ZETA简介3D显微镜(solar)

ZETA3D显微镜简介薛惟慨地址：上海松江区泗砖南路255弄名企公馆135号Add：MingQiMansion,N0.135,Lane255,SouthSizhuanRd,SongjiangDistrict,ShanghaiMob:18017210520Tel：[phone]Fax：[phone]Emai：[e-mail]网址：美国泽塔仪器公司(ZETAINSTRUMENTS，INC。)是一家业内领先的微细表面形貌测量仪器制造商。Zeta显微镜系统采用泽塔的专利Z-点阵™技术。，它可以对高纵横比样品进行非接触、无损伤、快速三维成像，并且实现对台阶高度、粗糙度、尺寸、角度和体积的测量。由于它的非破坏性测量性能，用户能够快速高效地对高纵横比的表面特征进行测量和分析，从而加快对流体微通道制造工艺的开发和研究。也使得对高粗糙度、极低反射率的复杂表面的成像变得更加容易，这种特性在太阳能电池的研究和生产上发挥了积极的作用。设备简介点阵技术，Zeta光学系统能够对微细表面特征进行快速三维测量。在不到一分钟的时间，Zeta3D显微镜以精度高达2纳米的步距垂直扫描样品表面，在对样品进行Z轴精确量测的同时，提取X轴和Y轴的信息。大多数仪器在测量这些表面时会遇到困难，有的还需要复杂的校准和样品准备。与其它同类产品相比，Zeta3D显微镜是一种更易于使用的光学测量工具，需要较少的培训和系统维护，因此它为用户提供了更快、更好的解决方案。设备简介显微镜，具有以下的功能：1）能够检测制绒绒面的2D/3D图像，统计绒面中金字塔的成核密度；2）能够量测栅线高度、宽度数值，能知道浆料的体积等数值；3）能够同时测量多达10个截面的结果，取得平均值；4）能够量测doubleprinting的结果；5）能够量测激光打孔的结果，和laser开槽的结果；6)Z轴精度2nm。我们有多款型号：Zeta20、Zeta200、Zeta300和Zeta380等。Zeta20是手动载物台。Zeta200是自动载物台，能自动帮助客户测量样片任一位置的数据，同时将所有位置的测量数据整合到一起。单晶金字塔测试金字塔3D图多晶绒面测试多晶绒面3D图同时测量10个截面的结果3D图形—真色彩栅线宽度测量，同时软件会自动画出栅线边缘，并显示栅线的表面积以及体积各式的数据显示doubleprintingdoubleprinting-3DThinFilm太阳能样品上激光划线的测量ThinFilm太阳能样品上激光划线的测量-3D工作原理操作软件所指定的样品纵向扫描范围和步数。ZETA系统对该范围一步一步地进行扫描。在扫每一步时，ZETA系统记录Z位置，同时根据CCD探测器提供的2维图像数据，计算与XY位置相对应的每个像素的对比度，并把结果保存起来。对比度来源于ZETA光学模块内部产生的反差信号，与样品表面的图像反差无关。这一独特的设计使得ZETA系统可以对任何样品进行三维成像，不论该样品上是否有图案反差。在扫完所有Z方向的步数后，ZETA软件对每个XY像素上找出Z方向反差信号最大的Z位置。根据这一系列找到的XYZ空间点，ZETA软件画出一个具有样品本色的彩色三维图像。工作原理示意图COMPARISONCHARTfora3Dscanofa100m²area,texturedsolarsampleLowReflectivityHighRoughnessScanTimeXYResolutionZResolutionTrueColorImagingCostSEM10min.~10nmN/ANo$$-$$$$AFM10min.nmÅNo$$STYLUSPROFILER10min.1mnmNo$LASERCONFOCAL1min.0.4m10nmNo$$INTERFEROMETER1min.1mnmNo$$ZETAFOCUSMAP1min.0.5m2nmYes$使用客户Company/PurchaserSystemLocationApplicationHillbrookSchoolZeta20USAEducationNREL(NationalRenewableEnergyLab)Zeta20USASolarCellResearchUniv.ofCalifornia,Davis2xZeta20USAMicrowaveandBallisticsresearchAppliedMaterialsZeta20Zeta200USASolarCellProcessDevelopmentBio-TechCompanyZeta20USAMicro-fluidics,bio-chipdevelopmentBoschZeta200GermanySolarCellProcessDevelopmentASYSZeta200GermanySolarCellFingerPrintingProcessDevelopmentWestDigital3台Zeta20USAHardDiskProcessDecelopmentLargePatternedSapphireSubstrateMfr.*Zeta280TaiwanOfflineQAmonitoringforLEDmanufacturingKinikZeta200TaiwanOfflineQAmonitoringforLEDmanufacturingBio-TechCompany*Zeta200Fremont,CAMicro-fluidics,bio-chipdevelopmentTohoTechnologyCorp.Zeta20JapanFPDmanufacturingequipmaker湖南株洲华磊Zeta200大陆LED真明丽Zeta200大陆LED晶旺Zeta200台湾LED达晶Zeta200台湾LED隆达Zeta200台湾LED中矽Zeta200台湾LED茂迪2台Zeta200台湾Solar茂矽Zeta200台湾Solar使用客户浙江正泰Zeta20大陆Solar杭州绿华Zeta20大陆Solar商洛比亚迪Zeta20大陆Solar江苏国电2台Zeta20大陆Solar常州天合5台Zeta20大陆Solar徐州中宇Zeta20大陆Solar广东爱康Zeta200大陆Solar江西升阳Zeta200大陆Solar镇江大全Zeta200大陆Solar浙江艾能聚Zeta20大陆Solar浙江元众Zeta200大陆Solar江苏环宇Zeta200大陆Solar江西晶科上饶光电Zeta200大陆Solar张家港吉阳新能源2台Zeta20大陆Solar浙江武义西力科Zeta200大陆Solar中盛光电Zeta200大陆Solar福建阳光大地Zeta20大陆Solar浙江鸿禧Zeta20大陆Solar江苏东鋆Zeta200大陆Solar杭州赛昂Zeta20大陆Solar浙江绿远Zeta20大陆Solar东营光伏2台Zeta200大陆Solar上海贺利氏银浆HeraeusZeta20大陆SolarTHANKS!