SCRUBBER

治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:1of8Scrubber简介一、Scrubber定义二、Scrubber分类三、Scrubber除害原理四、废气处理最佳法五、结论治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:2of8一、Scrubber定义Scrubber原意为洗涤器，业界以洗涤塔称之，意为处理半导体工业制程生产之废气处理设备，以使废气排放能符合环境保护之标准，尤其是TLV-TWA容许浓度，TLV（ThresholdLimitValve），TWA（TimeWeightAverage），定义为每日作8小时，每周工作40小时，不致有不良效应，国内将实施空气污染排放标准，园区Scrubber将有极大商机。治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:3of8二、Scrubber分类2.1Scrubber的目标与历史演变（如附图）2.2Scrubber分类如下：用水吸收湿式用碱吸收用酸吸收用化剂吸收Scrubber活性碳系吸着法吸着式(常温)触媒（无机系）吸收法干式直接燃烧式燃烧式(加热)触媒燃烧式（加热燃烧）*必须注意的是，并非干式或湿式独立使用，必须根据废气内含物，寻求最佳解决之道。*目前需使用Scrubber以CVD、Dryetching，IonImplantation制程为主。*BurnBox不属于排气处理系统缺点如下：1.毫无控制机制下任由SiH4氧化燃烧。2.燃烧效率无法预测。*下列气体应装置EmergencyScrubber：AsH3、PH3、H2S、H2Se、B2H6、SiH4除害可分为图标三大系统：1.制程气体除害2.PurgingGas除害治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:4of83.气体泄漏之除害治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:5of8三、Scrubber除害原理3.1湿式洗涤塔（WetScrubber）使用酸、碱的中和剂以及锰酸钾（KMnO4）等氧化剂的吸收法，分成多孔板式（Perforatedplatetower），喷雾式（Spraytower），JetScrubber式等，可因应大风量，还可同时除去排气中之尘埃，成本较为低廉，但效果较低，尤其对氢化物不适合，在半导体除害当中，常用于酸性气体之除害，以及将燃烧式除害装置排出SiO2或HF燃烧生成物予以除害。3.2干式洗涤塔（DryScrubber）3.2.1吸着式DryScrubber利用化学品做氧化还原处理，例如Al2Cl3，使用Sr(OH)2加以反应吸收。反应式如下：Al2Cl3＋Sr(OH)2SrO2＋Al2O3＋SrCl23.2.2燃烧式（Combustion）Scrubber某些气体不易水解或吸着(大部份是氟系化合物)，如：NF3、CF4、SF6等，可以使用燃烧式Scrubber，使废气烧成HF、SO2等，易于水解之化合物，再由WetScrubber处理，最适合高浓度大流量之除害，若燃烧会产生酸性气体与大量粉尘者，需加装湿式洗涤塔及除尘设备。四、废气处理最佳法（如附页）治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:6of8五、结论虽然Scrubber分成：WetScrubber及DryScrubber但两者并非独立，而是相辅相成，特别由第四节最佳处理法中可知，每一种制程，可能有好几种废气，如何处理，端视各Scrubber特性，例如：燃烧式Scrubber对HCl、HBr、Cl2不易作用，但DryScrubber吸着式便有很好效果，反之DryScrubber不易处理NF3、CF4、C2F6，但燃烧式便很好，但衍生物HF或SO2，DryScrubber便不如WetScrubber。每一种Scrubber有其一定的除害能力，设计者除考虑如何搭配，以使排放之废气能达环保标准，以避免空气污染，造成公共危害。治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:7of8Table1DisposablegasesTypeDryTypeWetTypeCombustionTypePrincipleNeutralOxidaCataliticNeutralOxidativeizationtionOxidationizationabsorptionSiH4ΟΟΟΟSiH2Cl2ΟΟΟΟΟSiCl4ΟΟSiF4ΟΟSi2H6ΟΟΟΟSi(CO2H5)4(Ο)ΟΟΟAsH3ΟΟΟΟAsF3ΟΟΟΟΟPH3ΟΟΟΟPCl3ΟΟΟΟΟPoCl3ΟΟB2H6ΟΟΟΟBF3ΟΟBCl3ΟΟBBr3ΟΟH2SeΟΟΟΟΟGeH4ΟΟΟΟNF3(Ο)ΟWF6ΟΟGA(CH3)3ΟΟΟΟΟIn(ch3)3ΟΟΟΟΟNH3ΟΟF2ΟΟCl2ΟΟHClΟΟH2SΟΟΟΟΟΟCF4ΟC2F6Ο治群科技有限公司GASPROMATERIALTECHNOLOGYCO.,LTD.Date:9/10/2020File:15997490618562-1F,NO.186Kong-MingThirdRd,Chu-PeiCity,Hsin-Chu,Taiwan,R.O.C.Tel:[phone]Fax:[phone]Page:8of8Gas与Process关系表Process之种类用途使用气体SiliconeEpitaxialPolySiliconeSiH4、SiH2Cl2a-SiliconeSiH4、PH3、AsH3BPSG膜SiH4、PH3、B2H6、O2、TEOSTMOP、O3SiN膜SiH4、SiH2Cl2、NH3SilicideWF6、SIH4、NF3扩散POCl3、BBr3ION注入PH3AsH3BF3Etching卤素系BCl3、Cl2、SiCl4、HCl、SiF4、HFMOCVDIII-V系PH3、AsH3、MO(Organometallic)