规模在12亿美元以上。图6：全球柔性OLED面板理论总产能面积图7：全球OLEDShadowMask市场规模数据来源：IHSMarkit，广发证券发展研究中心数据来源：IHSMarkit，广发证券发展研究中心自上而下来看，金属遮罩产业链包含有原材料、图形设计、光罩制备、金属遮罩制作、金属遮罩张网、清洗再生等环节。其中日韩厂商主导材料和制造环节，上游光罩和下游清洗再生环节国内厂商有望参与。(a)HILandHTLlayereva