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上海兄弟微电子技术有限公司Heat-WetScrubber电热水洗式废气处理装置Br-4SeriesHeat-WetGASSCRUBBERBr-4seriesareequipmentdesignedtopurifyhazardousgasescreatedintheprocessofsemiconductors.电热水洗式废气处理Br-4系列是用来处理半导体工艺过程中产生的有害气体。规格—处理能力ITEM项目Br-4Br-4-ETEMPERATURE温度700~800℃700~800℃TREATMENTCAPACITY处理能力600SLM600SLMEFFICIENCY效率99.9%99.9%PROCESSGAS应用气体SiH₄,PH₃,B2H6,H2,CH4,NF3,NH3,GeH4etc.SiH₄,PH₃,B2H6,H2,CH4,NF3,NH3,GeH4,Cl2,BCl3,SiH2Cl2,HCl,etc.PROCESSEQUIPMENT工艺场合CVD,DIFF,EtcCVD,DIFF,ICP,Etc..特点EfficientdecompositionofHazardousgases:Theelectricity-heatingmethodthermallydecomposeshazardousgases.And,subproductssubsequentlygeneratedareremovedbythecollectionsystem危害性气体有效分解:电热产生的高温下气体被氧化分解;经水淋净化后排入中央废气处理系统;产生的副产品如颗粒等通过收集系统收集。Corrosionresistanceandhightemperature.耐腐蚀耐高温;Lowcostofownership,采购成本低廉;Easy-to-operateandlowoperationcost,易于操作且低运行成本;Simplification简约:占用空间不大,且功能众多;OptionalFunction可选功能:定时启动;自动除尘;循环水系统,PH加药系统规格—动力需求ITEM项目Br-4Br-4-CERemarks说明ELECTRICPOWER电源220V,1Φ,40A,50/60Hz220V,1Φ,40A,50/60HzN₂GAS氮气Max.60LPM,5kg/㎠Max.60LPM,5kg/㎠1/4SWAGELOKCDA压缩空气Max.100LPM,5kg/㎠Max.100LPM,5kg/㎠1/4SWAGELOKCityWater水5~8LPM,20~30℃,3kg/㎠5~8LPM,20~30℃,3kg/㎠1/2SWAGELOKGASINLET气体入口KF40,4入口KF40,4入口SuS304GASOUTLET气体出口Φ100,SUS304Φ100,SUS316LEXHAUST排风Φ150Φ150DIMENSION尺寸900(w)x700(D)x1800H900(w)x700(D)x1800H(W)x(D)x(H)WASTEWATERDRAIN排水Φ63,SUS304Φ63,SUS316WEIGHT重量240300kgNote:可定制化
本文标题:电热水洗式废气处理scrubber-Br-3系列规格书
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